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真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズ

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7,479円~20,658円
税込単価
8,227円~22,724円
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【10-シリーズ クリーンシリーズ】・クリーン環境に対応・クリーンルーム内への発塵を防止【20-シリー...

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数量:

商品情報

外形図

単位:mm

標準配管仕様

真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズ 外形図01

10-IRV10-□□□G:圧力計付

真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズ 外形図03

10-IRV20-□□□G:圧力計付

一面配管仕様

真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズ 外形図02

10-IRV10A-□□□G:圧力計付

真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズ 外形図04

10-IRV20A-□□□G:圧力計付

製品仕様

型式表示方法

真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズ 型番表示方法01
真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズ 型番表示方法01

標準仕様

型番10-IRV1010-IRV20
使用流体空気
設定圧力範囲注1)-100~-1.3kPa
大気吸込消費量注2)0.6L/min(ANR)以下
ハンドル分解能0.13kPa以下
周囲温度および使用流体温度5~60℃
VAC.側チューブ外径φ6、φ8、φ1/4”、φ5/16”φ6、φ8、φ10、φ1/4”、φ5/16”、φ3/8”
SET.側チューブ外径
質量(付属品なし)標準配管仕様135g(10-IRV10-C08)250g(10-IRV20-C10)
一面配管仕様125g(10-IRV10A-C08)125g(10-IRV20A-C10)

注1)真空ポンプの圧力により変化しますのでご注意ください。
注2)常時大気から空気を取込んでいます。

流量特性(代表値)

  • 条件:真空ポンプ排気速度2,500L/min、VAC.側圧力-101kPa(初期設定時)
真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズ 流量特性03

10-IRV10-C08(ワンタッチ管継手φ8)

真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズ 流量特性04

10-IRV10-C20(ワンタッチ管継手φ10)

圧力特性(代表値)

真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズ 圧力特性05

10-IRV10

真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズ 圧力特性06

10-IRV20

構造

真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズ 構造図02

作動原理

ハンドルを右回転させると設定スプリングの力によって、ダイヤフラムとバルブが押し下げられVAC.側とSET.側が通じ、SET.側の真空度が高くなります(絶対真空寄りに変化する)。
さらにSET.側の真空圧力はエア通路を通り、真空室に導かれ、ダイヤフラムの上面に作用し、設定スプリングの圧縮力と対抗し、SET.側圧力が設定されます。SET.側が所定の設定値より真空度が高くなった場合(絶対真空寄りに変化する)は、設定スプリングと真空室のSET.側圧力との平衡が崩れ、ダイヤフラムが上に押し上げられます。よって、バルブが閉じて、大気吸い込み弁が開き、大気がSET.側に流入して、設定スプリングの圧縮力とSET.側圧力が平衡したところで、SET.側圧力となります。また、SET.側圧力が所定の設定値より真空度が低くなった場合(大気圧寄りに変化する)は、設定スプリングと真空室との平衡が崩れ、ダイヤフラムが下へ押し下げられます。
よって、大気吸込み弁が閉じて、バルブがhば開き、VAC.側に吸入され、設定スプリング圧縮力とSET.側圧力が平衡したところで、SET.側圧力となります。

継手部寸法

単位:mm

■圧力計付

真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズ 継手寸法07

■デジタル圧力スイッチ付

真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズ 継手寸法08

型番リスト

表示件数

使用流量

(l/min)

形状

供給側 接続チューブ径

制御側 接続チューブ径

配管仕様

付属品

モニタ出力

供給側 継手形状

制御側 継手形状

ブラケット

種別

最小発注数量
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
標準配管仕様
なし
-
ストレート
ストレート
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
標準配管仕様
なし
-
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
標準配管仕様
圧力計付
-
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
標準配管仕様
ゲージナットAss'y
-
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
標準配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ2出力
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
標準配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
PNPオープンコレクタ2出力
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
標準配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ1出力
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
標準配管仕様
圧力計付
-
ストレート
ストレート
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
標準配管仕様
なし
-
ストレート
ストレート
底面ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
標準配管仕様
圧力計付
-
ストレート
ストレート
底面ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
標準配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ1出力
ストレート
ストレート
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ8
φ8
標準配管仕様
なし
-
ストレート
ストレート
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ8
φ8
標準配管仕様
なし
-
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ8
φ8
標準配管仕様
圧力計付
-
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ8
φ8
標準配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ1出力
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ8
φ8
標準配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
PNPオープンコレクタ1出力
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ8
φ8
標準配管仕様
圧力計付
-
ストレート
ストレート
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ8
φ8
標準配管仕様
圧力計付
-
ストレート
ストレート
底面ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ8
φ8
標準配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ2出力
ストレート
ストレート
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
標準配管仕様
なし
-
エルボ
エルボ
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
標準配管仕様
なし
-
エルボ
エルボ
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
標準配管仕様
圧力計付
-
エルボ
エルボ
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
標準配管仕様
ゲージナットAss'y
-
エルボ
エルボ
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
標準配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ2出力
エルボ
エルボ
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
標準配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ1出力
エルボ
エルボ
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
標準配管仕様
圧力計付
-
エルボ
エルボ
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
標準配管仕様
なし
-
エルボ
エルボ
底面ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
標準配管仕様
圧力計付
-
エルボ
エルボ
底面ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
標準配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ1出力
エルボ
エルボ
底面ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ8
φ8
標準配管仕様
なし
-
エルボ
エルボ
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ8
φ8
標準配管仕様
なし
-
エルボ
エルボ
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ8
φ8
標準配管仕様
圧力計付
-
エルボ
エルボ
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ8
φ8
標準配管仕様
ゲージナットAss'y
-
エルボ
エルボ
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ8
φ8
標準配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ1出力
エルボ
エルボ
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ8
φ8
標準配管仕様
圧力計付
-
エルボ
エルボ
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ8
φ8
標準配管仕様
なし
-
エルボ
エルボ
底面ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ8
φ8
標準配管仕様
圧力計付
-
エルボ
エルボ
底面ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ8
φ8
標準配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ1出力
エルボ
エルボ
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ1/4"
φ1/4"
標準配管仕様
なし
-
エルボ
エルボ
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ1/4"
φ1/4"
標準配管仕様
圧力計付
-
エルボ
エルボ
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ1/4"
φ1/4"
標準配管仕様
なし
-
ストレート
ストレート
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ1/4"
φ1/4"
標準配管仕様
圧力計付
-
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ1/4"
φ1/4"
標準配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ2出力
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ5/16"
φ5/16"
標準配管仕様
圧力計付
-
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
一面配管仕様
なし
-
ストレート
ストレート
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
一面配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ1出力
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
一面配管仕様
圧力計付
-
ストレート
ストレート
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
一面配管仕様
ゲージナットAss'y
-
ストレート
ストレート
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
一面配管仕様
なし
-
ストレート
ストレート
底面ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
一面配管仕様
圧力計付
-
ストレート
ストレート
底面ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
一面配管仕様
ゲージナットAss'y
-
ストレート
ストレート
底面ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
一面配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ2出力
ストレート
ストレート
底面ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ6
φ6
一面配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ2出力
ストレート
ストレート
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ8
φ8
一面配管仕様
なし
-
ストレート
ストレート
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
標準
φ8
φ8
一面配管仕様
圧力計付
-
ストレート
ストレート
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
一面配管仕様
なし
-
エルボ
エルボ
なし
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
一面配管仕様
圧力計付
-
エルボ
エルボ
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
一面配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
NPNオープンコレクタ1出力
エルボ
エルボ
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
一面配管仕様
デジタル圧力スイッチ付
PNPオープンコレクタ1出力
エルボ
エルボ
ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
最大流量140L/min(ANR)
ワンタッチ継手形エルボ
φ6
φ6
一面配管仕様
圧力計付
-
エルボ
エルボ
底面ブラケット付
クリーンシリーズ
1個
通常単価(税別) (税込単価)
通常出荷日
7,479円
( 8,227円 )
19日目
7,719円
( 8,491円 )
19日目
10,056円
( 11,062円 )
19日目
7,721円
( 8,493円 )
19日目
15,007円
( 16,508円 )
19日目
16,585円
( 18,244円 )
19日目
16,131円
( 17,744円 )
19日目
9,827円
( 10,810円 )
19日目
7,860円
( 8,646円 )
19日目
10,194円
( 11,213円 )
19日目
14,778円
( 16,256円 )
19日目
7,479円
( 8,227円 )
19日目
7,719円
( 8,491円 )
19日目
10,056円
( 11,062円 )
19日目
15,006円
( 16,507円 )
19日目
16,602円
( 18,262円 )
19日目
9,827円
( 10,810円 )
19日目
10,194円
( 11,213円 )
19日目
14,778円
( 16,256円 )
19日目
7,760円
( 8,536円 )
19日目
8,001円
( 8,801円 )
19日目
10,334円
( 11,367円 )
6日目
8,002円
( 8,802円 )
19日目
15,288円
( 16,817円 )
19日目
16,441円
( 18,085円 )
19日目
10,108円
( 11,119円 )
19日目
8,771円
( 9,648円 )
19日目
10,476円
( 11,524円 )
19日目
17,081円
( 18,789円 )
19日目
7,760円
( 8,536円 )
19日目
8,001円
( 8,801円 )
19日目
10,334円
( 11,367円 )
19日目
8,002円
( 8,802円 )
19日目
15,287円
( 16,816円 )
19日目
10,110円
( 11,121円 )
19日目
8,140円
( 8,954円 )
19日目
10,476円
( 11,524円 )
19日目
16,689円
( 18,358円 )
19日目
7,760円
( 8,536円 )
19日目
10,335円
( 11,369円 )
19日目
7,479円
( 8,227円 )
19日目
10,056円
( 11,062円 )
19日目
16,585円
( 18,244円 )
19日目
10,056円
( 11,062円 )
19日目
7,947円
( 8,742円 )
19日目
17,081円
( 18,789円 )
19日目
10,294円
( 11,323円 )
19日目
7,947円
( 8,742円 )
19日目
8,328円
( 9,161円 )
19日目
11,436円
( 12,580円 )
19日目
9,187円
( 10,106円 )
19日目
15,614円
( 17,175円 )
19日目
15,247円
( 16,772円 )
19日目
8,532円
( 9,385円 )
19日目
10,522円
( 11,574円 )
19日目
8,227円
( 9,050円 )
19日目
10,805円
( 11,886円 )
19日目
18,015円
( 19,817円 )
19日目
16,908円
( 18,599円 )
19日目
10,944円
( 12,038円 )
19日目

詳細情報

基本情報

【10-シリーズ クリーンシリーズ】
・クリーン環境に対応
・クリーンルーム内への発塵を防止

【20-シリーズ 銅系・フッ素系不可仕様】
・銅材質、フッ素材質を嫌う環境での使用に対応
・外形寸法は標準品と同一

ご注意

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真空レギュレータ クリーンシリーズ 銅系・フッ素系不可仕様 10-/20-IRV10・20シリーズのレビュー
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メーカーSMCCKDコガネイSMCCKDAirTAC(エアタック)
通常価格7,479円-14,929円 -13,109円 -23,187円 -46,488円 -3,976円 -
通常出荷日在庫品1日目〜在庫品1日目〜在庫品1日目〜6日目〜8日目〜在庫品1日目〜
種類真空レギュレータ真空レギュレータ真空レギュレータ電子式真空レギュレータ電空レギュレータ真空レギュレータ
制御方式直動直動内部パイロット内部パイロット内部パイロット内部パイロット
供給側 接続種類ワンタッチ配管RcRcワンタッチ配管RcRc(R)
制御側 接続種類ワンタッチ配管RcRcワンタッチ配管RcRc(R)
設定圧力範囲(kPa)-100::-1.3-100::-1-2.5::-95-1::-100-96::-101.3-

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