キヤノンアネルバ 真空計・圧力センサ

ピラニゲージ。【概要】・大気圧から測定できる手軽さと、高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。・低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。【特長】・低・中真空領域の測定に最適。【用途】・粗引き系の圧力測定、排気系の圧力モニタ、制御など。ピラニゲージ（耐蝕型）。【概要】・Niフィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。【特長】・耐食性の向上。・再現性がよく低価格。・5×10の-2乗Paから大気圧。・取付方向の制約なし。【用途】・半導体、電子デバイス製造装置、ドライエッチング装置、プラズマCVD装置、LD-CVD装置など。・食品・医薬品製造装置、真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など。

【概要】・トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。・イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。・センサはミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。【特長】・ワイドな圧力測定範囲。・10の-7乗Pa～10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能。・高応答アナログ出力。・圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能。・4つのエミッション電流設定モード。・高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能です。・省スペース・低消費電力。【用途】・生産用真空装置の圧力測定。・半導体スパッタリング装置の圧力測定。・各種真空装置。