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材質
- カバー・ケース／ポリカーボネート、クッション／PBT（ポリブチレンテレフタレート）
- カバー・ケース／ポリカーボネート、クッション／PBT（ポリブチレンテレフタレート）、クッション・ガスケット／エラストマー
適合ウエハー径(mm)
- Φ50（2インチ）
- Φ75（3インチ）
- Φ100（4インチ）
- Φ300（12インチ）
サイズ(mm)
- 63×63×14
- 91×91×14
- 112×112×15
- 339×339×43
出荷日
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