
インフィコン
| 導入機種類 | フランジ種類 | フランジサイズ(呼び) | 直線導入機 ストローク(mm) | 使用圧力(参考値)(Pa ~) | ベーキング温度(℃) |
|---|---|---|---|---|---|
| 回転導入機 | NW/KF | 25 ~ 40 | - | 1.0×10-7 | 110 |

インフィコン
| 導入機種類 | フランジ種類 | フランジサイズ(呼び) | 直線導入機 ストローク(mm) | 使用圧力(参考値)(Pa ~) | ベーキング温度(℃) |
|---|---|---|---|---|---|
| 直線導入機 | NW/KF | 25 ~ 40 | 100 ~ 150 | 1.0×10-6 | 110 |

インフィコン
| 導入機種類 | フランジ種類 | フランジサイズ(呼び) | 直線導入機 ストローク(mm) | 使用圧力(参考値)(Pa ~) | ベーキング温度(℃) |
|---|---|---|---|---|---|
| 液体導入用 | CF/ICF | 40 | - | 1.0×10-6 | 400 |
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