メカニカル部品技術窓口
絞り込み条件
フランジ呼び
~mm- 25
- 40
- 50
- 63
- 80
スイッチリード線長さ(m)
~mm- 0.5
- 1
- 3
- 5
CAD
- 2D
- 3D
出荷日
- すべて
- 6日以内
- 9日以内
- 19日以内
ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD
- 単価(税別)
- -円
- 合計(税別)
- -円(税込価格：-円)
- 出荷日
- -(参考出荷日：-円)
商品情報
外形図
XMD／L型
XYD／ストレート型
製品仕様
L型バルブ／XMDシリーズの外観
L型バルブ／XMDシリーズの操作ポート方向
ストレート型／XYDシリーズの外観
ストレート型／XYDシリーズの操作ポート方向
| 型番 | XMD-25 XYD-25 | XMD-40 XYD-40 | XMD-50 XYD-50 | XMD-63 XYD-63 | XMD-80 XYD-80 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| フランジ（バルブ）サイズ | 25 | 40,CF070 | 50 | 63,CF114 | 80 | |
| 弁の形式 | 常時閉（加圧開・スプリングシール）［主排気・初期排気弁共］ | |||||
| 使用流体 | 不活性ガス系の真空 | |||||
| 使用温度 ℃ | 5～60（高温タイプの場合5～150） | |||||
| 使用圧力 Pa（abs） | 1×10-6～大気圧 | |||||
| コンダクタンス L/s注1 | 主排気弁 | 14 | 45 | 80 | 160 | 200 |
| 初期排気弁 | 0.5～3 | 2～8 | 2.5～11 | 4～18 | 4～18 | |
| リーク量 Pa・m3/s | 内部 | 標準材質（FKMの場合 1.3×10-10常温時・ガス透過を除く | ||||
| 外部 | 標準材質（FKMの場合 1.3×10-11常温時・ガス透過を除く | |||||
| 作動時間 s | 主排気弁 | 0.10 | 0.21 | 0.24 | 0.26 | 0.28 |
| 初期排気弁 | 0.70 | 0.08 | 0.09 | 0.23 | 0.27 | |
| フランジの種類 | KF（NW） | KF（NW）,CF | KF（NW） | KF（NW）,K（DN）,CF | KF（NW）,K（DN） | |
| 主な材質注3 | 本体：SCS13（SUS304相当）,ベローズ：SUS316L,要部：SUS304,FKM（標準シール材） | |||||
| パイロット圧力 MPa（G） | 0.4～0.7〔主排気・初期排気弁共〕 | |||||
| パイロットポート接続口径 | M5 | Rc1/8 | - | |||
| 質量 kg注2 | XMD | 0.65 | 1.50（1.86） | 2.20 | 4.10（5.46） | 6.80 |
| XYD | 0.71 | 1.52 | 2.60 | 4.80 | 8.30 | |
注1）主排気弁のコンダクタンスは同一寸法のエルボの"分子流"での値で代表しています。初期排気弁のコンダクタンスは"粘性流"での値です。
注2）（ ）内質量はCF（コンフラット）継手の場合です。
注3）真空部のシール材摺動部（初期排気弁摺動部）には真空グリース［Y-VAC2］を塗布しております。
構造
XMD／L型
XYD／ストレート型
※保守部品につきましてはカタログP.497をご参照ください。
作動説明
- 1.初期排気用バルブ開度調整
使用前に（パイロットポートSにパイロット圧力を加えない状態）初期排気量を調整する。アジャストナットを時計回転で回し続け、軽く回転が停止すると、初期排気量はゼロになる。（工具は使用しないこと）反時計回転で初期排気量を設定する。アジャストナット回転数（ピ ッチ1mm）と初期排気弁コンダクタンスの関係は右図参照。 - 2.初期排気用バルブ（Sバルブ）開
パイロットポートSにパイロット圧力を加えると、SバルブはSバルブシールAss'yから離脱し、調整した開度まで開く。 - 3.主排気用バルブ（Mバルブ）開
パイロットポートMにパイロット圧力を加えると、Mバルブはボディシート部から離脱し、全開する。 - 4.初期排気用バルブ／主排気用バルブ 閉
パイロットポートSおよびパイロットポートMのパイロット圧力を抜くことにより、SバルブおよびMバルブは復帰し、シールする。
アジャストナット回転数（ピ ッチ1mm）と初期排気弁コンダクタンスのグラフ
規格表
単位：mm
| 型番 | A | B | C | D | Fn | Fd | Fc | G | H | J | K | P.C.D.L1 | L2 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| XMD-25 | 50 | 123 | 48 | 1 | 40 | - | - | 26 | 41 | 16 | 7.5 | - | - |
| XMD-40 | 65 | 170 | 66 | 2 | 55 | - | 70 | 41 | 63 | 20 | 15 | P.C.D58.7 | 6×φ6.6（直径6.6mm） |
| XMD-50 | 70 | 183 | 79 | 2 | 75 | - | - | 52 | 68 | 20 | 17.5 | - | - |
| XMD-63 | 88 | 217 | 100 | 3 | 87 | 95 | 114 | 70 | 72 | 20 | 19.5 | P.C.D92.1 | 8×φ8.4（直径8.4mm） |
| XMD-80 | 90 | 256 | 117 | 3 | 114 | 110 | - | 83 | 98 | 20 | 26.5 | - | - |
| 型番 | A | B | C | D | E | Fn | Fd | G | H | J | K |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| XYD-25 | 100.2 | 86.7 | 48 | 1 | 23.5 | 40 | - | 26 | 66 | 16 | 7.5 |
| XYD-40 | 130 | 114 | 66 | 2 | 38 | 55 | - | 41 | 84 | 20 | 15 |
| XYD-50 | 178 | 128 | 79 | 2 | 53 | 75 | - | 52 | 95 | 20 | 17.5 |
| XYD-63 | 209 | 163 | 100 | 3 | 61 | 87 | 95 | 70 | 121 | 20 | 19.5 |
| XYD-80 | 268 | 193 | 117 | 3 | 80 | 114 | 110 | 83 | 144 | 20 | 26.5 |
注意・禁止事項
- ※ ボディ材質はSCS13（SUS304相当）、ベローズはSUS316L、その他真空部の金属材質はSUS304です。真空部のシール材質は標準でFKMとなっておりますが、その他材質（型番表示方法確認下さい）への変更が可能です。使用材質を確認のうえ、支障のない流体をご使用ください。
- ※ 操作気圧配管材料および継手の耐熱は、使用温度に適したものを選定してください。
- ※ スイッチ部の温度は60℃以下にしてください。
- ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照下さい。
型番リスト
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
89,000円 ( 97,900円 ) | 19日目 |
91,214円 ( 100,335円 ) | 19日目 |
91,953円 ( 101,148円 ) | 19日目 |
99,623円 ( 109,585円 ) | 19日目 |
92,691円 ( 101,960円 ) | 19日目 |
91,214円 ( 100,335円 ) | 19日目 |
89,367円 ( 98,304円 ) | 19日目 |
95,094円 ( 104,603円 ) | 19日目 |
92,055円 ( 101,261円 ) | 19日目 |
95,832円 ( 105,415円 ) | 19日目 |
118,273円 ( 130,100円 ) | 19日目 |
95,276円 ( 104,804円 ) | 19日目 |
92,139円 ( 101,353円 ) | 19日目 |
92,139円 ( 101,353円 ) | 19日目 |
96,016円 ( 105,618円 ) | 19日目 |
97,493円 ( 107,242円 ) | 19日目 |
96,016円 ( 105,618円 ) | 19日目 |
90,476円 ( 99,524円 ) | 19日目 |
114,027円 ( 125,430円 ) | 19日目 |
133,784円 ( 147,162円 ) | 19日目 |
74,665円 ( 82,132円 ) | 19日目 |
90,392円 ( 99,431円 ) | 19日目 |
91,869円 ( 101,056円 ) | 19日目 |
89,000円 ( 97,900円 ) | 19日目 |
89,000円 ( 97,900円 ) | 19日目 |
89,367円 ( 98,304円 ) | 19日目 |
95,094円 ( 104,603円 ) | 19日目 |
95,832円 ( 105,415円 ) | 19日目 |
96,016円 ( 105,618円 ) | 19日目 |
90,392円 ( 99,431円 ) | 19日目 |
90,392円 ( 99,431円 ) | 19日目 |
112,818円 ( 124,100円 ) | 19日目 |
105,901円 ( 116,491円 ) | 19日目 |
97,309円 ( 107,040円 ) | 19日目 |
122,972円 ( 135,269円 ) | 19日目 |
125,928円 ( 138,521円 ) | 19日目 |
135,715円 ( 149,287円 ) | 19日目 |
126,665円 ( 139,332円 ) | 19日目 |
127,405円 ( 140,146円 ) | 19日目 |
125,189円 ( 137,708円 ) | 19日目 |
123,444円 ( 135,788円 ) | 19日目 |
129,066円 ( 141,973円 ) | 19日目 |
126,028円 ( 138,631円 ) | 19日目 |
129,807円 ( 142,788円 ) | 19日目 |
106,265円 ( 116,892円 ) | 19日目 |
129,249円 ( 142,174円 ) | 19日目 |
115,816円 ( 127,398円 ) | 19日目 |
126,113円 ( 138,724円 ) | 19日目 |
129,989円 ( 142,988円 ) | 19日目 |
134,707円 ( 148,178円 ) | 19日目 |
105,120円 ( 115,632円 ) | 19日目 |
112,376円 ( 123,614円 ) | 19日目 |
127,688円 ( 140,457円 ) | 6日目 |
195,455円 ( 215,001円 ) | 19日目 |
129,536円 ( 142,490円 ) | 19日目 |
132,491円 ( 145,740円 ) | 19日目 |
133,967円 ( 147,364円 ) | 19日目 |
135,629円 ( 149,192円 ) | 19日目 |
132,574円 ( 145,831円 ) | 19日目 |
135,814円 ( 149,395円 ) | 19日目 |
詳細情報
基本情報
ポンプの過負荷運転を防止する真空バルブ。
【特長】
・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）
・システムのコンパクト化および省配管化を実現
・排気時にチェンバ内のダスト巻上げを防止
・初期排気弁の流量調整可能
・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）
・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取り付け（XMシリーズ）
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