メカニカル部品技術窓口
圧力バランス構造で、排気方向が自由な真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフ...
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XMH/L型バルブ

XYH/ストレート型

L型バルブ/XMHシリーズ

ストレート型/XYHシリーズ
| 型番 | XMH-16 | XMH-25 XYH-25 | XMH-40 XYH-40 | XMH-50 XYH-50 | |
|---|---|---|---|---|---|
| フランジ(バルブ)サイズ | 16,CF034 | 25 | 40,CF070 | 50 | |
| 弁の形式 | 手動 | ||||
| 使用流体 | 不活性ガス系の真空 | ||||
| 使用温度 ℃ | 5~150 | ||||
| 使用圧力 Pa(abs) | 1×10-6~大気圧 | ||||
| コンダクタンス L/s注1) | 5 | 14 | 45 | 80 | |
| リーク量 Pa・m3/s | 内部 | 標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く | |||
| 外部 | 標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く | ||||
| フランジの種類 | KF(NW),CF | KF(NW) | KF(NW),CF | KF(NW) | |
| 主な材質 | 本体:SCS13(SUS304相当),ベローズ:SUS316L,要部:SUS304,FKM(標準シール材) | ||||
| 操作トルク N・m | 0.1≦ | 0.15≦ | 0.35≦ | 0.5≦ | |
| ハンドル回転数 | 5 | 7 | 10 | 13 | |
| 質量 kg注2) | XMH | 0.31(0.35) | 0.57 | 1.35(1.71) | 2.02 |
| XYH | - | 0.62 | 1.37 | 2.42 | |
注1)コンダクタンスは同一寸法のエルボの"分子流"での値で代表しています。
注2)( )内質量はCF(コンフラット)継手の場合です。

XMH/L型(左)・XYH/ストレート型(右)
※保守部品につきましてはカタログをご参照ください。
単位:mm
| 型番 | A | B | C | D | Fn | Fc | G | H | J | P.C.D.L1 | L2 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| XMH-16 | 40 | 100.5 | 38 | 1 | 30 | 34 | 17 | 35 | 18 | P.C.D27 | 6×φ4.4(直径4.4mm) |
| XMH-25 | 50 | 114 | 48 | 1 | 40 | - | 26 | 40.5 | 21.5 | - | - |
| XMH-40 | 65 | 162.5 | 66 | 2 | 55 | 70 | 41 | 57 | 30 | P.C.D58.7 | 6×φ6.6(直径6.6mm) |
| XMH-50 | 70 | 179.5 | 79 | 2 | 75 | - | 52 | 70 | 35 | - | - |
| 型番 | A | B | C | D | E | Fn | G | H | J |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| XYH-25 | 100.2 | 75.8 | 48 | 1 | 23.5 | 40 | 26 | 40.5 | 21.5 |
| XYH-40 | 130 | 102.5 | 66 | 2 | 38 | 55 | 41 | 57 | 30 |
| XYH-50 | 178 | 119 | 79 | 2 | 53 | 75 | 52 | 70 | 35 |
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
54,729円49,256円 ( 54,182円 ) | 6日目 |
54,922円49,429円 ( 54,372円 ) | 19日目 |
54,836円49,352円 ( 54,287円 ) | 19日目 |
54,836円49,352円 ( 54,287円 ) | 19日目 |
73,973円66,575円 ( 73,233円 ) | 19日目 |
68,614円61,752円 ( 67,927円 ) | 19日目 |
60,088円54,079円 ( 59,487円 ) | 19日目 |
69,273円62,345円 ( 68,580円 ) | 19日目 |
63,448円57,103円 ( 62,813円 ) | 19日目 |
60,579円54,521円 ( 59,973円 ) | 19日目 |
84,389円75,950円 ( 83,545円 ) | 19日目 |
84,115円75,703円 ( 83,273円 ) | 19日目 |
87,560円78,804円 ( 86,684円 ) | 19日目 |
61,427円55,284円 ( 60,812円 ) | 19日目 |
58,091円52,281円 ( 57,509円 ) | 19日目 |
58,091円52,281円 ( 57,509円 ) | 19日目 |
61,535円55,381円 ( 60,919円 ) | 19日目 |
76,077円68,469円 ( 75,316円 ) | 19日目 |
70,231円63,207円 ( 69,528円 ) | 19日目 |
67,358円60,622円 ( 66,684円 ) | 19日目 |
61,389円 ( 67,528円 ) | 在庫品1日目当日出荷可能 |
58,748円52,873円 ( 58,160円 ) | 19日目 |
48,765円43,888円 ( 48,277円 ) | 19日目 |
80,286円72,257円 ( 79,483円 ) | 19日目 |
81,244円73,119円 ( 80,431円 ) | 19日目 |
70,911円63,819円 ( 70,201円 ) | 19日目 |
68,891円62,001円 ( 68,201円 ) | 19日目 |
50,788円45,709円 ( 50,280円 ) | 19日目 |
65,744円59,169円 ( 65,086円 ) | 19日目 |
61,915円55,723円 ( 61,295円 ) | 19日目 |
62,384円56,145円 ( 61,760円 ) | 19日目 |
90,512円 ( 99,563円 ) | 6日目 |
90,705円81,634円 ( 89,797円 ) | 19日目 |
117,305円105,574円 ( 116,131円 ) | 19日目 |
102,953円92,657円 ( 101,923円 ) | 19日目 |
98,360円88,524円 ( 97,376円 ) | 19日目 |
97,319円 ( 107,051円 ) | 6日目 |
97,509円87,758円 ( 96,534円 ) | 19日目 |
97,403円87,662円 ( 96,428円 ) | 19日目 |
124,107円111,696円 ( 122,866円 ) | 19日目 |
110,606円99,545円 ( 109,500円 ) | 19日目 |
110,797円99,717円 ( 109,689円 ) | 19日目 |
153,279円137,951円 ( 151,746円 ) | 19日目 |
69,654円 ( 76,619円 ) | 6日目 |
69,847円62,862円 ( 69,148円 ) | 19日目 |
91,386円82,247円 ( 90,472円 ) | 19日目 |
84,200円75,780円 ( 83,358円 ) | 19日目 |
76,844円69,159円 ( 76,075円 ) | 19日目 |
92,344円83,109円 ( 91,420円 ) | 19日目 |
82,011円73,809円 ( 81,190円 ) | 19日目 |
79,989円71,990円 ( 79,189円 ) | 19日目 |
109,565円98,608円 ( 108,469円 ) | 19日目 |
108,225円97,402円 ( 107,142円 ) | 19日目 |
76,844円69,159円 ( 76,075円 ) | 19日目 |
73,015円65,713円 ( 72,284円 ) | 19日目 |
73,482円66,133円 ( 72,746円 ) | 19日目 |
101,611円91,449円 ( 100,594円 ) | 6日目 |
101,801円91,620円 ( 100,782円 ) | 19日目 |
131,847円118,662円 ( 130,528円 ) | 19日目 |
122,085円109,876円 ( 120,864円 ) | 19日目 |
圧力バランス構造で、排気方向が自由な真空バルブ。
【特長】
・ベローズ式でダストフリー、クリーン化
・低い操作トルク(0.5N・m以下)
・スプリングによる一定のシール荷重
・バルブ開閉時のハンドル高さが一定
・開閉確認用インジケータを標準で装備
・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)
・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)
・軽量・コンパクト

SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ
アルミニウム製真空バルブとなります。アウトガスや重金属汚染が少なく、フッ素に対する耐食性にも優れています。均一なベーキング温度により、生成物の付着が激減しました。

SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ
真空バルブとなります。アルミボディ採用でフッ素ガスの腐食に強い製品です。ベローズ交換が可能になり、メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れます。

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薄形シリンダ/標準形:複動・片ロッド CQ2シリーズとなります。全長が薄形に設計された省スペースシリンダです。各種冶具や装置のコンパクト化を実現しているため最小限のスペースでワーク可能です。
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
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