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    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmSWL相当
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    1/4相当（面間127mm）
    10～20SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    10～20SCCMSWL　継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmSWL相当
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    1秒以内（T98）
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    20～50SCCM
    2～100％F.S.
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    20～50SCCMSWL　継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmSWL相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間127mm）
    40～100SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    40～100SCCMSWL　継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmSWL相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間127mm）
    400～1000SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    400～1000SCCMSWL　継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmSWL相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間127mm）
    800～2000SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    800～2000SCCMSWL　継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmSWL相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間127mm）
    2～5SLM
    2～100％F.S.
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    2～5SLM　SWL継手
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    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmSWL相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間127mm）
    4～10SLM
    2～100％F.S.
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    4～10SLM　SWL継手
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    マスフローコントローラ
    6.35mmSWL相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間127mm）
    8～20SLM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    8～20SLM　SWL継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmSWL相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間127mm）
    20～50SLM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    20～50SLM　SWL継手
    1個
    -
    接続ケーブル
    -
    1m
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    -
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    1個
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    接続ケーブル
    -
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    -
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    1個
    -
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    -
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    -
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    1個
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    接続ケーブル
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    5m
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    -
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    接続ケーブル5m
    1個
    -
    電源ケーブル
    -
    -
    -
    -
    -
    -
    -
    電源ケーブル
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmVCR相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間124mm）
    20～50SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    20～50SCCM　VCR継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmVCR相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間124mm）
    40～100SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    40～100SCCM　VCR継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmVCR相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間124mm）
    80～200SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    80～200SCCM　VCR継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmVCR相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間124mm）
    200～500SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    200～500SCCM　VCR継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmVCR相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間124mm）
    400～1000SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    400～1000SCCM　VCR継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmVCR相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間124mm）
    800～2000SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    800～2000SCCM　VCR継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmVCR相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間124mm）
    4～10SLM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    4～10SLM　VCR継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmVCR相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間124mm）
    8～20SLM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    8～20SLM　VCR継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmVCR相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4相当（面間124mm）
    20～50SLM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    20～50SLM　VCR継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmRC相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4（面間125mm）
    10～20SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    10～20SCCM　RC継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmRC相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4（面間125mm）
    20～50SCCM
    2～100％F.S.
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    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmRC相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4（面間125mm）
    40～100SCCM
    2～100％F.S.
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    40～100SCCM　RC継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmRC相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4（面間125mm）
    80～200SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    80～200SCCM　RC継手
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    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmRC相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4（面間125mm）
    200～500SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    200～500SCCM　RC継手
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    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmRC相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4（面間125mm）
    400～1000SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    400～1000SCCM　RC継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmRC相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4（面間125mm）
    800～2000SCCM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    800～2000SCCM　RC継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmRC相当
    -
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    1/4（面間125mm）
    2～5SLM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    2～5SLM　RC継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmRC相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4（面間125mm）
    4～10SLM
    2～100％F.S.
    ±1％F.S.（精度補償範囲15℃～35℃）
    4～10SLM　RC継手
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    127.4×38×130
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    6.35mmRC相当
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    1/4（面間125mm）
    8～20SLM
    2～100％F.S.
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    8～20SLM　RC継手
    1個
    127.4×38×130
    マスフローコントローラ
    6.35mmRC相当
    -
    1秒以内（T98）
    1/4（面間125mm）
    20～50SLM
    2～100％F.S.
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    ( 176,000円 )
    35日目
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    35日目
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    高速・高性能なソレノイドアクチュエータを採用し、バリアブルレンジ機能により1台で複数の仕様に対応することで予備品の削減が可能です。

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