メカニカル部品技術窓口
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未確定：候補が828型番あります。
フランジ種類
- NW
- その他
- CF
- DN
フランジ呼び
~mm- 16
- 25
- 40
- 50
- 63
- 80
シ−ル変更箇所
スイッチリード線長さ(m)
~mm- 0.5
- 1
- 3
- 5
CAD
- 2D
- 3D
出荷日
- すべて
- 当日出荷可能
- 6日以内
- 19日以内
ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ
- 一部SALE 2026/01/31まで
- 一部当日出荷可能
- 通常単価(税別)
- 45,901円～307,606円特別価格
- 税込単価
- 50,491円～338,367円特別価格
圧力バランス構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・...
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- 2025年3月1日工場出荷分よりスイッチの色味が変更となりました。 スイッチの色味は選定・交換不可となります。 旧品ご購入希望の方はスイッチ単品で注文をお願いいたします。（在庫限り）
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- スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
CADデータは、一部の型番には対応しておりません。 - 商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。
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商品情報
外形図
単位：mm
XMA（L型）
XYA（ストレート型）
製品仕様
XMAシリーズ
XYAシリーズ
製品仕様
| 型番 | XMA-16 | XMA-25 XYA-25 | XMA-40 XYA-40 | XMA-50 XYA-50 | XMA-63 XYA-63 | XMA-80 XYA-80 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| フランジ（バルブ）サイズ | 16, CF034 | 25 | 40, CF070 | 50 | 63, CF114 | 80 | |
| 弁の形式 | 常時閉（加圧開・スプリングシール） | ||||||
| 使用流体 | 不活性ガス系の真空 | ||||||
| 使用温度℃ | 5～60（高温タイプの場合5～150） | ||||||
| 使用圧力Pa（abs） | 1×10-6～大気圧 | ||||||
| コンダクタンス L/s注1） | 5 | 14 | 45 | 80 | 160 | 200 | |
| リーク量 Pa・m3/s | 内部 | 標準材質（FKM）の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く | |||||
| 外部 | 標準材質（FKM）の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く | ||||||
| 作動時間s | 0.05 | 0.1 | 0.21 | 0.24 | 0.26 | 0.28 | |
| フランジの種類 | KF（NW）, CF | KF（NW） | KF（NW）, CF | KF（NW） | KF（NW）, K（DN）, CF | KF（NW）, K（DN） | |
| 主な材質 | 本体：SCS13（SUS304相当）, ベローズ：SUS316L, 要部：SUS304, FKM（標準シール材） | ||||||
| パイロット圧力MPa（G） | 0.4～0.7 | ||||||
| パイロットポート接続口径 | M5 | Rc1/8 | |||||
| 質量kg注2） | XMA | 0.33（0.37） | 0.61 | 1.40（1.76） | 2 | 3.60（4.96） | 6.2 |
| XYA | - | 0.66 | 1.42 | 2.40 | 4.30 | 7.70 | |
注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの「分子流」での値で代表しています。
注2）（ ）内質量はCF（コンフラット）継手の場合
構造
※保守部品につきましてはカタログをご参照ください。
規格表
単位：mm
XMA（L型）
| 型番 | A | B | C | D | Fn | Fd | Fc | G | H | P.C.D L1 | L2 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| XMA-16 | 40 | 103 | 38 | 1 | 30 | - | 34 | 17 | 40 | P.C.D 27 | 6×φ4.4（直径4.4mm） |
| XMA-25 | 50 | 113 | 48 | 1 | 40 | - | - | 26 | 39 | - | - |
| XMA-40 | 65 | 158 | 66 | 2 | 55 | - | 70 | 41 | 63 | P.C.D 58.7 | 6×φ6.6（直径6.6mm） |
| XMA-50 | 70 | 170 | 79 | 2 | 75 | - | - | 52 | 68 | - | - |
| XMA-63 | 88 | 196 | 100 | 3 | 87 | 95 | 114 | 70 | 69 | P.C.D 92.1 | 8×φ8.4（直径8.4mm） |
| XMA-80 | 90 | 235 | 117 | 3 | 114 | 100 | - | 83 | 96 | - | - |
XYA（ストレート型）
| 型番 | A | B | C | D | E | Fn | Fd | G | H |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| XYA-25 | 100.2 | 79.5 | 48 | 1 | 23.5 | 40 | - | 26 | 64 |
| XYA-40 | 130 | 106 | 66 | 2 | 38 | 55 | - | 41 | 84 |
| XYA-50 | 178 | 119 | 79 | 2 | 53 | 75 | - | 52 | 95 |
| XYA-63 | 209 | 149 | 100 | 3 | 61 | 87 | 95 | 70 | 118 |
| XYA-80 | 268 | 178 | 117 | 3 | 80 | 114 | 110 | 83 | 142 |
注意・禁止事項
- ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照下さい。
- ※ 商品画像は代表画像となっております。
型番リスト
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
54,729円49,256円 ( 54,182円 ) | 6日目 |
55,028円49,525円 ( 54,478円 ) | 6日目 |
45,901円41,310円 ( 45,441円 ) | 19日目 |
69,570円62,613円 ( 68,874円 ) | 19日目 |
61,046円54,941円 ( 60,435円 ) | 19日目 |
57,899円52,109円 ( 57,320円 ) | 19日目 |
57,899円52,109円 ( 57,320円 ) | 19日目 |
61,809円55,628円 ( 61,191円 ) | 19日目 |
61,236円 ( 67,360円 ) | 19日目 |
61,427円55,284円 ( 60,812円 ) | 19日目 |
63,637円57,273円 ( 63,000円 ) | 19日目 |
57,985円52,186円 ( 57,405円 ) | 19日目 |
77,223円69,500円 ( 76,450円 ) | 19日目 |
72,525円65,272円 ( 71,799円 ) | 19日目 |
87,368円78,631円 ( 86,494円 ) | 19日目 |
57,985円52,186円 ( 57,405円 ) | 19日目 |
61,999円55,799円 ( 61,379円 ) | 19日目 |
76,544円68,889円 ( 75,778円 ) | 19日目 |
61,619円55,457円 ( 61,003円 ) | 19日目 |
61,999円55,799円 ( 61,379円 ) | 19日目 |
54,922円49,429円 ( 54,372円 ) | 19日目 |
73,973円66,575円 ( 73,233円 ) | 19日目 |
68,614円61,752円 ( 67,927円 ) | 19日目 |
60,088円54,079円 ( 59,487円 ) | 19日目 |
69,273円62,345円 ( 68,580円 ) | 19日目 |
75,695円68,125円 ( 74,938円 ) | 19日目 |
55,220円49,698円 ( 54,668円 ) | 19日目 |
55,494円49,944円 ( 54,938円 ) | 19日目 |
62,300円56,070円 ( 61,677円 ) | 19日目 |
61,727円55,554円 ( 61,109円 ) | 19日目 |
61,809円55,628円 ( 61,191円 ) | 19日目 |
76,267円68,640円 ( 75,504円 ) | 19日目 |
58,472円52,624円 ( 57,886円 ) | 19日目 |
62,491円56,241円 ( 61,865円 ) | 19日目 |
53,861円48,474円 ( 53,321円 ) | 19日目 |
62,491円56,241円 ( 61,865円 ) | 19日目 |
55,412円49,870円 ( 54,857円 ) | 19日目 |
61,535円55,381円 ( 60,919円 ) | 19日目 |
67,850円61,065円 ( 67,172円 ) | 19日目 |
58,126円52,313円 ( 57,544円 ) | 19日目 |
56,559円50,903円 ( 55,993円 ) | 19日目 |
65,171円58,653円 ( 64,518円 ) | 19日目 |
68,040円61,236円 ( 67,360円 ) | 19日目 |
61,999円55,799円 ( 61,379円 ) | 19日目 |
62,300円56,070円 ( 61,677円 ) | 19日目 |
69,273円62,345円 ( 68,580円 ) | 19日目 |
61,999円55,799円 ( 61,379円 ) | 19日目 |
61,999円55,799円 ( 61,379円 ) | 19日目 |
62,300円56,070円 ( 61,677円 ) | 19日目 |
68,316円61,484円 ( 67,632円 ) | 19日目 |
58,520円52,668円 ( 57,935円 ) | 19日目 |
65,638円59,074円 ( 64,981円 ) | 19日目 |
66,406円59,765円 ( 65,742円 ) | 19日目 |
62,873円56,585円 ( 62,244円 ) | 19日目 |
77,418円69,676円 ( 76,644円 ) | 19日目 |
61,915円55,723円 ( 61,295円 ) | 19日目 |
68,701円61,830円 ( 68,013円 ) | 19日目 |
77,418円69,676円 ( 76,644円 ) | 19日目 |
55,220円49,698円 ( 54,668円 ) | 19日目 |
55,494円49,944円 ( 54,938円 ) | 19日目 |
詳細情報
基本情報
圧力バランス構造の真空バルブ。
【特長】
・ベローズ式でダストフリー、クリーン化
・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）
・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）
・軽量・コンパクト
ご注意
- 掲載商品の内、一部商品はセール価格で販売しています。対象商品は型番リストよりご確認ください。セールは規定数量に達し次第、予告無しに終了する恐れがあります。正しい単価は【価格を確認】を押下し、ご確認ください。
- 2025年3月1日工場出荷分よりスイッチの色味が変更となりました。 スイッチの色味は選定・交換不可となります。 旧品ご購入希望の方はスイッチ単品で注文をお願いいたします。（在庫限り）
- 材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。
- スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
CADデータは、一部の型番には対応しておりません。 - 商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。
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