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駿河精機 ステージ特集

vol.1 手動ステージ　お悩み相談&動画チェック

vol.2 手動ステージ　手動ステージ選定ガイド

vol.3 手動ステージ　内製治具とのコスト比較

vol.4 自動ステージ　自動ステージ選定ガイド

vol.5 自動ステージ　自動ステージ制御機器

vol.6 自動ステージ　ユニット品＆使用例

vol.7 自動＆手動ステージ　低価格ステージ特集

vol.8 ステージ特集　ステージ総集編＆除振台特集

vol.9 自動＆手動ステージ　デモ機特集

Contents

ミスミ ステージ相談窓口

Tel 03-6777-7545

9：00～18：00（土日・年末年始は除く）

Webフォーム

e-mailでお問い合わせ（cx_makersupport@misumi.co.jp）

お悩み相談　－複雑な位置決めをオリジナルユニットで解決！－

前後・左右・上下・傾斜・回転・・・ステージの位置決め調整にはいろいろな動きがあるけれど、もっと複雑な位置決めが必要になりました・・・。しかし、自分でステージを組合せると、直交や回転中心位置の調整、ステージとステージの干渉・・・心配なことが多くて・・・。

ご相談ください！

駿河精機の2000種に及ぶステージを組合せて、お客様だけのオリジナル・ユニットを製作できます。オリジナル・ユニットだからお客様独自のお悩みも解消できます。

  • ・複雑な位置決めにも対応可能！
  • ・ステージ間の干渉など組合せの心配も解消！
  • ※標準品ではないため、お打ち合わせが必要です。
  • ※ステージ定価のほかに、設計費・組立調整費などが発生いたします。

選定に悩んだら迷わず、選定支援サービスへ！

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オリジナル・ユニット実績

半自動ユニット

自動ステージに手動のあおり機構を加えることで、位置決めの自由度が広がります。

  • 製品イメージ
  • 製品イメージ
レンズ、撮影阻止の位置調整など
3軸の直動ユニット + 手動のあおりステージを加えた6軸ユニットです。

構成ステージ

軸 XY Z θx θyz
手動・自動 自動 自動 手動 手動
製品名 XY軸リニアボールガイド
（PMG）		 水平面Z軸クロスローラガイド
（KH）		 クロスローラゴニオステージ
（マイクロメータサイド押しタイプ）
軸数 2軸 1軸 1軸 2軸
型式例 PMG615-L05AL-D5 KH0604-L B58-60UC B59-60
 
製品イメージ
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移動量 15mm 4mm ±4.0° （上）±4.0°　（下）±4.0°
耐荷重 9.3kgf（91.1N） 7kgf（68.6N） 5.0kgf（49.0N） 4.7kgf（46.0N）
繰返し位置決め
精度		 ±0.5μm以内 ±0.5μm以内 － －

全自動ユニット

自動ステージを複数組合せることで、ご用途に応じた位置決めを可能にしました。

  • 製品イメージ
  • 製品イメージ
レンズ・測定評価など
回転ステージに新型回転ステージを使用したユニットです。

構成ステージ

軸 XY θ
製品名 XY軸リニアボールガイド
（PMG）		 サインモーション回転ステージ
（KRB）
軸数 2軸 1軸
型式例 PMG615-L05AL-D5 KRB06011
 
製品イメージ
商品を見る
製品イメージ
商品を見る
移動量 15mm ±5.5°
耐荷重 9.3kgf（91.1N） 6.0kgf（528.8N）
繰返し位置決め
精度		 ±0.5μm以内 ±0.003°以内

特注事例

カタログ記載品の組立て以外にも、お客様のご要望の動きに対応するユニットを、特注で作成可能です。お問合せください。

  • 製品イメージ
  • 製品イメージ
カメラモジュール組立など
XYステージ +ボールねじ駆動ゴニオ + 回転ステージ
組み合わせの6軸ユニットです。
  • 製品イメージ
  • 製品イメージ
撮像素子のアライメントなど
全軸ボールねじ駆動の6軸ユニット。高い磨耗・耐久性を実現。
また、XYZ軸は案内ガイドの一体構造のため、省スペース・低コストでご利用いただけます。

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お悩み相談　初級　Q & A　精度用語

Q.1ピッチング・ヨーイング・ローリング（ピッチ・ヨー・ロール）とは何でしょうか？また、真直度とは何ですか？

A進行方向（前後）に対する動きです。

  • ◆ピッチング：進行方向（前後）に対する上下の傾き
  • ◆ヨーイング：進行方向（前後）に対する左右の傾き
  • ◆ローリング：進行方向（前後）に対する傾き
  • ◆真直度：理想の移動軸に対して水平及び垂直方向の最大のズレ量（距離）

製品イメージ

Q.2モーメント剛性とは何ですか？

Aステージ上面に対し、ピッチ・ヨー・ロールそれぞれの方向にモーメント荷重を加えた際の1N・cmあたりの変位角のことです。

※ステージ移動面（上面）の中心からの距離が基準。　※記載のモーメント剛性値は代表実測値の表記となります。

  • 製品イメージ
  • 製品イメージ
  • 製品イメージ

Q.3平行度と運動の平行度という記載が見られますが、違いは何でしょうか？

A下面に対する上面の停止時と運動時の平行度を表す数値です。停止時と運動時で、計測の方法が違います。

■平行度
・基準平面上にステージを固定する。
・ステージの上面テーブルと基準平面がどの程度平行になっているかを示す数値。
  • 製品イメージ
  • 製品イメージ
■運動の平行度
・基準平面上にステージを固定する。
・ステージの上面テーブルに基準平面との高さを測定する機器を置く。
・ステージを動かして計測した数値の最大差。
  • 製品イメージ
  • 製品イメージ

Q.4分解能とは何でしょうか？また、分解能の『FULL、HALF、マイクロステップ』とはどういう意味ですか？

A

■分解能：
1パルスの信号を送ったときにステージが移動する量のことで、FULL（フルステップ）となります。
■HALF（ハーフステップ）
ハーフステップ設定した場合、1パルスあたりの移動量はフルステップのときと比べて半分となります。
■MS（マイクロステップ）
ハーフステップよりも更に細かい設定をすることができます。
分割数の設定は16パターンとなります。
（1、2、2.5、4、5、8、10、20、25、40、50、80、100、125、200、250分割）

Q.5一方向位置決め精度、繰返し位置決め精度、ロストモーションとありますが、違いは何でしょうか？

A

■一方向位置決め精度[単位：μm]
「A　⇒　Bに移動させた時に、Bでどのくらい位置ズレの可能性があるのか？」を表した値。
製品イメージ
■繰返し位置決め精度[単位：±μm]
「同じ位置決め動作をさせたときに、どの程度の位置ズレがおきるか？」　を表した値。
製品イメージ
■ロストモーション[単位：μm]
「行きと帰りで途中同じところに止まりたいときにどの程度位置ズレがおきるか？」を表した値。
製品イメージ

駿河精機　自動ステージ　使用例

  • 半導体ウェハ検査装置の例。Z軸でカメラを固定し、XY軸でウェハの位置決めを行っています。
    使用例イメージ
  • 自動Xyθにあおり機構を組合せ、小型パネルの姿勢と位置を測定項目にあわせて調整可能です。
    使用例イメージ
  • 自動Xyθでパネル状のサンプルを正確に移動。サポートガイドで剛性を確保し、サンプル全面にわたって精度の高い加工を可能にします。
    使用例イメージ
  • 自動XYZステージに回転ステージを組合せ、様々な位置・角度での検証が可能です。
    使用例イメージ
  • 様々なサイズの自動ステージを組合せ、ワーク設置・退避やチャック、微調整機構までを一体化
    使用例イメージ
  • LCDやデジタルカメラ用撮像素子のアライメントに実績があります。組合せにつきましては、ご相談ください。
    使用例イメージ

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これが駿河精機　自動ステージのラインナップ

「薄型」「高剛性」「高精度」「低価格」を実現させた自動ステージです。
製品イメージ
XY軸リニアボールガイド
（PMG）
アルミ製で「軽量」「コンパクト」「高精度」に「優れた直進性」と「高耐荷重」な自動ステージです。
製品イメージ
多軸ステージユニット
荷重が一定な「高精度」で「高剛性」、無限直線運動のためケージのずれなく高速、ロングストロークです。
製品イメージ
XY軸スライドガイド
（KYS）
高剛性＆コンパクト、高い移動精度と駆動性能を発揮し、その上で、超低価格なステージです。
製品イメージ
XYZ軸リニアボールガイド
CAVE-X POSITIONER（KWG）
アルミ製で「軽量」、「コンパクト」、低摩擦で微小送りに優れて「高精度」なXYZ軸ステージです。
製品イメージ
XYZ軸クロスローラガイド
（KWC）
超低価格なZ軸ステージで、高剛性＆コンパクト、高い移動精度と駆動性能を発揮します。
製品イメージ
Z軸リニアボールガイド
CAVE-X POSITIONER（KZL）
精度よく広域角度で位置決めしたい場合や、360°連続回転させたい場合に最適な回転
製品イメージ
回転ステージ
（KS402）
ボールねじを使用、「高耐久性」「加減速性能」「バックラッシ低減」の上、高精度な２軸ゴニオステージ
製品イメージ
サインモーションゴニオステージ
（KAB）

駿河精機おすすめ自動ステージ

ボールねじを使用し、「高耐久性」「加減速性能」「バックラッシ低減」を向上させた、高精度ゴニオステージ。
サインモーションゴニオステージ
（KGB）
移動ガイドにクロスローラ、機構にウォームギアを採用。豊富なサイズ展開の高精度ゴニオステージ。
ゴニオステージ
（KGW）
ボールねじを使用し、「高耐久性」「加減速性能」「バックラッシ低減」を向上させた、高精度回転テージ。
サインモーション回転ステージ
（KRB）
精度よく広域角度で位置決めしたい場合や、360°連続回転させたい場合に最適な回転ステージ。
X回転ステージ
（KRW）
装置重量が気になる方に、アルミ製ステージをご提案します。
水平面Z軸クロスローラガイド
（KH）
[高耐荷重][薄型設計]に特化し、驚きの低価格を実現。
X軸リニアボールガイド
（KXT）
クサビ型Z軸ステージに比べ省コスト。ベルトループ方式で省スペース。
水平面Ｚ軸ステージ
(KHE)
薄型、軽量な回転ステージ。省コストにも貢献。
回転ステージ
(KRE)

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