マスフローコントローラー　C-4S2-Lシリーズ

製品特長・仕様

※流量（SCCM,SLM）は0℃、101.3kPa bs.（1atm）に換算して校正しています。
※温度影響の基準は25℃です。

外部入出力仕様：D-sub9 コネクタ

D-sub9 コネクタ
1. NC
2. 流量出力信号
3. 供給電源 +15V
4. 電源 0VDC （COMMON）
5. 供給電源 -15V
6. 流量設定信号
7. 流量出力信号 COMMON
8. 流量設定信号 COMMON
9. NC
※未使用端子（NC）は使用しないでください。
使用コネクタ：17JE-23090-02-D1
メーカー：DDK
適合コネクタ：17JE-13090-02-D1-A
メーカー：DDK
（注意）電気配線（結線）に際しては誤配線なきよう、配線の確認を行ってください。誤配線（結線）は本体の故障だけではなく、火災の危険があります。

外形図

使用方法・使用事例

接続図

使用方法

1. 配管接続：ガスラインへの接続は本体の ⇒ の向きに従い、スパナ等適切な工具で締め付けて固定してください。
2. 電気（コネクタ）接続：「外部入出力仕様」に従い、接続を行ってください。供給電源の容量は仕様書に記載している電流値以上のものをご使用ください。
3. 点検：配管及び配線接続後、配管にリークはないか、又コネクタにゆるみ等の接触不良がないか必ず点検してください。
4. 暖気：電源投入後、約30分以上の暖気を行ってください。暖気後、ゼロ点調整を行うことをお勧めします。
5. 流量制御：本体が十分に暖気されガスの供給を開始し、設定電圧を印加すると設定電圧に応じた流量制御を開始します。
設定流量（%） = （設定流量÷FS流量）×100
6. 停止：本製品は、シートリーク保証はありません。別途バルブにてガスの停止を行ってください。
7. ゼロ点調整：ゼロ点調整は本体上面にあります。調節口から小型のマイナスドライバーで調整してください。ゼロ点調整時は、ガスの流れが完全に停止した状態で行ってください。ガスの流れがある状態でのゼロ点調整を実行すると正確なゼロ調整が行えず流量ずれの原因になります。

注意・禁止事項

注意・禁止事項

（1）供給電源電圧は必ず仕様に記載された範囲内で使用してください。
（2）分解、改造はしないでください。
（3）電気配線（結線）に際しては、記載されている内容を確認の上、正しく配線（結線）してください。
（4）本製品は、防爆仕様ではありません。可燃性ガス、爆発性ガス、腐食ガスが発生、充満している場所およびその周辺では使用しないでください。
（5）動作周囲温度、湿度は仕様に記載された範囲内で使用してください。

注意

（1）配管に接続後、配管系にリークが無いことを確認し、配管内のパージを確実におこなってください。
（2）本製品は、精密な電子、機械部品で構成されています。落としたり強い衝撃を与えないでください。
（3）電源投入後必要な精度を得るため約30分以上の暖気を行ってください。
（4）配管からの不純物の侵入を防止するため、上流側にはガスフィルターのご使用をおすすめします。
（5）外部接続コネクタの脱着は必ず電源を切った状態でおこなってください。