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絞り込み条件

未確定:候補が695型番あります。

アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

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  • スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
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数量:

商品情報

外形図

XLA /エアオペレートタイプの寸法図

XLA/エアオペレートタイプ

注)上図イ、ロ、ハはヒータの取付位置を示します。またヒータの取付位置は、ヒータの種類により異なります。詳細はカタログをご参照ください。

製品仕様

XLAの外観(側面)

外観(側面)

型番XLA-16XLA(V)-25XLA-40XLA-50XLA-63XLA-80
弁の形式常時閉(加圧開・スプリングシール)
使用流体不活性ガス系の真空
使用温度℃XLA5~60(高温タイプの場合:5~150)
使用圧力Pa(abs)1×10-6~大気圧
コンダクタンスL/s注1)5144580160200
リーク量Pa・m3/s内部標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く
外部標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
フランジの種類KF(NW)KF(NW)・K(DN)
主な材質本体:アルミ合金 ベローズ:SUS316L 要部:ステンレス、FKM(標準シール材)
表面処理外部:硬質アルマイト 内部:素地
パイロット圧力MPa(G)0.4~0.7
パイロットポート接続口径XLAM5Rc1/8
質量kgXLA0.250.451.11.62.95.0

注1)コンダクタンスは同一寸法のエルボの値で代表しています。

構造・作動

電磁弁付の場合

電磁弁付の場合

バルブ側排気

バルブ側排気

  • パイロットポートからパイロット圧力を加えることにより、ピストンと連結したバルブはスプリング力や圧力による作用力を振切り、開く。
  • XLAVは、1(P)ポートにパイロット圧力を常時加えておき、電磁弁のONでバルブが開き、OFFで閉じる。
■オートスイッチ D-F7NJ の詳細は下記をご参照下さい。
アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ 注意事項01
■オートスイッチ D-M9NJ の詳細は下記をご参照下さい。
アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ 注意事項02

規格表

単位:mm

型番ABCDE注1)FnFdGH
XLA-1640103381-30-1740
XLA-25501134811240-2639
XLA-40651586621155-4163
XLA-50701707921175-5268
XLA-638819610031187957069
XLA-80902351173111141108396

注1)E寸法はヒータ付の場合です。(リード線長さ≒1m)

注意・禁止事項

  • ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照下さい。
  • ※ 商品画像は代表画像となっております。

型番リスト

表示件数

フランジ種類

フランジ呼び

インジケータ

操作ポート方向

温度範囲

(℃)

スイッチ型式

スイッチ数

シール材質

ボディ表面処理

シ−ル変更箇所

スイッチリード線長さ

(m)

ヒータの有無

最小発注数量
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
なし
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
EPDM(配合No.:2101-80)
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
EPDM(配合No.:2101-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1/バルブシール2
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
外部シール
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1/外部シール
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
VMQ(配合No.:1232-70)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネット付)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネット付)
オートスイッチなし
EPDM(配合No.:2101-80)
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネット付)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
-
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
EPDM(配合No.:2101-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
1ヶ付(検出位置:弁開)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
1ヶ付(検出位置:弁閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
3
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
EPDM(配合No.:2101-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
3
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
1
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
EPDM(配合No.:2101-80)
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
EPDM(配合No.:2101-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁開)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
3
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
1
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9P
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9P
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
EPDM(配合No.:2101-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9P
1ヶ付(検出位置:弁開)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9P
1ヶ付(検出位置:弁開)
EPDM(配合No.:2101-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9P
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
3
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9P
1ヶ付(検出位置:弁開)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
3
なし
1個
NW
16
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9P
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
5
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
-
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネット付)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
-
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(マグネット付)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール1/バルブシール2/外部シール
-
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9B
1ヶ付(検出位置:弁閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
3
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9B
1ヶ付(検出位置:弁開)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
3
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
3
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
なし
3
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
3
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9P
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9P
1ヶ付(検出位置:弁開)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9P
1ヶ付(検出位置:弁開)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
3
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ側
5~150
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
-
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ面左
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
-
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ面左
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
3
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ面左
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
0.5
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ面裏
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
-
なし
1個
NW
16
インジケータ付
フランジ面裏
5~60
オートスイッチなし(マグネットなし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
なし
-
なし
1個
通常単価(税別) (税込単価)
通常出荷日
35,852
( 39,437 )
6日目
43,03838,734
( 42,607 )
19日目
41,047
( 45,152 )
19日目
36,480
( 40,128 )
19日目
71,29564,165
( 70,582 )
19日目
56,47050,823
( 55,905 )
19日目
50,26645,239
( 49,763 )
19日目
43,03838,734
( 42,607 )
19日目
45,42440,881
( 44,969 )
19日目
50,26645,239
( 49,763 )
19日目
47,07542,367
( 46,604 )
19日目
56,17650,558
( 55,614 )
19日目
38,607
( 42,468 )
在庫品1日目当日出荷可能
44,97140,473
( 44,520 )
19日目
56,71751,045
( 56,150 )
19日目
40,794
( 44,873 )
6日目
45,13440,620
( 44,682 )
19日目
49,09744,187
( 48,606 )
19日目
42,44438,199
( 42,019 )
19日目
53,008
( 58,309 )
19日目
45,78541,206
( 45,327 )
19日目
41,085
( 45,194 )
19日目
45,78541,206
( 45,327 )
19日目
40,989
( 45,088 )
19日目
58,28052,452
( 57,697 )
19日目
59,04953,144
( 58,458 )
19日目
44,22139,798
( 43,778 )
19日目
38,418
( 42,260 )
19日目
38,418
( 42,260 )
19日目
53,19847,878
( 52,666 )
19日目
52,81447,532
( 52,285 )
19日目
42,151
( 46,366 )
19日目
52,43447,190
( 51,909 )
19日目
53,19847,878
( 52,666 )
19日目
49,17844,260
( 48,686 )
19日目
49,94744,952
( 49,447 )
19日目
53,19847,878
( 52,666 )
19日目
49,56344,606
( 49,067 )
19日目
46,65241,986
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19日目
36,250
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19日目
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43,25338,927
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46,24941,624
( 45,786 )
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43,58839,229
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52,92347,630
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45,71341,141
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19日目
49,47144,523
( 48,975 )
19日目
50,05345,047
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19日目
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41,67737,509
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46,41841,776
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19日目
46,41841,776
( 45,954 )
19日目
45,16340,646
( 44,711 )
19日目

詳細情報

基本情報

アウトガスが少ない真空レギュレータ。
【特長】
・アルミボディ採用
・均一なベーキング温度
・軽量・コンパクト
・重金属汚染が少ない
・フッ素ガスの腐食に強い
・ベローズ交換が可能(ベローズシールタイプ)
・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる

ご注意

  • 掲載商品の内、一部商品はセール価格で販売しています。対象商品は型番リストよりご確認ください。セールは規定数量に達し次第、予告無しに終了する恐れがあります。正しい単価は【価格を確認】を押下し、ご確認ください。
  • ■SMC エアシリンダ製品の選定・技術情報
    特集ページは こちら から、ご確認下さい。

    ■SMC製品取扱いについて
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アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズのレビュー
4平均満足度:4.01件のレビュー
真空装置に使用
4
満足度:4.0
真空装置のL型バルブに、SMC XLAシリーズを使用しています。オートスイッチは通常取り付けないのですが、必要になった時...もっと読む
0人が参考にしています。

よくあるご質問(FAQ)

Q高真空L型バルブ:XL□シリーズは正圧で使用する事はできますか?
A
標準品のXL□シリーズの使用圧力は、1X10-6~大気圧です(XLF/XLGは1X10-5~大気圧)。
正圧は大気圧までとなります。大気圧を超えた圧縮流体を使用することはできません。
注)XLGシリーズの特注品で対応可の製品があります。
Q高真空L型バルブ:XL□シリーズに、オートスイッチを後から取付ける事はできますか?
A
高真空L型バルブXL□が、ボンネット内のピストン部にオプションの磁石を装着していれば、
オートスイッチの後付けは可能です。
オートスイッチは、磁石の磁力を感知して信号を出力します。
磁石がピストンに装着されていないXL□にオートスイッチを取付けても、スイッチは作動しません。

【後付け可能な製品品番】
1)製品型式銘版にオートスイッチの品番がある場合:例) XLA-40-2M9NA など
2)オートスイッチは無いが磁石が装着されている場合:例) XLA-40-2M9// など
注)耐熱型オートスイッチの後付けについては、別のFAQをご確認ください。

【後付け不可な製品品番】
1)磁石がピストンに装着されていない場合:例) XLA-40-2 及び XLA-40H5-2 など

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アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ
アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ
メーカーSMCSMCSMCSMCSMCSMC
通常価格35,852-39,784 -45,901 -39,429 -39,244 -35,155 -
通常出荷日在庫品1日目〜19日目在庫品1日目〜在庫品1日目〜在庫品1日目〜3日目〜
種類空操真空弁高真空用電磁弁空操真空弁手動真空弁パイロット真空弁パイロット真空弁
用途単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用
設置方法ダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト
ポート数3ポート弁3ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁
切換の種類2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ

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