メカニカル部品技術窓口
初期給気、主給気ともに流量調整可能なスムーズベントバルブ。【特長】・バルブとニ...
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XVD2-02S

XVD2-02V

表示記号
| 型番 | XVD2-02V | XVD2-02S | |
|---|---|---|---|
| 使用圧力 Pa | 1×10-6(abs)~0.2MPa(G) | ||
| オリフィス径 mm | φ3(オリフィス径3mm) | ||
| 有効断面積 mm2 | 主給気 | 4.6 | |
| 初期給気 | 0.2~4.6 | ||
| リーク量 Pa・m3/s | 内部 | 5×10-9 | 常温時・ガス透過を除く |
| 外部 | 1.3×10-11 | 常温時・ガス透過を除く | |
| 継手 | 1.3×10-11 | 1.3×10-10 | |
| 配管接続方式 | VCR用 | Swagelok用 | |
| 配管サイズ | 1/4 | ||
| 主な材質 | ボディ:SUS316L 要部:SUS316L、SUS304、FKM(シール材) | ||
| 内部表面処理 | ボディ:EP処理 | ||
| パイロット圧力 MPa(G) | 0.4~0.7(主給気・初期給気共) | ||
| パイロットポート(M,S)接続口径 | M5×0.8 | ||

■初期給気流量の設定
初期給気ロックねじ(15)をマイナスドライバで軽く止まるまで反時計方向に緩め、初期給気アジャストナット(4)を時計回りで回し続け、回転トルクを感じる近くの銘板とアジャストナットのマークが合った所が、初期給気流量の最小流量になる。(工場出荷時、最小流量位置に設定されている。この位置以上、初期給気アジャストナット(4)を締め込むと、流体が流れない/内部部品の破損等の可能性があるので、注意すること。)
初期給気メモリ板(17)の角度合わせ目盛と初期給気アジャストナット(4)の位置を確認後に反時計回転で初期給気量を設定する。回転数と流量特性に従い初期給気流量を設定する。設定後は初期給気ロックねじ(15)を0.5N-cmのトルクで締めてロックする。
■主給気流量の設定
主給気ロックねじ(16)をマイナスドライバで緩め、主給気アジャストナット(5)をマイナスドライバなどで自由に回転する事を確認する。主給気アジャストナット(5)を時計回りで回し続け、停止した所が初期給気の設定量となる。主給気メモリ板(18)の角度合わせ目盛と主給気アジャストナット(5)の位置を確認後に反時計回転で主給気流量を設定する。設定後は主給気ロックねじ(16)を0.3N-cmのトルクで締めてロックする。
■初期給気の供給
IN(1)ポート側から充填された気体は、初期スプリング(11)により開閉弁ピストン(10)を押下げ、ダイヤフラム(7)と弁座(6)をシールさせ気体を止める。パイロットポートS(20)にパイロット圧力を加える。パイロット圧力は開閉ピストン(10)の下部に充填され、開閉弁ピストン(10)は規定量移動し停止する。開閉弁ピストン(10)が移動することにより、ダイヤフラム(7)は弁座(6)から離脱し気体が流れる。流れ始めた気体はポペット弁(8)とポペット座(9)との隙間(初期給気設定量)を通りOUT(2)ポート側へ流れる。
■主給気の供給
初期給気弁用パイロットポート(20)にパイロット圧力を加えた状態で、パイロットポートM(19)にパイロット圧力を加える。パイロット圧力はポペット弁ピストン(12)の下部に充填され、ポペット弁ピストン(12)は上動し主給気アジャストナット(5)に当たり停止する。ポペット弁ピストン(12)が移動することにより連結されたポペット弁(8)は初期給気調整位置からさらに移動しより多くの気体がOUT(2)ポート側へ流れる。
■初期・主給気の停止

回転数と流量特性
初期給気、主給気は同時に停止可能。パイロットポートS(20)からの排気により主スプリング(13)の力で、開閉弁ピストン(10)が下方に移動しダイヤフラム(7)と弁座(6)が閉じ、気体の供給を停止する。パイロットポートM(19)からの排気により初期スプリング(11)の力で、ポペット弁ピストン(12)が下方に移動し、初期給気の設定位置に戻る。
初期給気、主給気ともに流量調整可能なスムーズベントバルブ。
【特長】
・バルブとニードル弁一体化構造で配管スペースが1/4(従来比)
・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減
・弁の形式:常時閉(加圧開・スプリングシール)
・使用流体:窒素、空気、不活性ガス等
・使用温度:5~60℃(ベーキング温度、150℃以下)
・質量:0.5kg



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