メカニカル部品技術窓口
※写真はイメージになり、ご選定の型番によって内容や形状が異なる場合がございます。
変位角度測定センサ Smart LPS 3D（H720）
販売終了
型番
H720CL-13510R2-10-050A
2025年12月に販売終了となりました。
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変位と傾き角度を同時測定！三角測量とオートコリメータの測定方式をひとつにした3軸センサです。
透明体の複数層を1度に計測することが可能。
測定には測定用アプリケーション「Suruga OptGuage」をダウンロードしたPCが必要です。
【特長】
・ワークが傾いても角度補正機能で正確に変位測定可能
・PC操作でリアルタイムにデータ取得しながらワーク調整可能
・内部光源波長660nm
【用途】
・半導体ウエハやマスクの姿勢測定
・イメージセンサの傾きと高さの同時測定
ご注意
- 商品画像は形状や色味を含め、実際の商品とは異なる場合がございます。
指定中の仕様・寸法情報
ビーム径(mm)
1
ケーブル長(m)
3
ビーム光
コリメート光
角度レンジ
±1.35度（円形範囲）
変位レンジ
±10mm
レーザ波長
660nm
W.D.（変位）
50mm
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