ミラプロ 真空計・圧力センサ

【特長】・カソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました・カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました・今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます【用途】・真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、質量分析装置、LPCVD装置、有機EL材料精製、加速器等

複合真空計タフゲージは、BA電離真空計とピラニ真空計を組み合わせた複合型の真空計です。【特長】・1本で大気から超高真空までの広範囲を自動的に切り替えながら計測します・ピラニ真空計は温度計を内蔵して温度補正を行い、温度変化による誤差を低減します・ピラニ真空計には耐腐食性の材料を使用、高真空ではBA電離真空計と同じくタフモードで動作しますので、汚染環境でも感度低下が起きにくく、長期間、精度よく測定することができます