アルバック 真空計・圧力センサ

ピラニ真空計のスタンダード・GP-Gシリーズ。手軽に低真空領域の圧力が測定出来る用途の広い真空計です。また、セットポイント付では、各種インターロックや排気シーケンスのコントロールにも利用できます。【特長】・低真空領域の測定が可能。気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計・測定子の互換性あり。WPシリーズの測定子を採用・フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用・測定値出力信号。圧力はDC0～10VのLog出力の標準装備（GP-1000G）・デジタル出力標準装備。BCD出力の標準装備（GP-1000G）・シリアル通信仕様。RS232C通信が標準装備（GP-1000G）・制御出力信号。セットポイント2点（GP-1GRY）、3点（GP-1000G/GP-2001G）の出力可能・見やすいLED表示。4.5桁表示（GP-2001G）・DIN規格を採用。コンパクトサイズの96×48DIN規格（GP-2001G）【用途】・真空粗引系の圧力測定・各種真空排気系の圧力モニタ・真空応用機器のインターロック、シーケンス制御などの制御系に・真空応用機器のプロセス制御

大気圧から5×10-2Paまでの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。さらにこの真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。【特長】・広領域測定：大気圧から5×10-2Paまでの広領域の測定が可能。・省配線：センサとコントローラ一体化により省配線、省スペース、省電力を実現。・視認性の向上：異常を確認できるLEDを搭載。・ワンタッチ調整が可能：大気圧調整ならびにゼロ点調整がワンタッチで可能。・メンテナンス性：測定子の交換が容易。・フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用。・測定値出力信号：圧力はDC0〜10VのLog出力の標準装備。・耐衝撃性の向上：耐衝撃性に富んだ設計構造。・制御出力信号：セットポイント2点の出力可能。・適合規格：CE標準対応。【用途】・太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製装置の低真空領域のプロセス制御用に。・炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に。・インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に。

【特長】・スマートフォンとのダイレクト接続です・USBケーブルによりスマートフォンとダイレクト接続（特許出願中）します・その他の設備は不要です・パソコンとの接続も可能です【用途】・真空ポンプメンテナンス時の到達圧力確認に・真空装置メンテナンス時の圧力確認に【材質】・測定子フィラメント：白金（Pt）

【特長】・マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。・PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。・真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。・フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。・大気圧から高真空領域（10^5～10^-8 Pa）の測定が可能（オプションユニットSWU10-R接続時）です。【用途】・半導体や電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御・インライン式、枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認・高真空、超高真空装置の圧力測定【材質】・測定子フィラメント：白金（Pt）【セット内容】・SH200-A・SWU10-R・SH200用測定子 M45・SWU10-R専用測定子 SWP-25・SWU接続用ユニットケーブル 0.5m・ISG1・ISG1接続用ディスプレイケーブル

【特長】・マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です・PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます・真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました・フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です・大気圧から高真空領域（1×10（の5乗）～1×10（の-5乗）Pa）の測定が可能（オプションユニットSWU10-R接続時）です【用途】・有機EL・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に・真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に・ハイドロカーボン（油系）が多い雰囲気での測定に・真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に・真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に【材質】・測定子フィラメント・白金（Pt）【セット内容】・ST200-A・SWU10-R・ST200用測定子SWT-25・SWU10-R専用測定子SWP-25・SWU接続用ユニットケーブル0.5m

【特長】・ピラニ真空計GPシリーズ用測定子（消耗品）【商品仕様】・材質：測定子フィラメント・白金（Pt）

【特長】・大気圧ピラニ真空計SWシリーズ用測定子です【商品仕様】・材質：測定子フィラメント・白金（Pt）