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未確定：候補が311型番あります。

フランジ種類
~mm
- KF
- K
- CF
フランジ呼び
~mm
- 16
- 25
- 40
- 50
- 63
- 80
バルブ種類
~mm
- L型
- ストレート型
操作ポート方向
~mm
温度範囲(℃)
~mm
- 5～60
- 5～150
スイッチ型式
~mm
スイッチ数
~mm
シール材質
~mm
リーク量(Pa・m³/s)
~mm
シ−ル変更箇所
~mm
スイッチリード線長さ(m)
~mm
- 0.5
- 1
- 3
- 5
タイプ
~mm
- XMC
- XYC
CAD
- 2D
- 3D
出荷日
- すべて
- 3日以内
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- 19日以内

SMC

ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

カタログ |

通常単価(税別): 49,207円～325,501円

税込単価: 54,128円～358,051円

通常出荷日：3日目～19日目

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・圧力バラ...

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スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
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商品情報

外形図

XMC-16～40／L型

XMC-50～80／L型

XYC-25、XYC-40／ストレート型

XYC-50～80／ストレート型

製品仕様

L型バルブ／XMCシリーズ

L型バルブ／XMCシリーズの操作ポート方向

ストレート型／XYCシリーズ

ストレート型／XYCシリーズの操作ポート方向

型番		XMC-16	XMC-25 XYC-25	XMC-40 XYC-40	XMC-50 XYC-50	XMC-63 XYC-63	XMC-80 XYC-80
フランジ（バルブ）サイズ		16, CF034	25	40, CF070	50	63, CF114	80
弁の形式		複動（両作動）・加圧開閉
使用流体		不活性ガス系の真空
使用温度 ℃		5～60（高温タイプの場合 5～150）
使用圧力 Pa（abs）		1×10^-6～大気圧
コンダクタンス L/s^注1）		5	14	45	80	160	200
リーク量 Pa・m³/s	内部	標準材質（FKM）の場合 1.3×10^-10 常温時・ガス透過を除く
リーク量 Pa・m³/s	外部	標準材質（FKM）の場合 1.3×10^-11 常温時・ガス透過を除く
作動時間 s		0.08	0.15	0.35	0.4	0.54	0.7
フランジの種類		KF（NW）, CF	KF（NW）	KF（NW）, CF	KF（NW）	KF（NW）, K（DN）, CF	KF（NW）, K（DN）
主な材質		本体：SCS13（SUS304相当）, ベローズ：SUS316L, 要部：SUS304, FKM（標準シール材）
パイロット圧力 MPa（G）		0.3～0.6			0.4～0.6
パイロットポート接続口径		M5		Rc 1/8
質量 kg^注2）	XMC	0.36（0.40）	0.62	1.40（1.76）	2.10	3.80（5.16）	6.30
質量 kg^注2）	XYC	-	0.67	1.42	2.50	4.50	7.80

注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの"分子流"での値で代表しています。
注2）（）内質量はCF（コンフラット）継手の場合です。

構造

XMC／L型（左）・XYC／ストレート型（右）

※保守部品につきましてはカタログP.497をご参照ください。

規格表

単位：mm

XMC-16～40／L型

型番	A	B	C	D	Fn	Fc	G	H	J	P.C.D L1	L2
XMC-16	40	110	38	1	30	34	17	40	26	P.C.D 27	6×φ4.4（直径4.4mm）
XMC-25	50	120	48	1	40	-	26	39	28	-	-
XMC-40	65	171	66	2	55	70	41	63	36	P.C.D 58.7	6×φ6.6（直径6.6mm）

XMC-50～80／L型

型番	A	B	C	D	Fn	Fd	Fc	G	H	J	P.C.D L1	L2	K
XMC-50	70	183	80	31	75	-	-	52	77	29	-	-	10.5
XMC-63	88	209	100	39	87	95	114	70	76.5	36	P.C.D 92.1	8×φ8.4（直径8.4mm）	9
XMC-80	90	250	117	45.5	114	110	-	83	105	44	-	-	9

XYC-25、XYC-40／ストレート型

型番	A	B	C	D	E	Fn	G	H	J
XYC-25	100.2	85	48	1	23.5	40	26	64	28
XYC-40	130	115	66	2	38	55	41	84	36

XYC-50～80／ストレート型

型番	A	B	C	D	E	Fn	Fd	G	H	J	K	M
XYC-50	178	121	80	31	53	75	-	52	104	29	10.5	78
XYC-63	209	148	100	39	61	87	95	70	126	36	9	99
XYC-80	268	177	117	45.5	80	114	110	83	150	44	9	116

注意・禁止事項

※ ボディ材質はSCS13（SUS304相当）、ベローズはSUS316L、その他真空部の金属材質はSUS304です。真空部のシール材質は標準でFKMとなっておりますが、その他材質（型番表示方法確認下さい）への変更が可能です。使用材質を確認のうえ、支障のない流体をご使用ください。
※ 操作気圧配管材料および継手の耐熱は、使用温度に適したものを選定してください。
※ スイッチ部の温度は60℃以下にしてください。
※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照下さい。

型番リスト

表示件数

...

型番

フランジ種類

フランジ呼び

バルブ種類

操作ポート方向

温度範囲

(℃)

スイッチ型式

スイッチ数

シール材質

リーク量

(Pa・m³/s)

シ−ル変更箇所

スイッチリード線長さ

(m)

最小発注数量

KF	16	L型	フランジ側	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
KF	16	L型	フランジ側	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石付）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
KF	16	L型	フランジ側	5～60	M9B	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	0.5	1個
KF	16	L型	フランジ側	5～60	M9B	2ケ付（検出位置：弁開閉）	Kalrez（配合No.：4079）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗	バルブシール/外部シール	0.5	1個
KF	16	L型	フランジ側	5～60	M9B	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	3	1個
KF	16	L型	フランジ側	5～60	M9B	2ケ付（検出位置：弁開閉）	Kalrez（配合No.：4079）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗	バルブシール/外部シール	3	1個
KF	16	L型	フランジ側	5～60	M9N	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	0.5	1個
KF	16	L型	フランジ側	5～60	M9N	2ケ付（検出位置：弁開閉）	EPDM（配合No.：2101-80）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗	バルブシール/外部シール	0.5	1個
KF	16	L型	フランジ側	5～60	M9P	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	3	1個
KF	16	L型	フランジ側	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	Kalrez（配合No.：4079）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗	バルブシール/外部シール	-	1個
CF	16	L型	フランジ側	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
CF	16	L型	フランジ側	5～60	M9B	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	0.5	1個
CF	16	L型	フランジ側	5～150	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
CF	16	L型	フランジ面裏	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
CF	16	L型	フランジ面裏	5～60	M9N	2ケ付（検出位置：弁開閉）	EPDM（配合No.：2101-80）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗	バルブシール/外部シール	0.5	1個
CF	16	L型	フランジ面裏	5～150	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
KF	16	L型	フランジ側	5～150	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
KF	16	L型	フランジ面左	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
KF	16	L型	フランジ面裏	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
KF	16	L型	フランジ面裏	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石付）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
KF	16	L型	フランジ面裏	5～60	M9B	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	0.5	1個
KF	16	L型	フランジ面裏	5～60	M9B	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	3	1個
KF	16	L型	フランジ面裏	5～60	M9B	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	5	1個
KF	16	L型	フランジ面裏	5～60	M9N	2ケ付（検出位置：弁開閉）	EPDM（配合No.：2101-80）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗	バルブシール/外部シール	0.5	1個
KF	16	L型	フランジ面裏	5～150	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	A90	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	0.5	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	A93	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	0.5	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	A93	2ケ付（検出位置：弁開閉）	EPDM（配合No.：2101-80）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗	バルブシール/外部シール	0.5	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	A93	1ケ付（検出位置：弁閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	0.5	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	A93	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	3	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	A93	2ケ付（検出位置：弁開閉）	EPDM（配合No.：2101-80）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗	バルブシール/外部シール	3	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	A93	1ケ付（検出位置：弁開）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	3	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石付）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石付）	オートスイッチなし	VMQ（配合No.：1232-70）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-11乗	バルブシール	-	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	M9B	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	0.5	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	M9B	2ケ付（検出位置：弁開閉）	VMQ（配合No.：1232-70）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-11乗	バルブシール	0.5	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	M9B	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	3	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	M9B	2ケ付（検出位置：弁開閉）	VMQ（配合No.：1232-70）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-11乗	バルブシール	5	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	M9N	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	0.5	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	M9N	2ケ付（検出位置：弁開閉）	EPDM（配合No.：2101-80）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗	バルブシール/外部シール	0.5	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	M9N	1ケ付（検出位置：弁開）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	0.5	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	M9N	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	3	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	M9N	1ケ付（検出位置：弁閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	3	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	M9P	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	3	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	Kalrez（配合No.：4079）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗	バルブシール/外部シール	-	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	Kalrez（配合No.：4079）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-11乗	バルブシール	-	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	Kalrez（配合No.：4079）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-9乗	外部シール	-	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	VMQ（配合No.：1232-70）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-11乗	バルブシール	-	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～150	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
KF	25	L型	フランジ側	5～150	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	EPDM（配合No.：2101-80）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗	バルブシール/外部シール	-	1個
KF	25	L型	フランジ面左	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
KF	25	L型	フランジ面左	5～60	M9B	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	3	1個
KF	25	L型	フランジ面左	5～60	M9N	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	0.5	1個
KF	25	L型	フランジ面左	5～60	M9N	2ケ付（検出位置：弁開閉）	EPDM（配合No.：2101-80）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗	バルブシール/外部シール	0.5	1個
KF	25	L型	フランジ面左	5～150	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
KF	25	L型	フランジ面左	5～150	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	EPDM（配合No.：2101-80）	内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗	バルブシール/外部シール	-	1個
KF	25	L型	フランジ面裏	5～60	オートスイッチなし（内蔵磁石なし）	オートスイッチなし	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	-	1個
KF	25	L型	フランジ面裏	5～60	A90	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	0.5	1個
KF	25	L型	フランジ面裏	5～60	A90	2ケ付（検出位置：弁開閉）	FKM（配合No.：1349-80）	内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗	なし	3	1個

通常単価(税別) (税込単価)	通常出荷日

57,516円 ( 63,268円 )	19日目
57,790円 ( 63,569円 )	19日目
63,829円 ( 70,212円 )	19日目
78,374円 ( 86,211円 )	19日目
64,596円 ( 71,056円 )	19日目
79,138円 ( 87,052円 )	19日目
64,021円 ( 70,423円 )	19日目
64,213円 ( 70,634円 )	19日目
64,787円 ( 71,266円 )	19日目
72,059円 ( 79,265円 )	19日目
64,297円 ( 70,727円 )	19日目
70,612円 ( 77,673円 )	19日目
65,638円 ( 72,202円 )	19日目
64,297円 ( 70,727円 )	19日目
70,995円 ( 78,095円 )	19日目
65,638円 ( 72,202円 )	19日目
58,854円 ( 64,739円 )	19日目
57,516円 ( 63,268円 )	19日目
57,516円 ( 63,268円 )	19日目
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63,829円 ( 70,212円 )	19日目
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63,829円 ( 70,212円 )	19日目
65,361円 ( 71,897円 )	19日目
65,551円 ( 72,106円 )	19日目
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63,829円 ( 70,212円 )	19日目
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69,464円 ( 76,410円 )	19日目
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68,807円 ( 75,688円 )	19日目
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61,535円 ( 67,689円 )	19日目
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64,596円 ( 71,056円 )	19日目

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基本情報

基本情報

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造の真空バルブ。
【特長】
・ベローズ式でダストフリー、クリーン化
・圧力バランス構造
・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）
・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）
・軽量・コンパクト

ご注意

■SMC エアシリンダ製品の選定・技術情報
特集ページはこちらから、ご確認下さい。

■SMC製品取扱いについて
Webページが無い製品については順次公開を予定しています。
型番が決まっている方はこちらから、お見積/ご注文下さい。
2025年3月1日工場出荷分よりスイッチの色味が変更となりました。スイッチの色味は選定・交換不可となります。旧品ご購入希望の方はスイッチ単品で注文をお願いいたします。（在庫限り）
スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。
CADデータは、一部の型番には対応しておりません。

カタログ

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一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細はメーカーカタログをご覧ください。

ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズのレビュー

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メーカー	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC
通常価格	49,207円-	39,244円 -	48,765円 -	45,901円 -	38,370円 -	74,665円 -
通常出荷日	3日目〜	在庫品1日目〜	在庫品1日目〜	在庫品1日目〜	6日目〜	6日目〜
種類	パイロット真空弁	パイロット真空弁	手動真空弁	空操真空弁	パイロット真空弁	パイロット真空弁
用途	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用
設置方法	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト
ポート数	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁
切換の種類	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ