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ALLステンレス使用で高い耐食性をもつアングル真空バルブ。【特長】・バルブ材質...
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複動型と単動型(2位置ノーマルクローズ、2位置複動タイプ、2位置ノーマルオープン)の3種類

高真空アングルバルブ(複動・単動)主要部の名称

高真空アングルバルブ(複動・単動)の寸法図
| Model No. | A | B | C | D | E | F | φH | φJ | weight (kg) | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| (LX)1FLV -16D.C.O | 132.5 | 93 | 47 | 50 | 22.5 | 40 | 40 | 30 | 0.7 | |
| (LX)1FLV -25D.C.O | 141.5 | 101.5 | 59 | 62 | 24.5 | 50 | 54 | 40 | 1.1 | |
| (LX)1FLV -40D.C.O | 168 | 117.5 | 81 | 84.5 | 33 | 65 | 76 | 55 | 2.1 | |
| (LX)1FLV -50D.C.O | 186.5 | 128.5 | 92 | 92 | 39 | 70 | 89 | 75 | 3.3 | |
| (LX)1FLV -63D.C.O | 229 | 163.5 | 110 | 110 | 45.5 | 88 | 110 | 87 | 8.4 | |
| 使用圧力 Working pressure | 大気圧~1×10-6Pa | Atmospheric temperature to 1×10(-6)Pa |
|---|---|---|
| リーク量 Leak volume | <1×10-10Pa・m3/s | Below 1×10(-10)Pa・m3/s |
| 寿命回数 Repetition life | □FLV(自動)10万回 □FLV(手動)5万回 | FLV(automatic)100,000 repetitions FLV(manual)50,000 repetitions |
| 操作圧力 Operating pressure | 0.5~0.6MPa(自動) | 0.5 to 0.6 MPa(automatic) |
| ベークアウト温度 (耐熱温度) Bake-out temperature (heat endurance limit) | バルブボディ 120℃(MAX) ニューマチックアクチュエータ65℃(MAX) 電磁弁付きの場合 50℃(MAX) | Valve body 120℃(MAX) Pneumatic actuator 65℃(MAX) In the case of those with solenoid valve50℃(MAX) |
| 主要構成材料 Main materials | バルブボディ:SUS304 ベローズ:SUS316L(□FLV) シリンダ:アルミニウム 弁座シール:FKM(バイトンⓇ) ボンネットシール:FKM(バイトンⓇ) | Valve body:SUS304 Bellows:SUS316L(□FLV) Cylinder:Aluminum Valve seat seal:FKM(VitonⓇ) Bonnet seal:FKM(VitonⓇ) |
| 型式 type | 16A | 25A | 40A | 50A | (63A) 65A | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| コンダクタンス conductance | □FLV | 4l/sec | 10l/sec | 32l/sec | 70l/sec | 107l/sec |

型式表示方法
SUS材を採用しているため、アルミニウム材に比べ、高い耐腐食性を確保しています。


【酸への強さ】 代表的ステンレスと他の素材の脱不動態化PH
SUS材の採用、豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズ内蔵で、自信の長寿命保証。
寿命を明示しているメーカーは非常に少ない中、入江工研は、長寿命でハイレベルな品質をご提供。長く使えるからお得です!


さらに、特注で保証回数100万回!
内蔵している成形ベローズの材質をハステロイに変更すれば、100万回を保証!特注のご要望がありましたら、当社相談窓口までご相談ください。
大気圧から10-6Paまで対応しているので、高真空でも安心です。
弁座Oリングが粘着して脱落しないように、弁座のOリング溝(蟻溝形状)を改良しました。
成形ベローズ、ボディー等を洗浄、Oリングのみのお取替えで再度利用できます。
取扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ付を採用しています。
溶接ベローズから成形ベローズに変更し、コストダウンを図りました。
ALLステンレス使用で高い耐食性をもつアングル真空バルブ。
【特長】
・バルブ材質の真空側は全てステンレス(SUS)で構成されている。
・正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない。
・機能設計により大きなコンダクタンスが得られる。
・片側回転フランジのため、取付けが容易(コンフラットフランジ)。
・取り付け姿勢が自由(特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨)。



通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます

アドバンテック(真空配管)
クランプシリーズ NWクランプ
4.7通常価格(税別):1,256円~

アドバンテック(真空配管)
NWフランジシリーズ NWブランクフランジ
4.5通常価格(税別):1,087円~

ミスミ
ミニ吸着パッド
5通常価格(税別):330円~

ミスミ
真空配管用継手 NWフランジ
5通常価格(税別):1,080円~

ミラプロ
NWフランジ(ISO-KF フランジタイプ)
5通常価格(税別):795円~

ミスミ
ミニ吸着パッド用ホルダ
5通常価格(税別):940円~

日本ピスコ
単体タイプ 真空破壊機能付 大気開放
5通常価格(税別):3,390円~

ミラプロ
NWロングフランジ(ISO-KF フランジタイプ)
5通常価格(税別):2,034円~

ミラプロ
NWブランクフランジ
4.6通常価格(税別):928円~