メカニカル部品技術窓口
ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気...
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ボックス形/Bタイプ

ZH□□Bのエジェクタ表示記号
| 型番 | ノズル径 mm | ボディ形式 | ※最高真空圧力 kPa | 最大吸込流量 L/min(ANR) | 空気消費量 L/min(ANR) | 接続 (ワンタッチ/ねじ込み) | 質量 (g) | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Sタイプ | Lタイプ | Sタイプ | Lタイプ | Sタイプ・Lタイプ | SUP | VAC | EXH | ||||
| ZH05B□ | 0.5 | ボックス形 (サイレンサ内蔵) | -88 | -48 | 5 | 8 | 13 | φ6(直径6mm),Rc 1/8 G 1/8 | φ6(直径6mm),Rc 1/8 G 1/8 | - | 28 |
| ZH07B□ | 0.7 | 12 | 20 | 23 | 28 | ||||||
| ZH10B□ | 1.0 | 24 | 34 | 46 | 33 | ||||||
| ZH13B□ | 1.3 | 40 | 70 | 78 | φ8(直径8mm),Rc 1/8 G 1/8 | φ10(直径10mm),Rc 1/8 G 1/8 | 66 | ||||
※供給圧力:0.45MPaの時。
使用流体:空気、使用温度範囲:5~50℃、最高使用圧力:0.6MPa、標準供給圧力:0.45MPa


ZH05□S

ZH05□L

ZH07□S

ZH07□L
※流量特性は供給圧力が0.45MPaの時のものです。

例
流量特性は、エジェクタの真空圧力と吸込流量の関係を表わし、吸込流量が変化すると真空圧力も変化することを示している。一般には、エジェクタの標準使用圧力での関係を示している。
図で、Pmaxは最高真空圧力、Qmaxは最大吸込流量を示している。カタログ等で仕様として掲載されている値はこの値となる。
真空圧力の変化の仕方について、順を追って下記にて説明する。
| 型番 | A | φB | C | D | E | F | G | H |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZH05BS-06-06 | 60 | 6 | 22 | 16 | 16.8 | 28 | 5 | 47 |
| ZH05BL-06-06 | ||||||||
| ZH07BS-06-06 | ||||||||
| ZH07BL-06-06 | ||||||||
| ZH10BS-06-06 | 63 | 6 | 23 | 18 | 16.8 | 29 | 5 | 50 |
| ZH10BS-06-06 | ||||||||
| ZH13BS-08-10 | 78 | 8 | 27.5 | 23 | 18.7 | 35 | 7 | 61 |
| ZH13BS-08-10 |
| 型番 | I | J | φK | L | φM | φN | O | P |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZH05BS-06-06 | 57 | 16.8 | 3.2 | 24 | 6 | 5.8 | 2 | 31 |
| ZH05BL-06-06 | ||||||||
| ZH07BS-06-06 | ||||||||
| ZH07BL-06-06 | ||||||||
| ZH10BS-06-06 | 60 | 16.8 | 3.2 | 26 | 6 | 5.8 | 2 | 32 |
| ZH10BL-06-06 | ||||||||
| ZH13BS-08-10 | 75 | 21 | 4.2 | 28 | 10 | 7.5 | 3 | 38.5 |
| ZH13BL-08-10 |
| 型番 | A | φB | C | D | E | F | G | H |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZH05BS-06-01 | 60 | 6 | 29.5 | 16 | 16.8 | 28 | 5 | 47 |
| ZH05BL-06-01 | ||||||||
| ZH07BS-06-01 | ||||||||
| ZH07BL-06-01 | ||||||||
| ZH10BS-06-01 | 63 | 6 | 30.5 | 18 | 16.8 | 29 | 5 | 50 |
| ZH10BL-06-01 | ||||||||
| ZH13BS-08-02 | 78 | 8 | 38.5 | 23 | 18.7 | 35 | 7 | 61 |
| ZH13BL-08-02 | ||||||||
| ZH05BS-06-F01 | 60 | 6 | 29.5 | 16 | 16.8 | 28 | 5 | 47 |
| ZH05BL-06-F01 | ||||||||
| ZH07BS-06-F01 | ||||||||
| ZH07BL-06-F01 | ||||||||
| ZH10BS-06-F01 | 63 | 6 | 30.5 | 18 | 16.8 | 29 | 5 | 50 |
| ZH10BL-06-F01 | ||||||||
| ZH13BS-08-F02 | 78 | 8 | 39 | 23 | 18.7 | 35 | 7 | 61 |
| ZH13BL-08-F02 |
| 型番 | I | J | φK | L | M | φN | O | P |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZH05BS-06-01 | 57 | 12 | 3.2 | 24 | Rc 1/8 | 5.8 | 2 | 38.5 |
| ZH05BL-06-01 | ||||||||
| ZH07BS-06-01 | ||||||||
| ZH07BL-06-01 | ||||||||
| ZH10BS-06-01 | 60 | 12 | 3.2 | 26 | Rc 1/8 | 5.8 | 2 | 39.5 |
| ZH10BL-06-01 | ||||||||
| ZH13BS-08-02 | 75 | 17 | 4.2 | 28 | Rc 1/4 | 7.5 | 3 | 49.5 |
| ZH13BL-08-02 | ||||||||
| ZH05BS-06-F01 | 57 | 12 | 3.2 | 24 | G 1/8 | 5.8 | 2 | 38.5 |
| ZH05BL-06-F01 | ||||||||
| ZH07BS-06-F01 | ||||||||
| ZH07BL-06-F01 | ||||||||
| ZH10BS-06-F01 | 60 | 12 | 3.2 | 26 | G 1/8 | 5.8 | 2 | 39.5 |
| ZH10BL-06-F01 | ||||||||
| ZH13BS-08-F02 | 75 | 17 | 4.2 | 28 | G 1/4 | 7.5 | 3 | 50 |
| ZH13BL-08-F02 |
※上記型番以外の組合せにつきましては、別途メーカーサポートセンターへお問い合わせください。
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
91,853円 ( 101,038円 ) | 6日目 |
77,925円70,132円 ( 77,145円 ) | 19日目 |
95,679円86,111円 ( 94,722円 ) | 19日目 |
93,766円84,389円 ( 92,828円 ) | 19日目 |
96,445円86,800円 ( 95,480円 ) | 19日目 |
94,146円84,731円 ( 93,204円 ) | 19日目 |
92,237円83,013円 ( 91,314円 ) | 6日目 |
97,022円87,319円 ( 96,051円 ) | 19日目 |
77,383円69,644円 ( 76,608円 ) | 19日目 |
98,167円88,350円 ( 97,185円 ) | 19日目 |
95,023円85,520円 ( 94,072円 ) | 19日目 |
98,933円89,039円 ( 97,943円 ) | 19日目 |
95,405円85,864円 ( 94,450円 ) | 19日目 |
98,552円88,696円 ( 97,566円 ) | 19日目 |
99,698円89,728円 ( 98,701円 ) | 19日目 |
98,360円88,524円 ( 97,376円 ) | 6日目 |
95,104円85,593円 ( 94,152円 ) | 19日目 |
95,104円85,593円 ( 94,152円 ) | 19日目 |
99,123円89,210円 ( 98,131円 ) | 19日目 |
95,489円85,940円 ( 94,534円 ) | 19日目 |
95,489円85,940円 ( 94,534円 ) | 19日目 |
98,360円88,524円 ( 97,376円 ) | 19日目 |
95,104円85,593円 ( 94,152円 ) | 19日目 |
99,123円89,210円 ( 98,131円 ) | 19日目 |
88,225円79,402円 ( 87,342円 ) | 19日目 |
93,298円83,968円 ( 92,365円 ) | 6日目 |
96,683円87,014円 ( 95,715円 ) | 19日目 |
116,885円105,196円 ( 115,716円 ) | 19日目 |
91,853円82,667円 ( 90,934円 ) | 19日目 |
92,237円83,013円 ( 91,314円 ) | 19日目 |
98,167円88,350円 ( 97,185円 ) | 19日目 |
98,360円88,524円 ( 97,376円 ) | 19日目 |
99,123円89,210円 ( 98,131円 ) | 19日目 |
80,752円72,676円 ( 79,944円 ) | 19日目 |
93,298円83,968円 ( 92,365円 ) | 19日目 |
91,853円82,667円 ( 90,934円 ) | 19日目 |
95,679円86,111円 ( 94,722円 ) | 19日目 |
96,445円86,800円 ( 95,480円 ) | 19日目 |
92,237円83,013円 ( 91,314円 ) | 19日目 |
98,167円88,350円 ( 97,185円 ) | 19日目 |
95,023円85,520円 ( 94,072円 ) | 19日目 |
98,933円89,039円 ( 97,943円 ) | 19日目 |
98,360円88,524円 ( 97,376円 ) | 19日目 |
95,104円85,593円 ( 94,152円 ) | 19日目 |
99,123円89,210円 ( 98,131円 ) | 19日目 |
99,890円89,901円 ( 98,891円 ) | 19日目 |
95,873円86,285円 ( 94,914円 ) | 19日目 |
98,360円88,524円 ( 97,376円 ) | 19日目 |
99,123円89,210円 ( 98,131円 ) | 19日目 |
75,731円68,157円 ( 74,973円 ) | 19日目 |
93,298円83,968円 ( 92,365円 ) | 19日目 |
101,912円91,720円 ( 100,892円 ) | 19日目 |
91,853円82,667円 ( 90,934円 ) | 19日目 |
95,679円86,111円 ( 94,722円 ) | 19日目 |
92,237円83,013円 ( 91,314円 ) | 19日目 |
98,167円88,350円 ( 97,185円 ) | 19日目 |
98,933円89,039円 ( 97,943円 ) | 19日目 |
98,360円88,524円 ( 97,376円 ) | 19日目 |
99,123円89,210円 ( 98,131円 ) | 19日目 |
116,538円104,884円 ( 115,372円 ) | 6日目 |
ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。
【特長】
・初期排気バルブと主排気バルブを一体化(流量二段制御バルブ)
・システムのコンパクト化および省配管化を実現
・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止
・初期排気弁の流量調整可能
・エアオペレートタイプ/電磁弁付き
・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる
・Ni(ニッケル)、Cr(クロム)等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む
・フッ素に強い
・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減
・軽量・コンパクト

SMC
ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD
ステンレス製真空バルブとなります。初期排気バルブと主排気バルブを一体化し、更に初期排気弁の流量調整が可能です。ポンプの過負荷運転や、排気時チェンバ内のダスト巻上げを防止します。

SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ
アルミニウム製真空バルブとなります。アウトガスや重金属汚染が少なく、フッ素に対する耐食性にも優れています。均一なベーキング温度により生成物の付着が激減。ベローズ交換も可能です。

SMC
【在庫品多数】薄形シリンダ 標準形 複動・片ロッド CQ2シリーズ
薄形シリンダ/標準形:複動・片ロッド CQ2シリーズとなります。全長が薄形に設計された省スペースシリンダです。各種冶具や装置のコンパクト化を実現しているため最小限のスペースでワークが可能です。
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
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アドバンテック(真空配管)
クランプシリーズ NWクランプ
4.7通常価格(税別):1,256円~

アドバンテック(真空配管)
NWフランジシリーズ NWブランクフランジ
4.5通常価格(税別):1,087円~

ミスミ
ミニ吸着パッド
5通常価格(税別):330円~

ミスミ
真空配管用継手 NWフランジ
5通常価格(税別):1,080円~

ミラプロ
NWフランジ(ISO-KF フランジタイプ)
5通常価格(税別):795円~

ミスミ
ミニ吸着パッド用ホルダ
5通常価格(税別):940円~

日本ピスコ
単体タイプ 真空破壊機能付 大気開放
5通常価格(税別):3,390円~

ミラプロ
NWロングフランジ(ISO-KF フランジタイプ)
5通常価格(税別):2,034円~

ミラプロ
NWブランクフランジ
4.6通常価格(税別):928円~