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マスフローコントローラー C-4S2-Lシリーズ

※写真はイメージになり、ご選定の型番によって内容や形状が異なる場合がございます。

マスフローコントローラー C-4S2-Lシリーズ

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販売終了

型番

3-6946-01

2023年03月に販売終了となりました。

メーカー製造終了品ではなくミスミ取り扱い終了となります。取り扱い再開予定および推奨代替品はございません。

【特長】
・熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
・スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

ご注意

  • 取扱説明書は右上のPDFより参照できます

指定中の仕様・寸法情報

サイズ(mm)
160×33.6×105
耐圧
1MPa(G)
ガス種類
Air
バルブ
N/O ノーマルオープン
応答速度
6sec
外部リークレート
1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
駆動電源
+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
継手
1/4in.SWL相当
再現性
±0.2%FS
使用可能温度
5~50℃ 85%RH以下
通信方式
アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
動作圧力範囲
50~300kPa

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