メカニカル部品技術窓口
絞り込み条件
フランジ種類
- NW
- その他
- CF
- DN
フランジ呼び
~mm- 16
- 25
- 40
- 50
- 63
- 80
シ−ル変更箇所
スイッチリード線長さ(m)
~mm- 0.5
- 1
- 3
- 5
CAD
- 2D
- 3D
出荷日
- すべて
- 当日出荷可能
- 6日以内
- 19日以内
ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ
- 一部SALE 2026/03/31まで
- 一部当日出荷可能
- 通常単価(税別)
- 45,901円～307,606円特別価格
- 税込単価
- 50,491円～338,367円特別価格
圧力バランス構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・...
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- 掲載商品の内、一部商品はセール価格で販売しています。対象商品は型番リストよりご確認ください。セールは規定数量に達し次第、予告無しに終了する恐れがあります。正しい単価は【価格を確認】を押下し、ご確認ください。
- 2025年3月1日工場出荷分よりスイッチの色味が変更となりました。 スイッチの色味は選定・交換不可となります。 旧品ご購入希望の方はスイッチ単品で注文をお願いいたします。（在庫限り）
- 材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。
- スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
CADデータは、一部の型番には対応しておりません。 - 商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。
商品情報
外形図
XMA（L型）
XYA（ストレート型）
製品仕様
XMAシリーズ
XYAシリーズ
製品仕様
| 型番 | XMA-16 | XMA-25 XYA-25 | XMA-40 XYA-40 | XMA-50 XYA-50 | XMA-63 XYA-63 | XMA-80 XYA-80 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| フランジ（バルブ）サイズ | 16, CF034 | 25 | 40, CF070 | 50 | 63, CF114 | 80 | |
| 弁の形式 | 常時閉（加圧開・スプリングシール） | ||||||
| 使用流体 | 不活性ガス系の真空 | ||||||
| 使用温度℃ | 5～60（高温タイプの場合5～150） | ||||||
| 使用圧力Pa（abs） | 1×10-6～大気圧 | ||||||
| コンダクタンス L/s注1） | 5 | 14 | 45 | 80 | 160 | 200 | |
| リーク量 Pa・m3/s | 内部 | 標準材質（FKM）の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く | |||||
| 外部 | 標準材質（FKM）の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く | ||||||
| 作動時間s | 0.05 | 0.1 | 0.21 | 0.24 | 0.26 | 0.28 | |
| フランジの種類 | KF（NW）, CF | KF（NW） | KF（NW）, CF | KF（NW） | KF（NW）, K（DN）, CF | KF（NW）, K（DN） | |
| 主な材質 | 本体：SCS13（SUS304相当）, ベローズ：SUS316L, 要部：SUS304, FKM（標準シール材） | ||||||
| パイロット圧力MPa（G） | 0.4～0.7 | ||||||
| パイロットポート接続口径 | M5 | Rc1/8 | |||||
| 質量kg注2） | XMA | 0.33（0.37） | 0.61 | 1.40（1.76） | 2 | 3.60（4.96） | 6.2 |
| XYA | - | 0.66 | 1.42 | 2.40 | 4.30 | 7.70 | |
注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの「分子流」での値で代表しています。
注2）（ ）内質量はCF（コンフラット）継手の場合
構造
※保守部品につきましてはカタログをご参照ください。
規格表
XMA（L型）
| 型番 | A | B | C | D | Fn | Fd | Fc | G | H | P.C.D L1 | L2 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| XMA-16 | 40 | 103 | 38 | 1 | 30 | - | 34 | 17 | 40 | P.C.D 27 | 6×φ4.4（直径4.4mm） |
| XMA-25 | 50 | 113 | 48 | 1 | 40 | - | - | 26 | 39 | - | - |
| XMA-40 | 65 | 158 | 66 | 2 | 55 | - | 70 | 41 | 63 | P.C.D 58.7 | 6×φ6.6（直径6.6mm） |
| XMA-50 | 70 | 170 | 79 | 2 | 75 | - | - | 52 | 68 | - | - |
| XMA-63 | 88 | 196 | 100 | 3 | 87 | 95 | 114 | 70 | 69 | P.C.D 92.1 | 8×φ8.4（直径8.4mm） |
| XMA-80 | 90 | 235 | 117 | 3 | 114 | 100 | - | 83 | 96 | - | - |
XYA（ストレート型）
| 型番 | A | B | C | D | E | Fn | Fd | G | H |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| XYA-25 | 100.2 | 79.5 | 48 | 1 | 23.5 | 40 | - | 26 | 64 |
| XYA-40 | 130 | 106 | 66 | 2 | 38 | 55 | - | 41 | 84 |
| XYA-50 | 178 | 119 | 79 | 2 | 53 | 75 | - | 52 | 95 |
| XYA-63 | 209 | 149 | 100 | 3 | 61 | 87 | 95 | 70 | 118 |
| XYA-80 | 268 | 178 | 117 | 3 | 80 | 114 | 110 | 83 | 142 |
注意・禁止事項
- ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照下さい。
- ※ 商品画像は代表画像となっております。
型番リスト
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
54,729円 ( 60,202円 ) | 6日目 |
55,028円 ( 60,531円 ) | 6日目 |
45,901円 ( 50,491円 ) | 19日目 |
69,570円 ( 76,527円 ) | 19日目 |
61,046円 ( 67,151円 ) | 19日目 |
57,899円 ( 63,689円 ) | 19日目 |
57,899円 ( 63,689円 ) | 19日目 |
61,809円 ( 67,990円 ) | 19日目 |
61,236円 ( 67,360円 ) | 19日目 |
61,427円 ( 67,570円 ) | 19日目 |
63,637円 ( 70,001円 ) | 19日目 |
57,985円 ( 63,784円 ) | 19日目 |
77,223円 ( 84,945円 ) | 19日目 |
72,525円 ( 79,778円 ) | 19日目 |
87,368円 ( 96,105円 ) | 19日目 |
57,985円 ( 63,784円 ) | 19日目 |
61,999円 ( 68,199円 ) | 19日目 |
76,544円 ( 84,198円 ) | 19日目 |
61,619円 ( 67,781円 ) | 19日目 |
61,999円 ( 68,199円 ) | 19日目 |
54,922円 ( 60,414円 ) | 19日目 |
73,973円 ( 81,370円 ) | 19日目 |
68,614円 ( 75,475円 ) | 19日目 |
60,088円 ( 66,097円 ) | 19日目 |
69,273円 ( 76,200円 ) | 19日目 |
75,695円 ( 83,265円 ) | 19日目 |
55,220円 ( 60,742円 ) | 19日目 |
55,494円 ( 61,043円 ) | 19日目 |
62,300円 ( 68,530円 ) | 19日目 |
61,727円 ( 67,900円 ) | 19日目 |
61,809円 ( 67,990円 ) | 19日目 |
76,267円 ( 83,894円 ) | 19日目 |
58,472円 ( 64,319円 ) | 19日目 |
62,491円 ( 68,740円 ) | 19日目 |
53,861円 ( 59,247円 ) | 19日目 |
62,491円 ( 68,740円 ) | 19日目 |
55,412円 ( 60,953円 ) | 19日目 |
61,535円 ( 67,689円 ) | 19日目 |
67,850円 ( 74,635円 ) | 19日目 |
58,126円 ( 63,939円 ) | 19日目 |
56,559円 ( 62,215円 ) | 19日目 |
65,171円 ( 71,688円 ) | 19日目 |
68,040円 ( 74,844円 ) | 19日目 |
61,999円 ( 68,199円 ) | 19日目 |
62,300円 ( 68,530円 ) | 19日目 |
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61,999円 ( 68,199円 ) | 19日目 |
61,999円 ( 68,199円 ) | 19日目 |
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68,316円 ( 75,148円 ) | 19日目 |
58,520円 ( 64,372円 ) | 19日目 |
65,638円 ( 72,202円 ) | 19日目 |
66,406円 ( 73,047円 ) | 19日目 |
62,873円 ( 69,160円 ) | 19日目 |
77,418円 ( 85,160円 ) | 19日目 |
61,915円 ( 68,107円 ) | 19日目 |
68,701円 ( 75,571円 ) | 19日目 |
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55,220円 ( 60,742円 ) | 19日目 |
55,494円 ( 61,043円 ) | 19日目 |
詳細情報
基本情報
圧力バランス構造の真空バルブ。
【特長】
・ベローズ式でダストフリー、クリーン化
・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）
・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）
・軽量・コンパクト
ご注意
- 掲載商品の内、一部商品はセール価格で販売しています。対象商品は型番リストよりご確認ください。セールは規定数量に達し次第、予告無しに終了する恐れがあります。正しい単価は【価格を確認】を押下し、ご確認ください。
- 2025年3月1日工場出荷分よりスイッチの色味が変更となりました。 スイッチの色味は選定・交換不可となります。 旧品ご購入希望の方はスイッチ単品で注文をお願いいたします。（在庫限り）
- 材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。
- スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
CADデータは、一部の型番には対応しておりません。 - 商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。
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