メカニカル部品技術窓口
アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキン...
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XLAV/電磁弁付

XLAV
上図イ、ロ、ハはヒータの取付位置を示します。またヒータの取付位置は、ヒータの種類により異なります。

外観(側面)
| 型番 | XLA(V)-16 | XLA(V)-25 | XLA(V)-40 | XLA(V)-50 | XLA(V)-63 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 弁の形式 | 常時閉(加圧開・スプリングシール) | |||||
| 使用流体 | 不活性ガス系の真空 | |||||
| 使用温度 ℃ | XLAV | 5~50 | ||||
| 使用圧力 Pa(abs) | 1×10-6~大気圧 | |||||
| コンダクタンス L/s注1) | 5 | 14 | 45 | 80 | 160 | |
| リーク量 Pa・m3/s | 内部 | 標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く | ||||
| 外部 | 標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く | |||||
| フランジの種類 | KF(NW) | KF(NW)・K(DN) | ||||
| 主な材質 | 本体:アルミ合金 ベローズ:SUS316L 要部:ステンレス、FKM(標準シール材) | |||||
| 表面処理 | 外部:硬質アルマイト 内部:素地 | |||||
| パイロット圧力 MPa(G) | 0.4~0.7 | |||||
| パイロットポート接続口径 | XLAV | M5:1(P)・3(R)ポート | Rc1/8:1(P)ポート、M5:3(R)ポート | |||
| 質量 kg | XLAV | 0.29 | 0.49 | 1.14 | 1.64 | 2.96 |
注1)コンダクタンスは同一寸法のエルボの値で代表しています。

電磁弁付の場合

バルブ側排気
※保守部品につきましてはカタログをご参照ください。
単位:mm
| 型番 | J | K | L | M | N |
|---|---|---|---|---|---|
| XLAV-16 | 35.5 | 12.3 | 10.2 | 3.6 | 3.6 |
| XLAV-25 | 40.5 | 13.8 | 10.2 | 3.6 | 3.6 |
| XLAV-40 | 50.5 | 21.6 | 10.2 | 3.6 | 3.6 |
| XLAV-50 | 57 | 24.6 | 10.2 | 3.6 | 3.6 |
| XLAV-63 | 78.5 | 28.7 | 12 | 4 | 2 |
| 型番 | A | B | C | D | E注1) | Fn | Fd | G | H |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| XLAV-16 | 40 | 103 | 38 | 1 | - | 30 | - | 17 | 40 |
| XLAV-25 | 50 | 113 | 48 | 1 | 12 | 40 | - | 26 | 39 |
| XLAV-40 | 65 | 158 | 66 | 2 | 11 | 55 | - | 41 | 63 |
| XLAV-50 | 70 | 170 | 79 | 2 | 11 | 75 | - | 52 | 68 |
| XLAV-63 | 88 | 196 | 100 | 3 | 11 | 87 | 95 | 70 | 69 |
注1)E寸法はヒータ付の場合です。(リード線長さ≒1m)
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
47,288円 ( 52,017円 ) | 19日目 |
48,119円 ( 52,931円 ) | 19日目 |
39,922円 ( 43,914円 ) | 19日目 |
40,469円 ( 44,516円 ) | 19日目 |
41,176円 ( 45,294円 ) | 19日目 |
41,376円 ( 45,514円 ) | 19日目 |
40,894円 ( 44,983円 ) | 19日目 |
40,752円 ( 44,827円 ) | 19日目 |
45,074円 ( 49,581円 ) | 19日目 |
53,602円 ( 58,962円 ) | 19日目 |
61,530円 ( 67,683円 ) | 19日目 |
61,034円 ( 67,137円 ) | 19日目 |
76,947円 ( 84,642円 ) | 19日目 |
45,923円 ( 50,515円 ) | 19日目 |
52,370円 ( 57,607円 ) | 19日目 |
53,766円 ( 59,143円 ) | 19日目 |
45,074円 ( 49,581円 ) | 19日目 |
44,141円 ( 48,555円 ) | 19日目 |
53,269円 ( 58,596円 ) | 19日目 |
44,556円 ( 49,012円 ) | 19日目 |
46,631円 ( 51,294円 ) | 19日目 |
40,263円 ( 44,289円 ) | 19日目 |
47,362円 ( 52,098円 ) | 19日目 |
41,022円 ( 45,124円 ) | 19日目 |
41,741円 ( 45,915円 ) | 19日目 |
41,232円 ( 45,355円 ) | 19日目 |
41,950円 ( 46,145円 ) | 19日目 |
41,396円 ( 45,536円 ) | 19日目 |
47,528円 ( 52,281円 ) | 19日目 |
41,111円 ( 45,222円 ) | 19日目 |
41,035円 ( 45,139円 ) | 19日目 |
41,806円 ( 45,987円 ) | 19日目 |
41,232円 ( 45,355円 ) | 19日目 |
41,310円 ( 45,441円 ) | 19日目 |
40,829円 ( 44,912円 ) | 19日目 |
41,317円 ( 45,449円 ) | 19日目 |
44,933円 ( 49,426円 ) | 19日目 |
39,784円 ( 43,762円 ) | 19日目 |
45,074円 ( 49,581円 ) | 19日目 |
45,846円 ( 50,431円 ) | 19日目 |
44,418円 ( 48,860円 ) | 19日目 |
46,914円 ( 51,605円 ) | 19日目 |
52,935円 ( 58,229円 ) | 19日目 |
58,662円 ( 64,528円 ) | 19日目 |
53,602円 ( 58,962円 ) | 19日目 |
44,418円 ( 48,860円 ) | 19日目 |
52,935円 ( 58,229円 ) | 19日目 |
45,907円 ( 50,498円 ) | 19日目 |
45,215円 ( 49,737円 ) | 19日目 |
45,356円 ( 49,892円 ) | 19日目 |
50,355円 ( 55,391円 ) | 19日目 |
45,923円 ( 50,515円 ) | 19日目 |
42,133円 ( 46,346円 ) | 19日目 |
45,356円 ( 49,892円 ) | 19日目 |
46,489円 ( 51,138円 ) | 19日目 |
56,246円 ( 61,871円 ) | 19日目 |
40,136円 ( 44,150円 ) | 19日目 |
45,923円 ( 50,515円 ) | 19日目 |
47,952円 ( 52,747円 ) | 19日目 |
47,195円 ( 51,915円 ) | 19日目 |
アウトガスが少ない真空レギュレータ。
【特長】
・アルミボディ採用
・均一なベーキング温度
・軽量・コンパクト
・重金属汚染が少ない
・フッ素ガスの腐食に強い
・ベローズ交換が可能(ベローズシールタイプ)
・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる

SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ
真空バルブです。アルミボディ採用でフッ素ガスの腐食に強い製品です。ベローズ交換が可能になり、メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れます。


SMC
【在庫品多数】薄形シリンダ 標準形 複動・片ロッド CQ2シリーズ
薄形シリンダ、標準形:複動・片ロッド CQ2シリーズです。全長が薄形に設計された省スペースシリンダです。各種冶具や装置のコンパクト化を実現しているため最小限のスペースでワーク可能です。
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます

アドバンテック(真空配管)
クランプシリーズ NWクランプ
4.7通常価格(税別):1,256円~

アドバンテック(真空配管)
NWフランジシリーズ NWブランクフランジ
4.5通常価格(税別):1,087円~

ミスミ
ミニ吸着パッド
5通常価格(税別):330円~

ミスミ
真空配管用継手 NWフランジ
5通常価格(税別):1,080円~

ミラプロ
NWフランジ(ISO-KF フランジタイプ)
5通常価格(税別):795円~

ミスミ
ミニ吸着パッド用ホルダ
5通常価格(税別):940円~

日本ピスコ
単体タイプ 真空破壊機能付 大気開放
5通常価格(税別):3,390円~

ミラプロ
NWロングフランジ(ISO-KF フランジタイプ)
5通常価格(税別):2,034円~

ミラプロ
NWブランクフランジ
4.6通常価格(税別):928円~