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アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ
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- 37,505円～51,273円特別価格
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駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属...
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商品情報
外形図
単位：mm
制御電源なし
グロメット（G）
コンジット（C）
ターミナル（T）
DIN形タ ーミナル（D）
制御電源付き
グロメット（G）
製品仕様
XLSシリーズ（制御電源なし）
XLSシリーズ（制御電源付き）
| 型番 | XLS-16 | XLS-25 | XLS-16-P□G | XLS-25-P□G | |
|---|---|---|---|---|---|
| 弁の形式 | 常時閉（N.C.） | ||||
| 使用流体 | 不活性ガス系の真空 | ||||
| 使用温度 ℃ | 5～40 | ||||
| 使用圧力 Pa（abs） | 0.1MPa（G）～1×10-6（abs） | ||||
| コンダクタンス L/s注1） | 5 | 8 | 5 | 8 | |
| リーク量 Pa・m3/s | 内部 | 1.3×10-8常温時・ガス透過を除く | |||
| 外部 | 1.3×10-11常温時・ガス透過を除く | ||||
| フランジの種類・サイズ | KF16 | KF25 | KF16 | KF25 | |
| 主な材質 注2） | 本体：アルミ合金 要部：ステンレス、PFA、FKM（標準シール材） | ||||
| 表面処理 | 外部：硬質アルマイト 内部：素地 | ||||
| 制御電源の有無 | なし | あり | |||
| 使用電源電圧 | DC24/6・48/12・100/24V | DC24V AC100・200V | |||
| 許容電圧変動 % | ±10 | ||||
| リード線取出し | G, C, D, T タイプ | Gタイプのみ | |||
| リード線 | AWG20, 外径2.63mm | VCTF2×0.75, 外径2.3mm, シース外径6.6mm | |||
| コイル絶縁の種類 | B種 | ||||
| 最高作動頻度 Hz | 0.17 | ||||
| 質量 kg | 0.4 | 0.7 | 0.7 | 1.0 | |
注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの値で代表しています。
注2）真空部のバルブシート部には真空グリース［Y-VAC3］を塗布しております。
電力／電圧（定格電圧印加時）
| 型番 | 起動 | 保持 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 電力（W） | 電流（A） | 電力（W） | 電流（A） | |||
| XLS-16- | □G／C／D／T, P5G | 36 | 1.5 | 4.8 | 0.38 | |
| P1G | 50Hz | 30.5 | 0.47 | 14.8 | 0.35 | |
| 60Hz | 10 | 0.27 | ||||
| P2G | 50Hz | 30 | 0.24 | 4.9 | 0.11 | |
| 60Hz | 2.3 | 0.10 | ||||
| XLS-25- | □G／C／D／T, P5G | 47 | 2.0 | 5.3 | 0.5 | |
| P1G | 50Hz | 42 | 0.62 | 20 | 0.46 | |
| 60Hz | 13.5 | 0.36 | ||||
| P2G | 50Hz | 45 | 0.35 | 6.7 | 0.15 | |
| 60Hz | 3.0 | 0.12 | ||||
構造･作動
※保守部品につきましてはカタログP.465を参照してください。
- XLS-□-□□（制御電源無し）
コイルAss'yに起動電圧を約0.15～0.2s通電することで、バルブ（9）が開く。その後起動電圧の25%で保持する。コイル焼損原因となるので、起動電圧は0.3s以上加えないこと。コイルAss'yへの通電が解除されるとバルブ（9）は閉じる。 - XLS-□-P□G（制御電源つき）
コイルAss'yに定格電圧を印加すると、バルブ（9）が開く。コイルAss'yへの通電が解除されると、バルブ（9）は閉じる。
※圧力バランス構造のため、排気方向は自由です。
規格表
| 型番 | A | B | C | D | E | F | G | J | K | L | M |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| XLS-16-□G | 40 | 104 | 113 | 38 | 30 | 35 | 17 | 23 | - | - | 25.5 |
| XLS-16-□C | 96 | 41 | - | - | |||||||
| XLS-16-□D | 60 | 48 | - | ||||||||
| XLS-16-□T | 129 | 95 | 62 | - | |||||||
| XLS-25-□G | 50 | 128.5 | 138.5 | 48 | 40 | 40 | 26 | 25.5 | - | - | 28 |
| XLS-25-□C | 121.5 | 43 | - | - | |||||||
| XLS-25-□D | 120.5 | 63 | 51 | - | |||||||
| XLS-25-□T | 121.5 | 154.5 | 97 | 66 | - | ||||||
| XLS-16-P□G | 40 | 96 | 113 | 38 | 30 | 35 | 17 | 23 | 87 | 66.5 | - |
| XLS-25-P□G | 50 | 121.5 | 138.5 | 48 | 40 | 40 | 26 | 25.5 | 89.5 | 69 | - |
注意・禁止事項
- ※ ボディ材質はA6063、ベローズはSUS316L、その他真空部金属材質は13Crステンレス、SUS304、A2017、シール材はFKMです。また真空部のアーマチャAss'yにはふっ素系樹脂（PFA）を使用しております。真空部のバルブにはふっ素系グリースを塗布しております。使用材質を確認のうえ、支障のない流体をご使用ください。
- ※ 操作電源なしの場合は、起動電圧は0.15～0.2sのみ印加し、その後は必ず保持電圧（起動電圧の25%）を印加してください。怠りますとコイル焼損、火災などの原因になります。
- ※ 電源供給回路には必ずヒューズまたは漏電ブレーカーを設置してください。
- ※ 使用圧力範囲内でご使用ください。
- ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照ください。
型番リスト
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
47,564円42,807円 ( 47,088円 ) | 19日目 |
48,220円43,398円 ( 47,738円 ) | 19日目 |
37,936円 ( 41,730円 ) | 6日目 |
47,075円42,367円 ( 46,604円 ) | 6日目 |
37,505円 ( 41,256円 ) | 19日目 |
48,415円43,573円 ( 47,930円 ) | 19日目 |
42,186円37,967円 ( 41,764円 ) | 19日目 |
51,045円 ( 56,150円 ) | 在庫品1日目当日出荷可能 |
45,486円 ( 50,035円 ) | 19日目 |
45,485円 ( 50,034円 ) | 在庫品1日目当日出荷可能 |
49,669円44,702円 ( 49,172円 ) | 19日目 |
50,053円45,047円 ( 49,552円 ) | 19日目 |
50,330円45,297円 ( 49,827円 ) | 19日目 |
39,582円 ( 43,540円 ) | 6日目 |
49,178円44,260円 ( 48,686円 ) | 6日目 |
38,645円 ( 42,510円 ) | 19日目 |
50,520円45,468円 ( 50,015円 ) | 19日目 |
50,901円45,810円 ( 50,391円 ) | 19日目 |
51,273円 ( 56,400円 ) | 在庫品1日目当日出荷可能 |
51,273円 ( 56,400円 ) | 在庫品1日目当日出荷可能 |
51,273円 ( 56,400円 ) | 在庫品1日目当日出荷可能 |
詳細情報
基本情報
駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。
【特長】
・金属摺動部がないためダスト減少
・圧力バランス構造で、排気方向自由
・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化
・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます
・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます
・フッ素に強い
・軽量・コンパクト
・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します
ご注意
- 掲載商品の内、一部商品はセール価格で販売しています。対象商品は型番リストよりご確認ください。
- 材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。
- スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
CADデータは、一部の型番には対応しておりません。 - 商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。
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よくあるご質問（FAQ）
その後に低電圧で保持をする事でコイルの温度上昇を抑える方法です。
「制御電源なし」の場合は、お客様にて電源の制御が必要となります。
最初に起動電圧を0.15～0.2s通電した後に、起動電圧の25％の保持電圧に切り替える制御が必要になります。
起動電圧は0.3ｓ以上加えないでください。コイル焼損の原因となります。
「制御電源付き」の場合は、この制御電源回路が付いていますので、バルブ開の間は使用電源電圧を通電して頂ければ、
保持電圧に落とさなくても大丈夫です。
正圧は大気圧までとなります。大気圧を超えた圧縮流体を使用することはできません。
注）XLGシリーズの特注品で対応可の製品があります。詳細は最寄りのSMC営業にお問合せください。
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