アルバック 真空ポンプ

【特長】・ULVACオリジナルの高効率（IE3）マルチ電圧モーターを採用しています・低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです・大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています・メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです【用途】・蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置・分析機器、リークテスト装置・真空乾燥、ガス置換など各種真空装置

【特長】・ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます・モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます【用途】・理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器・真空排気装置、電子顕微鏡のバック・半導体製造装置