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駿河精機 ステージ特集

vol.1 手動ステージ　お悩み相談&動画チェック

vol.2 手動ステージ　手動ステージ選定ガイド

vol.3 手動ステージ　内製治具とのコスト比較

vol.4 自動ステージ　自動ステージ選定ガイド

vol.5 自動ステージ　自動ステージ制御機器

vol.6 自動ステージ　ユニット品＆使用例

vol.7 自動＆手動ステージ　低価格ステージ特集

vol.8 ステージ特集　ステージ総集編＆除振台特集

vol.9 自動＆手動ステージ　デモ機特集

Contents

ミスミ ステージ相談窓口

Tel 03-6777-7545

9：00～18：00（土日・年末年始は除く）

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高精度なステージ等を用いた測定装置、製造装置を設置している場所にも多かれ少なかれ振動が発生し、
また、ステージ自体の動きも振動を発生させています。
この振動が精密な測定や製造に悪い影響を及ぼす際の解決策として有効なのが除振台です。
今回は、ステージ全体のラインナップと、除振台をご紹介させていただきます。

特集 1 －手動ステージ・自動ステージ総集編－

高精度モデル

・精度重視

ハイエンドモデル

・高精度
・高剛性
・オプションも充実

スタンダードモデル

・一定以上のSPEC
・一般的

高剛性モデル

・剛性重視

□60ステージで比較した場合

・手動ステージ

手動ステージ

・自動ステージ

自動ステージ

ハイエンドモデル

直動 水平面Z軸 ゴニオ 回転
手動 ― ―
リニアボール （SSステージ） クロスローラ    
代表型番：BSS 代表型番：B33
（型番末尾-KGシリーズ）		    
自動
リニアボール クロスローラ サインモーション（ボールねじ） サインモーション/ウォームギア
代表型番：PG 代表型番：KH 代表型番：KGB 代表型番：KRB

高精度モデル

直動 水平面Z軸 ゴニオ 回転
手動
クロスローラ クロスローラ クロスローラ クロスローラ
代表型番：B11 代表型番：B33
（型番末尾-KGを除く）/B37		 代表型番：B56 代表型番：B44/ B47
自動 ― ―
クロスローラ   ウォームギア  
代表型番：KXC   代表型番：KG  

高剛性モデル

直動 水平面Z軸 ゴニオ 回転
自動 ― ― ―
リニアボール
CAVE-X POSITIONER 		     
代表型番：KXG      
― ―
リニアボール クロスローラ    
代表型番：KXT 代表型番：KS332    

スタンダードモデル

直動 水平面Z軸 ゴニオ 回転
手動
アリ式（アリ溝） アリ式（アリ溝） アリ式（アリ溝） すりあわせ
代表型番：B05/B06 代表型番：B07 代表型番：B54 代表型番：B43
自動 ― ―
  リニアボール   ウォームギア
  代表型番：KHE   代表型番：KRB

移動ガイド機構や動きの詳細は、過去の特集から詳細を確認できます。

手動ステージ（直動）
（ゴニオ・回転）
自動ステージ（直動）
（ゴニオ・回転）

自動ステージを使用する際の制御機器や、購入前に動きを確認するためのデモ機、
必要機能に特化した低価格ステージは、過去の特集から詳細を確認できます。

自動ステージ 制御機器
デモ機
低価格ステージ

ステージの選定でお悩みなら、選定支援サービスへ！

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特集2 除振台 －駿河精機の除振台で解決－

駿河精機の光学機器の中でも国内最高峰の防振機能を備えた「JHD/JSDシリーズ」に代表される除振台で、皆様のお悩みを解決いたします。

除振台のお悩み①：振動の原因が床以外で対応できない。

・定盤上に設置した自動ステージや、レーザやＰＣのファンの振動で・・・
・ロッドや電源ケーブルが共振しやすくて・・・
・機器を操作したり、空調や音圧が・・・

国内最高峰の除振機能を発揮する駿河精機のJHD/JSDシリーズで解決！

補助質量とばね・オイルの組合せで、定盤自体に高い除振機能を備えたチューンド・マス・ダンピング方式を採用！

除振台のお悩み②：定盤の剛性が低い。

従来のアルミハニカム同士のスポット溶接や、高さ合わせのためハニカム同士を上下につなぎ合わせたものでは、剛性が足りない。

駿河精機のスチールハニカム光学定盤で解決！

アルミハニカムに比べて剛性が“60%以上”向上。
定盤内部の上面から下面まで、一切つなぎ目のない 一枚のスチールハニカムと、各部品の接合には完全硬化型の接着剤を用いることで 高剛性を実現しました。

除振台のお悩み③：クリーン環境下で汚染が発生する。

一般的な光学定盤では、定盤の上下面とハニカムコアを組み立てた後にタップ加工を行って 定盤内部が“洗浄できない”ため、切削油や削りカスが残ってしまう。
その油が揮発して大切な機材や光学部品を汚染する原因になりかねない。

駿河精機のスチールハニカム光学定盤で解決！

組み立てる前に上面板のタップ加工を行い、各部品に“溶剤洗浄“を施してから組み立てるため、クリーン環境に適しています。

除振台のお悩み④：T字のような特殊な形が欲しい。サイズが大きすぎて搬入もできない。

光学系の設置位置も決まっているから、Ｔ型・Ｌ型・Z型のような形にしたい。
また、入り口が狭くて、搬入も困難。

駿河精機のスチールハニカム光学定盤で解決！

Ｔ型・Ｌ型・Z型各種のような各種複合型ができます。
また、2つ以上のスチールハニカム除振台のドッキングバージョンで、超大型の除振台をつくることも可能です。
光学系の設定位置や部屋の状況に合わせた、T字型やL字型等の形の構成も可能です。
これは、入り口が狭く、搬入が困難な場合にも有効です。

特集3 除振台のラインナップ

高精度の位置決めステージを提供する駿河精機では、光学機器も多数取り揃えております。
光学機器の中でも、国内最高峰の防振機能を備えた「JHD/JSDシリーズ」に代表される除振台のラインナップをご紹介いたします。

除振台

空気ばね式 上級型 JHDシリーズ
ハイグレードダンピング

固有振動数：垂直1.2～1.8Hz、水平0.6～0.8Hz
チューンド・マス・ダンピング構造内蔵の
『ハイグレードダンピング・スチールハニカム定盤』と
『高性能三次元空気
ばねシステム』を組み合わせた最高峰の除振機能
JSDシリーズ
スタンダードダンピング

固有振動数：垂直1.2～1.8Hz、水平0.6～0.8Hz
チューンド・マス・ダンピング構造内蔵の
『スタンダードダンピング・スチールハニカム定盤』と
『高性能三次元空気ばねシステム』を組み合わせた高次元の除振機能

普及型 J02シリーズ
普及型スチールハニカム

固有振動数：垂直1.2Hz、水平1.8Hz
全方位対応型である三次元空気ばねを採用しているのは、
このクラスでは 駿河精機のみ

J03シリーズ
普及型スチールハニカム（手押しポンプ式）

固有振動数：垂直1.2Hz、水平1.0Hz
J02シリーズを手押しポンプ式にしたコストダウンモデル

J04Nシリーズ
スチールハニカム（エコノミータイプ）

固有振動数：垂直1.8Hz、水平2.0Hz
コストダウンを図りつつ除振機能を確保したエコノミータイプ

システム
デスク型		 J06シリーズ
デスク型空気ばね式

固有振動数：垂直1.8Hz、水平2.0Hz
フレームで定盤周辺を囲み、不測の接触からガード
防振ゴム式 普及型 J05Nシリーズ
スチールハニカム（エコノミータイプ）

固有振動数：垂直12～15Hz、水平5～8Hz
防振ゴムによる簡易型除振台
  • ※空気ばね式と防振ゴム式
    空気ばね式は防振ゴム式より除振性能が優れています。
    特に顕著にその差が表れるのは、20Ｈｚまでの低周波領域での除振性能です。
    防振ゴム式は低周波領域では、あまり除振性能が期待できません。

除振台（卓上）

空気ばね式 除振盤 J07Nシリーズ
三次元空気ばね式

固有振動数：垂直1.8～2.5Hz　水平3.2～4.0Hz
持ち運び可能な「薄型三次元空気ばね式定盤」で、大型除振台並みの性能を確保
防振ゴム式 防振盤 J10シリーズ
卓上型防振ゴム式

固有振動数：垂直　約13Hz・水平　約5Hz
剛性の高い定盤（J09N）に、定盤底部に防振ゴムを配置した卓上タイプの防振盤

光学定盤（除振機能はありません）

卓上 J09N
薄型スチールハニカム

既存の実験台や架台の上に置くだけで
光学実験用のスペースを確保。
定盤の厚みは全サイズ50mmと薄型。
架台付 J15
簡易型光学実験台

架台つきの薄型スチールハニカム
光学定盤
サイレントコンプレッサ

  • ・低騒音54dB
  • ・コンパクト設計
  • ・空気配管の分岐で、複数の除振台への
    空気供給が可能
計測器棚

除振台有効利用のために計測機器や
表示装置などを置くことができる計測器棚
耐荷重：150kg

組立式暗室

はめ込み式ステンレスパイプで骨組みを組立て、
暗幕を広げてかぶせるだけの簡単な組立式暗室

オープンラック

アルミ押出材を使用したオープンラック。
各種トレイ、ユニットと組み合わせることで、
スペースを有効かつ効率的に使用できます。

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これが駿河精機　自動ステージのラインナップ

必要な機能に特化し、驚きの低価格を実現した自動リニアボールガイドシリーズです。
X軸リニアボールガイド
（KXTシリーズ）
本体ベースとガイド機構が一体構造の筐体形状により、高剛性＆コンパクトを実現。
X軸リニアボールガイド
CAVE-X POSITIONER
（KXGシリーズ）
本体にアルミを用い、「軽量」「コンパクト」「高精度」に「優れた直進性」と「高耐荷重」なステージです。
薄型X軸クロスローラガイド
（KXシリーズ）
リニアボールガイドを採用した、水平面Z軸ステージです。□40と□60mmをラインアップ。
水平面Z軸リニアボールガイド
（KHEシリーズ）
動く部分が全て転がり運動で構成されているため、高精度。モーメント荷重に対しても強さを発揮。
水平面Z軸クロスローラガイド
（KHシリーズ）
高速、ロングストローク対応が可能な、スライドガイドを採用した、高剛性モデルです。
X軸スライドガイド
（KXSシリーズ）
ボールねじを使用し、高耐久。微小角度を繰返し駆動させる用途に最適なゴニオステージです。
サインモーションゴニオステージ
（KGBシリーズ）
ボールねじを使用し、高耐久。微小角度を繰返し駆動させる用途に最適な回転ステージです。
サインモーション回転ステージ
（KRBシリーズ）

駿河精機おすすめ手動・自動ステージ

ガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。
X軸リニアボールガイド
本体材質はアルミ（黒アルマイト処理）で軽量。位置決め機構の重量が気になる方におススメです。
X回転ステージ
上下面プレートと案内ガイド部を一体化し「薄型」、用途に合わせてセンサ電圧・論理やモータなど、豊富なオプション対応が可能です。
X軸リニアボールガイド（PG）
30～300mmストロークをラインアップ。本体ベースとガイド機構が一体構造の為、高い移動精度と駆動性能を発揮します。
X軸リニアボールガイド
CAVE-X POSITIONER （KXL）
本体にアルミを用いた「軽量」タイプの自動ステージです。センサが筐体に埋め込まれているため、テーブル面からの凹凸が少ない設計。
X軸クロスローラガイド （KXC）
耐荷重30kgfの高剛性。カバーの有無、モータ選択に対応。100～500mmストロークに対応した自動ステージです。
X軸スライドガイド （KXS）

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