アルバック機工 真空ポンプ

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。・DA-40Sはアンローダーバルブ（オプション）を内蔵することにより、ポンプ停止時にポンプ内部に大気を導入し、ポンプの起動特性が改善。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機、真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に最適。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計で多くの実績で証明された確かな品質と信頼性。 ・大気圧から作動が可能。 ・シンプル構造で、メンテナンスが容易。・広域型ターボ分子ポンプのバックポンプとしても利用可能。 【用途】・真空包装機、真空チャックなど真空源を必要とする機器全般。・吸着搬送機、フィルム吸着、ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機など。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。・アンローダーバルブ（オプション）を内蔵することにより、ポンプ停止時にポンプ内部に大気を導入し、ポンプの起動特性が改善されます。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機、真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に便利。

スタンダードな油回転翼型（ゲーテ型）真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現。・持ち運びが便利、装置組込みに適したコンパクトサイズ。・ベルト方式に比べ高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。低騒音で低振動。 。・手動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。大気圧からの作動が可能。【用途】・真空源を必要とする機器全般、理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器に最適。・真空排気装置、電子顕微鏡のバックに最適。・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。真空乾燥器、凍結乾燥器に最適。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機、真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に最適。

【特長】・油回転真空ポンプ用のオイルです。・優れた低蒸気圧、潤滑特性を持つ。・特に寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。・ポンプの性能をフルに発揮するためにもオイルの交換はできるだけ頻繁に行ってください。【用途】・油回転真空ポンプに最適。

メンテナンスが容易なシンプル構造、油を使わないドライタイプの真空ポンプ。【特長】・ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追及した高真空タイプ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプ。 ・自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。 ・大気圧から作動が可能。 【用途】・吸着搬送機、真空包装機、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機など真空源を必要とする機器全般に利用可能。

油回転真空ポンプ排気口からの油煙流出防止用トラップ。【特長】・油回転真空ポンプの運転中に排出される油煙（オイルミスト）を捕集。・自動的に真空ポンプ内へ回収。・油回転真空ポンプ排気口からの油煙（オイルミスト）が大気圧付近では特に発生。・油の飛散により雰囲気を汚す事があるが、このオイルトラップを取付けることにより解決。・エレメント（フィルター）のみの交換も可能。【用途】・油回転真空ポンプの運転中に排出される油煙の捕集に最適。

接ガス部にふっ素樹脂を使用した耐食性ダイアフラム型ドライ真空ポンプ。【特長】・有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応した、ドライ真空ポンプのケミカルタイプ。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧からの作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。【用途】・耐食性を必要とする真空源に利用可能。・真空濃縮、真空ろ過、遠心分離、医療機器、製薬用機器、特殊ガス置換、分析機器、理化学機器等に便利。

ステンレス製の本体に特殊なフィルターを内蔵した吸気フィルターです。真空配管内への油の逆拡散を防止するタイプと真空ポンプへの粉体の混入を防止するタイプの2タイプがあります。取付にはKF-25クランプが必要です。密閉式のため、フィルターの交換はできません。

【特長】・マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できます。・ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し、CEマーキング自己宣言品、TUV、cTUVus認証取得品となります。・低騒音で低振動。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータにより、メンテナンスが容易。【用途】・理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。・真空排気装置、電子顕微鏡のバック。・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。・真空乾燥器、凍結乾燥器。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。・DA-60Dはアンローダーバルブを内蔵しているため、真空状態からの再起動が可能。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機、真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に最適。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機、真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に最適。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。・DA-241Sはバランスポートを内蔵しているため、真空状態からの再起動が可能。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機、真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に最適。

【特長】・｢R-2｣ は GHD シリーズ、GLD-040、｢R-7｣はGLD-280の指定オイルです。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。・DA-41Dはバランスポートを内蔵しているため、真空状態からの再起動が可能。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機、真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に最適。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。・DA-121Dはバランスポートを内蔵しているため、真空状態からの再起動が可能。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機、真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に最適。

接ガス部にふっ素樹脂を使用した耐食性ダイアフラム型ドライ真空ポンプ。【特長】・有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応した、ドライ真空ポンプのケミカルタイプ。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。【用途】・耐食性を必要とする真空源に最適。・ロータリーエバポレーター、真空濃縮、真空ろ過、遠心分離に最適。・真空乾燥、医療機器、製薬用機器、特殊ガス置換、分析機器、理化学機器等に最適。

【特長】・大排気量でコンパクトサイズ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧からの作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。・手動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。・アンローダーバルブを内蔵しているため、真空状態からの再起動が可能。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機に最適。・真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。

スタンダードな油回転翼型（ゲーテ型）真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプ。・小型で持ち運びが便利な真空ポンプで、装置組込みに適したコンパクトサイズ。・ベルト方式に比べ、高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。・低騒音で低振動。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータにより、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般、理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器に最適。・真空排気装置、電子顕微鏡のバックに最適。・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置、真空乾燥器、凍結乾燥器に最適。

スタンダードな油回転翼型（ゲーテ型）真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプ。・小型で持ち運びが便利な真空ポンプで、装置組込みに適したコンパクトサイズ。・ベルト方式に比べ、高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。・低騒音で低振動。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータにより、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般、理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器に最適。・真空排気装置、電子顕微鏡のバックに最適。・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。真空乾燥器、凍結乾燥器に最適。

【特長】・大排気量でコンパクトサイズ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・全圧力帯での連続運転が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。

【特長】・大排気量でコンパクトサイズ。・設備に合わせて吸排気口位置を選択可能。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。

【特長】・特殊樹脂性ピストンリングの上下往復運動を利用して、排気を行うポンプです。・吸着搬送・吸引器などに適します。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機、真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に最適。

低騒音で低振動、省エネで環境にやさしい耐食性油回転真空ポンプ。【特長】・接ガス部面に表面処理を施した、油回転真空ポンプのケミカルタイプ。・逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。・オイルフィルトレーションシステムに接続可能。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。【用途】・真遠心分離、真空乾燥、真空凍結、真空濃縮、真空ろ過など耐食性を必要とする真空源に利用可能。・ロータリーエバポレーター、医療機器、製薬用機器、特殊ガス置換、分析機器、理化学機器などに最適。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機、真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に最適。

【特長】・DCモータ搭載です。・コンパクト・軽量・長寿命です。・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度です。・接ガス部に油を使用していないドライタイプ。・ロック保護・過電流保護機能付の安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造でメンテナンスが容易。【用途】・医療機器、産業機器に。【商品仕様】・排気速度（L/min）50/60Hz：18・到達圧力（Pa）：24.0×10［［の3乗］］・吸気口径（mm）：Rc1/8・電源（V）：DC24・全幅×全長×全高（mm）：83.5×165×123.8・騒音値（dB）：-・寸法（mm）：83.5×165×123.8・電源：DC24V・電源：DC24V・ロック保護・過電流保護機能付・トラスココード：792-8645・質量：1.75kg

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機、真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に最適。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。・広域型ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧からの作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般に利用可能。・ターボ分子ポンプの補助ポンプとして使用できる。

スタンダードな油回転翼型（ゲーテ型）真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプ。・小型で持ち運びが便利な真空ポンプで、装置組込みに適したコンパクトサイズ。・ベルト方式に比べ、高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。・低騒音で低振動。・1段排気方式は、2段排気方式より安価。・逆流防止機構搭載モデルは、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。・サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータにより、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般、理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器に最適。・真空排気装置、電子顕微鏡のバックに最適。・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。真空乾燥器、凍結乾燥器に最適。

偏芯回転軸に連動するピストンの往復運動により気体を移送する真空ポンプ。【特長】・大排気量でコンパクトサイズ。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が容易。・低真空領域で安定した圧力が得られる。【用途】・プリント基板実装装置、真空包装機、吸着搬送機、ラベリングマシンに最適。・脱泡機、吸引機、ガス分析機、冷媒回収装置などに最適。

逆流防止機能付、接ガス部面に表面処理を施した耐食性油回転真空ポンプ。【特長】・接ガス部面に表面処理を施した、油回転真空ポンプのケミカルタイプ。・低騒音で低振動。・オイルフィルトレーションシステムに接続可能。・逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。【用途】・真遠心分離、真空乾燥、真空凍結、真空濃縮、真空ろ過など耐食性を必要とする真空源に利用可能。・ロータリーエバポレーター、医療機器、製薬用機器、特殊ガス置換、分析機器、理化学機器などに最適。

【特長】・小さいサイズながらも、大きな排気速度。・マグネットカップリング構造の採用により、軸シールからの油漏れが無く、長寿命化を実現。・吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放。・低騒音で低振動。・電源コード差込口インレットによる、電源コードの多様化へ対応。・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。【用途】・理化学機器、検査、測定機器、研究設備。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。・DA-81S はバランスポートを内蔵しているため、真空状態からの再起動が可能。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機、真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に最適。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・配管の接続により、真空ポンプまたは加圧ポンプとして使用可能。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機、真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に最適。

【特長】・水分・酸・粒子の除去機能を併せ持つ特殊エレメントで大量処理できる真空ポンプ・各種真空装置に用いられる油回転真空ポンプ専用のオイルフィルトレーション装置・油中の水分を吸収し、油中の酸を中和、油中のパーティクルを除去できる・小型かつ軽量・本装置を使用する事で、真空ポンプの故障・オイル交換の低減を計ることが可能＜UFO-003＞・多量の水分を真空ポンプで吸引する場合に、効率よく連続的に油中の水分を分離する油水分離装置です・水分を連続的に排水できる（油水分離エレメントを使用の場合）＜UFW-003＞【用途】・真空乾燥、凍結乾燥、真空蒸着、真空スパッター、真空熱処理、真空溶解炉などの真空として利用可能・各種CVD装置、化学、薬品、医療、食品装置・イオン注入装置

接ガス部にふっ素樹脂を使用した耐食性ダイアフラム型ドライ真空ポンプ。【特長】・到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。・有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応した、ドライ真空ポンプのケミカルタイプ。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性。【用途】・真空源を必要とする機器全般に最適。・広域型ターボ分子ポンプのバックポンプに利用できる。

【特長】・ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。・接ガス部には油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。・自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。・バランスポートを内蔵しているため、真空状態からの再起動が可能。・組込型の専用モデルです。【用途】・吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。・分析機器、理化学機器。・半導体検査装置。・デバイス組立。・自動機、包装機。

配管接続型のオイルミストトラップです。配管接続を行えば、吸引したガスを排気ダクトへ排出できます。配管をしない場合は、 上部のキャップを取り付けて通常のオイルミストトラップとしてご使用頂けます。 エレメント（フィルター）のみの交換も可能です。

ダイアフラム（隔膜）の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。【特長】・配管の接続により、真空ポンプまたは加圧ポンプとして使用可能。・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。・自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧から作動が可能。・シンプル構造で、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般、吸着搬送機、真空チャック、フィルム吸着、真空包装機に最適。・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に最適。

偏芯回転軸に連動するピストンの往復運動で気体を移送する加圧用真空ポンプ。【特長】・設計が自動復帰型サーマルプロテクター内蔵なので安全・大気圧から作動が可能で全圧力帯での連続運転ができ、シンプル構造で、メンテナンスが容易なタイプ・大排気量でコンパクトサイズ。接ガス部に油を使用していないドライタイプ・スタンダードタイプ・1段排気方式・電源コード（先バラ）【用途】・自動機の加圧源、空圧機器、印刷機器、耳鼻科・歯科用機器、空気圧計測器、酸素濃縮装置などに最適

【特長】・｢SO-M｣ は合成油系のオイルで、ケミカルタイプGCDシリーズに最も適しています。

スタンダードな油回転翼型（ゲーテ型）真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現。・持ち運びが便利、装置組込みに適したコンパクトサイズ。・ベルト方式に比べ高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。・低騒音で低振動。・手動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧からの作動が可能。・接ガス部面に表面処理を施した、油回転真空ポンプのケミカルタイプ。・逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。・オイルフィルトレーションシステムに接続可能。【用途】・真空源を必要とする機器全般、理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器に最適。・真空排気装置、電子顕微鏡のバックに最適。・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。真空乾燥器、凍結乾燥器に最適。