メカニカル部品技術窓口
ミスミ品のみ対象
ガイド方式に一体型リニアボールを採用し、高精度・高剛性を実現しました。 ◆自動ステージ技術ペー...
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[ ! ]図面はカバーLです。
| 型式 | − | センサ選択 | − | モータ | − | ケーブル |
| XYMSG413 | − | LA5 | − | C | − | N |
| 型式 | センサ選択 | モータ | ケーブル | 機械規格 | 精度規格*3 | |||||||||||
| Type | No. | カバー位置 | 論理 | 電圧(V) | ステージ面 (mm) | 移動量 (mm) | 自重*2 (kg) | 耐荷重 (N) | 一方向位置決め 精度 | モーメント剛性[''/N・cm] | ピッチング | ヨーイング | ||||
| ピッチング | ヨーイング | ローリング | ||||||||||||||
| XYMSG | 413 | L (正勝手) R (勝手違い) | A (すべてN.C.) B (すべてN.O.) C (リミットスイッチはN.C. 原点センサはN.O.) | 5 24 | C (標準) D (高トルク) E (高分解能) MA*1 (ブレーキ付) PA*1 (αステップ) UA*1 (サーボモータ) | N (ケーブルなし,別売) M*1 (ブレーキ付用) P*1 (αステップ用) U*1 (サーボモータ用) [ ! ]モータ・ケーブルの組合せは概要・仕様をご参照ください。 | 40X40 | 13 | 1.0 | 93.1 | 6μm | 0.22 | 0.17 | 0.12 | 15''以内 | 10''以内 |
| 513 | 50X50 | 1.22 | 92.1 | 0.14 | 0.1 | 0.06 | ||||||||||
| 615 | 60X60 | 15 | 1.46 | 91.1 | 0.08 | 0.07 | 0.03 | |||||||||
| 715 | 70X70 | 1.72 | 89.2 | 0.03 | 0.03 | 0.01 | ||||||||||
| 430 | 40X60 | 30 | 1.40 | 90.5 | 12μm | 0.24 | 0.18 | 0.26 | 20''以内 | 15''以内 | ||||||
| 530 | 50X70 | 1.72 | 88.5 | 0.12 | 0.13 | 0.1 | ||||||||||
| 650 | 60X100 | 50 | 2.49 | 84.4 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | |||||||||
| 750 | 70X110 | 2.92 | 82.7 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | ||||||||||
*1:モータ選択MA、PAはドライバ、UAはアンプがセットになっております。ケーブルはそれぞれM、P、Uのみ選択可能でN(ケーブルなし)は選択できません。
*2:モータ選択C使用時の値です。
*3:単軸(水平置き)での精度仕様となります。
[ ! ]モータ(C,D,E)選択時はケーブルが付属されません。>>こちらのMSCB□をご利用ください。
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
155,610円 ( 171,171円 ) | 98日目 |
161,600円 ( 177,760円 ) | 98日目 |
157,610円 ( 173,371円 ) | 98日目 |
345,140円 ( 379,654円 ) | 98日目 |
301,250円 ( 331,375円 ) | 98日目 |
440,900円 ( 484,990円 ) | 98日目 |
155,610円 ( 171,171円 ) | 98日目 |
161,600円 ( 177,760円 ) | 98日目 |
157,610円 ( 173,371円 ) | 98日目 |
345,140円 ( 379,654円 ) | 98日目 |
301,250円 ( 331,375円 ) | 98日目 |
440,900円 ( 484,990円 ) | 98日目 |
155,610円 ( 171,171円 ) | 98日目 |
161,600円 ( 177,760円 ) | 98日目 |
157,610円 ( 173,371円 ) | 98日目 |
345,140円 ( 379,654円 ) | 98日目 |
301,250円 ( 331,375円 ) | 98日目 |
440,900円 ( 484,990円 ) | 98日目 |
155,610円 ( 171,171円 ) | 98日目 |
161,600円 ( 177,760円 ) | 98日目 |
157,610円 ( 173,371円 ) | 98日目 |
345,140円 ( 379,654円 ) | 98日目 |
301,250円 ( 331,375円 ) | 98日目 |
440,900円 ( 484,990円 ) | 98日目 |
155,610円 ( 171,171円 ) | 98日目 |
161,600円 ( 177,760円 ) | 98日目 |
157,610円 ( 173,371円 ) | 98日目 |
345,140円 ( 379,654円 ) | 98日目 |
301,250円 ( 331,375円 ) | 98日目 |
440,900円 ( 484,990円 ) | 98日目 |
155,610円 ( 171,171円 ) | 98日目 |
161,600円 ( 177,760円 ) | 98日目 |
157,610円 ( 173,371円 ) | 98日目 |
345,140円 ( 379,654円 ) | 98日目 |
301,250円 ( 331,375円 ) | 98日目 |
440,900円 ( 484,990円 ) | 98日目 |
155,610円 ( 171,171円 ) | 98日目 |
161,600円 ( 177,760円 ) | 98日目 |
157,610円 ( 173,371円 ) | 98日目 |
345,140円 ( 379,654円 ) | 98日目 |
301,250円 ( 331,375円 ) | 98日目 |
440,900円 ( 484,990円 ) | 98日目 |
155,610円 ( 171,171円 ) | 98日目 |
161,600円 ( 177,760円 ) | 98日目 |
157,610円 ( 173,371円 ) | 98日目 |
345,140円 ( 379,654円 ) | 98日目 |
301,250円 ( 331,375円 ) | 98日目 |
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155,610円 ( 171,171円 ) | 98日目 |
161,600円 ( 177,760円 ) | 98日目 |
157,610円 ( 173,371円 ) | 98日目 |
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155,610円 ( 171,171円 ) | 98日目 |
161,600円 ( 177,760円 ) | 98日目 |
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ガイド方式に一体型リニアボールを採用し、高精度・高剛性を実現しました。
◆自動ステージ技術ページ はこちら↓
https://jp.misumi-ec.com/maker/misumi/mech/special/actuator_portal/msg/
※ご不明点のある方はこちらまでご連絡ください。
| 型式 | ¥基準単価 | ||||||
| Type | No. | モータ | |||||
| C | D | E | MA | PA | UA | ||
| XYMSG | 413 | 155,610 | 161,600 | 157,610 | 345,140 | 301,250 | 440,900 |
| 513 | 161,490 | 167,580 | 163,590 | 351,120 | 307,230 | 446,880 | |
| 615 | 163,590 | 169,580 | 165,590 | 353,120 | 309,230 | 448,880 | |
| 715 | 173,460 | 179,550 | 175,560 | 363,090 | 319,200 | 458,850 | |
| 430 | 188,530 | 194,510 | 190,520 | 378,050 | 334,160 | 473,810 | |
| 530 | 196,510 | 202,490 | 198,500 | 386,030 | 342,140 | 481,790 | |
| 650 | 208,480 | 214,460 | 210,470 | 398,000 | 354,110 | 493,760 | |
| 750 | 216,460 | 222,440 | 218,450 | 405,980 | 362,090 | 501,740 | |
| 送りねじ | ボールねじφ6、リード1 |
| ガイド | リニアボールガイド |
| 分解能*1 | 2μm/パルス(Full) 1μm/パルス(Half) |
| 繰返位置決め精度 | ±0.5μm以内 |
| ロストモーション | 1μm以内 |
| バックラッシ | 0.5μm以内 |
| 平行度 | 15μm以内 |
| モータ | ケーブル |
| C,D,E | N(なし) |
| MA | M |
| PA | P |
| UA | U |
| モータ選択 | (mm/sec) | モータ選択 | (mm/sec) |
| C | 10 | MA | 20 |
| D | 30 | PA | 35 |
| E | 25 | UA | 50 |
[ ! ]モータ選択C、D、E使用時の仕様です。モータ選択MA、PA、UA使用時の
仕様は自動リニアボールステージ概要(こちら)をご参照ください。
| モータ | タイプ | 5相ステッピングモータ 0.75A/相(オリエンタルモーター(株)) |
| ステップ角 | 0.72°(Eのみ0.36°) | |
| 受側適合コネクタ | HR10A−10P−12S(73)(ヒロセ電機㈱) | |
| センサ | 消費電流 | 100mA以下(1センサあたり25mA) |
| 制御出力 | NPNオープンコレクタ出力 DC5~24V±5% | |
| 残留電圧0.3V以下(負荷電流2mAの場合) | ||
| 出力論理 | N.C.…入光時ON <内部回路> ![]() K : 発光側カソード V : 受光側電源+ A : 発光側アノード O : 出力 G : 受光側電源- | |

| (単位:mm) | CW方向 CCW方向 | ||||||
| 移動量 | 座標基準 | メカリミット | CWリミット | 反端面 | 原点 | CCWリミット | メカリミット |
| 13 | 原点復帰 | 8 | 7.5 | 2 | 0 | 6.5 | 7 |
| 15 | 原点復帰 | 9 | 8.5 | 2 | 0 | 7.5 | 8 |
| 30 | 原点復帰 | 16.5 | 16 | 2 | 0 | 15 | 15.5 |
| 50 | 原点復帰 | 26.5 | 26 | 2 | 0 | 25 | 25.5 |
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