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ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

ご注意

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数量:

商品情報

外形図

XMH/L型バルブの寸法図

XMH/L型バルブ

XYH/ストレート型の寸法図

XYH/ストレート型

製品仕様

L型バルブ/XMHシリーズの外観

L型バルブ/XMHシリーズ

ストレート型/XYHシリーズの外観

ストレート型/XYHシリーズ

型番XMH-16XMH-25
XYH-25
XMH-40
XYH-40
XMH-50
XYH-50
フランジ(バルブ)サイズ16,CF0342540,CF07050
弁の形式手動
使用流体不活性ガス系の真空
使用温度 ℃5~150
使用圧力 Pa(abs)1×10-6~大気圧
コンダクタンス L/s注1)5144580
リーク量 Pa・m3/s内部標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く
外部標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
フランジの種類KF(NW),CFKF(NW)KF(NW),CFKF(NW)
主な材質本体:SCS13(SUS304相当),ベローズ:SUS316L,要部:SUS304,FKM(標準シール材)
操作トルク N・m0.1≦0.15≦0.35≦0.5≦
ハンドル回転数571013
質量 kg注2)XMH0.31(0.35)0.571.35(1.71)2.02
XYH-0.621.372.42

注1)コンダクタンスは同一寸法のエルボの"分子流"での値で代表しています。
注2)( )内質量はCF(コンフラット)継手の場合です。

構造

XMH/L型(左)・XYH/ストレート型(右)の構造図

XMH/L型(左)・XYH/ストレート型(右)

※保守部品につきましてはカタログをご参照ください。

規格表

単位:mm

型番ABCDFnFcGHJP.C.D.L1L2
XMH-1640100.53813034173518P.C.D276×φ4.4(直径4.4mm)
XMH-255011448140-2640.521.5--
XMH-4065162.56625570415730P.C.D58.76×φ6.6(直径6.6mm)
XMH-5070179.579275-527035--
型番ABCDEFnGHJ
XYH-25100.275.848123.5402640.521.5
XYH-40130102.56623855415730
XYH-501781197925375527035

注意・禁止事項

  • ※ ボディ材質はSCS13(SUS304相当)、ベローズはSUS316L、その他真空部の金属材質はSUS304です。真空部のシール材質は標準でFKMとなっておりますが、その他材質(型番表示方法確認ください)への変更が可能です。使用材質を確認のうえ、支障のない流体をご使用ください。
  • ※ 操作気圧配管材料および継手の耐熱は、使用温度に適したものを選定してください。
  • ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照ください。

型番リスト

表示件数

フランジ種類

フランジ呼び

音速コンダクタンス

バルブ種類

シール材質

リーク量

(Pa・m3/s)

シ−ル変更箇所

最小発注数量
KF
16
5L/S
L型
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
1個
KF
16
5L/S
L型
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
16
5L/S
L型
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
1個
KF
16
5L/S
L型
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部シール
1個
KF
16
5L/S
L型
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
16
5L/S
L型
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
1個
KF
16
5L/S
L型
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部シール
1個
KF
16
5L/S
L型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
16
5L/S
L型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
1個
KF
16
5L/S
L型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部シール
1個
KF
16
5L/S
L型
Chemraz(配合No.:SS592)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
16
5L/S
L型
Chemraz(配合No.:SS630)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
16
5L/S
L型
Chemraz(配合No.:SSE38)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
16
5L/S
L型
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
16
5L/S
L型
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
1個
KF
16
5L/S
L型
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部シール
1個
CF
16
5L/S
L型
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
1個
CF
16
5L/S
L型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
CF
16
5L/S
L型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
1個
CF
16
5L/S
L型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部シール
1個
KF
25
14L/S
L型
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
1個
KF
25
14L/S
L型
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
25
14L/S
L型
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
1個
KF
25
14L/S
L型
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
25
14L/S
L型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
25
14L/S
L型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
1個
KF
25
14L/S
L型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部シール
1個
KF
25
14L/S
L型
VMQ(配合No.:1232-70)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
25
14L/S
L型
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
25
14L/S
L型
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
1個
KF
25
14L/S
L型
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部シール
1個
KF
40
45L/S
L型
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
1個
KF
40
45L/S
L型
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
40
45L/S
L型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
40
45L/S
L型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部シール
1個
KF
40
45L/S
L型
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
CF
40
45L/S
L型
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
1個
CF
40
45L/S
L型
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
CF
40
45L/S
L型
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部シール
1個
CF
40
45L/S
L型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
50
80L/S
L型
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
1個
KF
50
80L/S
L型
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
50
80L/S
L型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
25
14L/S
ストレート型
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
1個
KF
25
14L/S
ストレート型
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
25
14L/S
ストレート型
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
25
14L/S
ストレート型
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
1個
KF
25
14L/S
ストレート型
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部シール
1個
KF
25
14L/S
ストレート型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
25
14L/S
ストレート型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
1個
KF
25
14L/S
ストレート型
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部シール
1個
KF
25
14L/S
ストレート型
Chemraz(配合No.:SS592)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
25
14L/S
ストレート型
Chemraz(配合No.:SS630)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
25
14L/S
ストレート型
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
25
14L/S
ストレート型
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
1個
KF
25
14L/S
ストレート型
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部シール
1個
KF
40
45L/S
ストレート型
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
1個
KF
40
45L/S
ストレート型
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
40
45L/S
ストレート型
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
1個
KF
40
45L/S
ストレート型
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
1個
通常単価(税別) (税込単価)
通常出荷日
54,72949,256
( 54,182 )
6日目
54,92249,429
( 54,372 )
19日目
54,83649,352
( 54,287 )
19日目
54,83649,352
( 54,287 )
19日目
73,97366,575
( 73,233 )
19日目
68,61461,752
( 67,927 )
19日目
60,08854,079
( 59,487 )
19日目
69,27362,345
( 68,580 )
19日目
63,44857,103
( 62,813 )
19日目
60,57954,521
( 59,973 )
19日目
84,38975,950
( 83,545 )
19日目
84,11575,703
( 83,273 )
19日目
87,56078,804
( 86,684 )
19日目
61,42755,284
( 60,812 )
19日目
58,09152,281
( 57,509 )
19日目
58,09152,281
( 57,509 )
19日目
61,53555,381
( 60,919 )
19日目
76,07768,469
( 75,316 )
19日目
70,23163,207
( 69,528 )
19日目
67,35860,622
( 66,684 )
19日目
61,389
( 67,528 )
在庫品1日目当日出荷可能
58,74852,873
( 58,160 )
19日目
48,76543,888
( 48,277 )
19日目
80,28672,257
( 79,483 )
19日目
81,24473,119
( 80,431 )
19日目
70,91163,819
( 70,201 )
19日目
68,89162,001
( 68,201 )
19日目
50,78845,709
( 50,280 )
19日目
65,74459,169
( 65,086 )
19日目
61,91555,723
( 61,295 )
19日目
62,38456,145
( 61,760 )
19日目
90,512
( 99,563 )
6日目
90,70581,634
( 89,797 )
19日目
117,305105,574
( 116,131 )
19日目
102,95392,657
( 101,923 )
19日目
98,36088,524
( 97,376 )
19日目
97,319
( 107,051 )
6日目
97,50987,758
( 96,534 )
19日目
97,40387,662
( 96,428 )
19日目
124,107111,696
( 122,866 )
19日目
110,60699,545
( 109,500 )
19日目
110,79799,717
( 109,689 )
19日目
153,279137,951
( 151,746 )
19日目
69,654
( 76,619 )
6日目
69,84762,862
( 69,148 )
19日目
91,38682,247
( 90,472 )
19日目
84,20075,780
( 83,358 )
19日目
76,84469,159
( 76,075 )
19日目
92,34483,109
( 91,420 )
19日目
82,01173,809
( 81,190 )
19日目
79,98971,990
( 79,189 )
19日目
109,56598,608
( 108,469 )
19日目
108,22597,402
( 107,142 )
19日目
76,84469,159
( 76,075 )
19日目
73,01565,713
( 72,284 )
19日目
73,48266,133
( 72,746 )
19日目
101,61191,449
( 100,594 )
6日目
101,80191,620
( 100,782 )
19日目
131,847118,662
( 130,528 )
19日目
122,085109,876
( 120,864 )
19日目

詳細情報

基本情報

圧力バランス構造で、排気方向が自由な真空バルブ。
【特長】
・ベローズ式でダストフリー、クリーン化
・低い操作トルク(0.5N・m以下)
・スプリングによる一定のシール荷重
・バルブ開閉時のハンドル高さが一定
・開閉確認用インジケータを標準で装備
・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)
・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)
・軽量・コンパクト

ご注意

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アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ
メーカーSMCSMCSMCSMCSMCSMC
通常価格48,765-45,901 -49,207 -39,429 -74,665 -35,852 -
通常出荷日在庫品1日目〜在庫品1日目〜3日目〜在庫品1日目〜6日目〜在庫品1日目〜
種類手動真空弁空操真空弁パイロット真空弁手動真空弁パイロット真空弁空操真空弁
用途単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用
設置方法ダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト
ポート数2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁3ポート弁
切換の種類2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ
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