0.5MPaの時の流量です。詳細は各メーカーの技術データをご確認ください　

<h3 class="m-h3--wysiwyg">コンパクト設計により小型・軽量化、エアー駆動で自動開閉する真空バルブ</h3>  <div class="m-thumbnail">  <div class="m-thumbnail__img has-border" data-autoheight="item"><img src="//content.misumi-ec.com/image/upload/t_msmwm_wyg/v1/p/jp/product/wysiwyg/221005267858/221005267858_001_20230801115855.jpg" alt="高真空アングルバルブ（複動・単動）:関連画像" /></div>  <p>複動型と単動型（2位置ノーマルクローズ、2位置複動タイプ、2位置ノーマルオープン）の3種類</p>  </div>  <h3 class="m-h3--wysiwyg">高真空アングルバルブ（複動・単動）の主要部の名称について</h3>  <div class="m-thumbnail">  <div class="m-thumbnail__img has-border" data-autoheight="item"><img src="//content.misumi-ec.com/image/upload/t_msmwm_wyg/v1/p/jp/product/wysiwyg/221005267858/221005267858_002_20230801115855.jpg" alt="高真空アングルバルブ（複動・単動）:関連画像" /></div>  <p>高真空アングルバルブ（複動・単動）主要部の名称</p>  </div>  <h3 class="m-h3--wysiwyg">この商品の外形図と寸法</h3>  <div class="m-thumbnail">  <div class="m-thumbnail__img has-border" data-autoheight="item"><img src="//content.misumi-ec.com/image/upload/t_msmwm_wyg/v1/p/jp/product/wysiwyg/221005267858/221005267858_003_20230801115855.jpg" alt="高真空アングルバルブ（複動・単動）:関連画像" /></div>  <p>高真空アングルバルブ（複動・単動）の寸法図</p>  </div>  <div class="m-unit">  <table class="m-table"><colgroup> <col style="width: 9.0909090909091%;" /> <col style="width: 9.0909090909091%;" /> <col style="width: 9.0909090909091%;" /> <col style="width: 9.0909090909091%;" /> <col style="width: 9.0909090909091%;" /> <col style="width: 9.0909090909091%;" /> <col style="width: 9.0909090909091%;" /> <col style="width: 9.0909090909091%;" /> <col style="width: 9.0909090909091%;" /> <col style="width: 9.0909090909091%;" /> <col style="width: 9.0909090909091%;" /> </colgroup>  <thead>  <tr>  <th style="text-align: center;" colspan="2">Model No.</th>  <th style="text-align: center;">A</th>  <th style="text-align: center;">B</th>  <th style="text-align: center;">C</th>  <th style="text-align: center;">D</th>  <th style="text-align: center;">E</th>  <th style="text-align: center;">F</th>  <th style="text-align: center;">&phi;H</th>  <th style="text-align: center;">&phi;J</th>  <th style="text-align: center;">weight<br />(kg)</th>  </tr>  </thead>  <tbody>  <tr>  <td style="text-align: center;" colspan="2">(LX)1FLV -16D.C.O</td>  <td style="text-align: center;">132.5</td>  <td style="text-align: center;">93</td>  <td style="text-align: center;">47</td>  <td style="text-align: center;">50</td>  <td style="text-align: center;">22.5</td>  <td style="text-align: center;">40</td>  <td style="text-align: center;">40</td>  <td style="text-align: center;">30</td>  <td style="text-align: center;">0.7</td>  </tr>  <tr>  <td style="text-align: center;" colspan="2">(LX)1FLV -25D.C.O</td>  <td style="text-align: center;">141.5</td>  <td style="text-align: center;">101.5</td>  <td style="text-align: center;">59</td>  <td style="text-align: center;">62</td>  <td style="text-align: center;">24.5</td>  <td style="text-align: center;">50</td>  <td style="text-align: center;">54</td>  <td style="text-align: center;">40</td>  <td style="text-align: center;">1.1</td>  </tr>  <tr>  <td style="text-align: center;" colspan="2">(LX)1FLV -40D.C.O</td>  <td style="text-align: center;">168</td>  <td style="text-align: center;">117.5</td>  <td style="text-align: center;">81</td>  <td style="text-align: center;">84.5</td>  <td style="text-align: center;">33</td>  <td style="text-align: center;">65</td>  <td style="text-align: center;">76</td>  <td style="text-align: center;">55</td>  <td style="text-align: center;">2.1</td>  </tr>  <tr>  <td style="text-align: center;" colspan="2">(LX)1FLV -50D.C.O</td>  <td style="text-align: center;">186.5</td>  <td style="text-align: center;">128.5</td>  <td style="text-align: center;">92</td>  <td style="text-align: center;">92</td>  <td style="text-align: center;">39</td>  <td style="text-align: center;">70</td>  <td style="text-align: center;">89</td>  <td style="text-align: center;">75</td>  <td style="text-align: center;">3.3</td>  </tr>  <tr>  <td style="text-align: center;" colspan="2">(LX)1FLV -63D.C.O</td>  <td style="text-align: center;">229</td>  <td style="text-align: center;">163.5</td>  <td style="text-align: center;">110</td>  <td style="text-align: center;">110</td>  <td style="text-align: center;">45.5</td>  <td style="text-align: center;">88</td>  <td style="text-align: center;">110</td>  <td style="text-align: center;">87</td>  <td style="text-align: center;">8.4</td>  </tr>  </tbody>  </table>  </div>  <h3 class="m-h3--wysiwyg">製品仕様</h3>  <table class="m-table"><colgroup> <col style="width: 33.333333333333%;" /> <col style="width: 33.333333333333%;" /> <col style="width: 33.333333333333%;" /> </colgroup>  <tbody>  <tr>  <th style="text-align: center;">使用圧力<br /> Working pressure</th>  <td style="text-align: center;">大気圧～1&times;10-6Pa</td>  <td style="text-align: center;">Atmospheric temperature to 1&times;10(-6)Pa</td>  </tr>  <tr>  <th style="text-align: center;">リーク量<br /> Leak volume</th>  <td style="text-align: center;">＜1&times;10-10Pa･m<sup>3</sup>/s</td>  <td style="text-align: center;">Below 1&times;10(-10)Pa・m<sup>3</sup>/s</td>  </tr>  <tr>  <th style="text-align: center;">寿命回数<br /> Repetition life</th>  <td style="text-align: center;">□FLV(自動)10万回<br /> □FLV(手動)5万回</td>  <td style="text-align: center;">FLV(automatic)100,000 repetitions<br /> FLV(manual)50,000 repetitions</td>  </tr>  <tr>  <th style="text-align: center;">操作圧力<br /> Operating pressure</th>  <td style="text-align: center;">0.5～0.6MPa(自動)</td>  <td style="text-align: center;">0.5 to 0.6 MPa(automatic)</td>  </tr>  <tr>  <th style="text-align: center;">ベークアウト温度<br /> (耐熱温度)<br /> Bake-out temperature<br /> (heat endurance limit)</th>  <td style="text-align: center;">バルブボディ 120℃(MAX)<br /> ニューマチックアクチュエータ65℃(MAX)<br /> 電磁弁付きの場合 50℃(MAX)</td>  <td style="text-align: center;">Valve body 120℃(MAX)<br /> Pneumatic actuator 65℃(MAX)<br /> In the case of those with solenoid valve50℃(MAX)</td>  </tr>  <tr>  <th style="text-align: center;">主要構成材料<br /> Main materials</th>  <td style="text-align: center;">バルブボディ：SUS304<br /> ベローズ：SUS316L(□FLV)<br /> シリンダ：アルミニウム<br /> 弁座シール：FKM(バイトンⓇ)<br /> ボンネットシール：FKM(バイトンⓇ)</td>  <td style="text-align: center;">Valve body:SUS304<br /> Bellows:SUS316L(□FLV)<br /> Cylinder:Aluminum<br /> Valve seat seal:FKM(VitonⓇ)<br /> Bonnet seal:FKM(VitonⓇ)</td>  </tr>  </tbody>  </table>  <div class="m-unit">  <h4 class="m-h4--wysiwyg">技術情報</h4>  </div>  <table class="m-table"><colgroup> <col style="width: 14.285714285714%;" /> <col style="width: 14.285714285714%;" /> <col style="width: 14.285714285714%;" /> <col style="width: 14.285714285714%;" /> <col style="width: 14.285714285714%;" /> <col style="width: 14.285714285714%;" /> <col style="width: 14.285714285714%;" /> </colgroup>  <thead>  <tr>  <th style="text-align: center;">&nbsp;</th>  <th style="text-align: center;">型式<br /> type</th>  <th style="text-align: center;">16A</th>  <th style="text-align: center;">25A</th>  <th style="text-align: center;">40A</th>  <th style="text-align: center;">50A</th>  <th style="text-align: center;">(63A)<br /> 65A</th>  </tr>  </thead>  <tbody>  <tr>  <th style="text-align: center;">コンダクタンス<br /> conductance</th>  <td style="text-align: center;">□FLV</td>  <td style="text-align: center;">4l/sec</td>  <td style="text-align: center;">10l/sec</td>  <td style="text-align: center;">32l/sec</td>  <td style="text-align: center;">70l/sec</td>  <td style="text-align: center;">107l/sec</td>  </tr>  </tbody>  </table>  <h4 class="m-h4--wysiwyg">型式表示方法</h4>  <div class="m-thumbnail">  <div class="m-thumbnail__img has-border" data-autoheight="item"><img src="//content.misumi-ec.com/image/upload/t_msmwm_wyg/v1/p/jp/product/wysiwyg/221005267858/221005267858_004_20230801115855.jpg" alt="高真空アングルバルブ（複動・単動）:関連画像" /></div>  <p>型式表示方法</p>  </div>  <ul class="m-notesList">  <li>※ 1:手動型は5万回。</li>  <li>※ 2:LXシリーズに手動型は含みません。</li>  <li>※ 片側固定、片側回転</li>  </ul>  <h3 class="m-h3--wysiwyg">ベローズメーカーが造ったからできた、&ldquo;6つ&rdquo;のここがすごい！</h3>  <h4 class="m-h4--wysiwyg">ここがすごい（1）：高い耐食性</h4>  <p class="u-fs-M">SUS材を採用しているため、アルミニウム材に比べ、高い耐腐食性を確保しています。</p>  <div class="m-unit"><span class="u-bold">バルブボディー：SUS304</span><br /> <span class="u-bold">ベローズ：SUS316L</span></div>  <div class="m-unit">  <div class="m-cols" data-autoheight="group">  <div class="m-cols__wrap">  <div class="m-cols__1of2">  <div class="m-thumbnail">  <div class="m-thumbnail__img has-border" data-autoheight="item"><img src="//content.misumi-ec.com/image/upload/t_msmwm_wyg/v1/p/jp/product/wysiwyg/221005267858/221005267858_005_20230801115855.jpg" alt="高真空アングルバルブ（複動・単動）:関連画像" /></div>  </div>  </div>  <div class="m-cols__1of2">  <div class="m-thumbnail">  <div class="m-thumbnail__img has-border" data-autoheight="item"><img src="//content.misumi-ec.com/image/upload/t_msmwm_wyg/v1/p/jp/product/wysiwyg/221005267858/221005267858_006_20230801115855.jpg" alt="高真空アングルバルブ（複動・単動）:関連画像" /></div>  <p>【酸への強さ】 代表的ステンレスと他の素材の脱不動態化PH</p>  </div>  </div>  </div>  </div>  </div>  <h4 class="m-h4--wysiwyg">ここがすごい（2）：長寿命で高いコストパフォーマンス</h4>  <p class="u-fs-M">SUS材の採用、豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズ内蔵で、自信の長寿命保証。<br />寿命を明示しているメーカーは非常に少ない中、入江工研は、長寿命でハイレベルな品質をご提供。長く使えるからお得です！</p>  <div class="m-unit">  <div class="m-cols" data-autoheight="group">  <div class="m-cols__wrap">  <div class="m-cols__1of2">  <div class="m-thumbnail">  <div class="m-thumbnail__img has-border" data-autoheight="item"><img src="//content.misumi-ec.com/image/upload/t_msmwm_wyg/v1/p/jp/product/wysiwyg/221005267858/221005267858_007_20230801115855.jpg" alt="高真空アングルバルブ（複動・単動）:関連画像" /></div>  </div>  </div>  <div class="m-cols__1of2">  <div class="m-thumbnail">  <div class="m-thumbnail__img has-border" data-autoheight="item"><img src="//content.misumi-ec.com/image/upload/t_msmwm_wyg/v1/p/jp/product/wysiwyg/221005267858/221005267858_008_20230801115855.jpg" alt="高真空アングルバルブ（複動・単動）:関連画像" /></div>  </div>  </div>  </div>  </div>  </div>  <p><span class="u-bold">さらに、特注で保証回数100万回！</span><br /> 内蔵している成形ベローズの材質をハステロイに変更すれば、100万回を保証！特注のご要望がありましたら、当社相談窓口までご相談ください。</p>  <div class="m-cols" data-autoheight="group">  <div class="m-cols__wrap">  <div class="m-cols__1of2">  <h4 class="m-h4--wysiwyg">ここがすごい（3）：高真空対応</h4>  <p class="u-fs-M">大気圧から10-6Paまで対応しているので、高真空でも安心です。</p>  </div>  <div class="m-cols__1of2">  <h4 class="m-h4--wysiwyg">ここがすごい（4）：Oリンク脱落防止</h4>  <p class="u-fs-M">弁座Ｏリングが粘着して脱落しないように、弁座のOリング溝（蟻溝形状）を改良しました。</p>  </div>  </div>  </div>    <div class="m-cols" data-autoheight="group">  <div class="m-cols__wrap">  <div class="m-cols__1of2">  <h4 class="m-h4--wysiwyg">ここがすごい（5）：洗浄して再利用</h4>  <p class="u-fs-M">成形ベローズ、ボディー等を洗浄、Oリングのみのお取替えで再度利用できます。</p>  </div>  <div class="m-cols__1of2">  <h4 class="m-h4--wysiwyg">ここがすごい（6）：ISO規格フランジ</h4>  <p class="u-fs-M">取扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ付を採用しています。</p>  </div>  </div>  </div>    <h3 class="m-h3--wysiwyg">開発秘話</h3>  <div class="m-developerBox">  <div class="m-developerBox__img--l"><span class="mc-icon">&nbsp;</span></div>  <div class="m-developerBox__main">  <div class="m-developerBox__balloon--l">  <p class="u-fs-M">溶接ベローズから成形ベローズに変更し、コストダウンを図りました。</p>  </div>  </div>  </div>

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