高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ

外形図

製品仕様

項目	AVB217	AVB317	AVB417	AVB517	AVB617	AVB717
使用流体	真空および不活性ガス
使用圧力 Pa（abs）	1.3×10-6～1×105
使用最大差圧 MPa	0.1
弁座漏れ Pa・m3/s（He）	1.3×10-10以下
外部漏れ Pa・m3/s（He）	1.3×10-11以下
耐圧力 MPa	0.3
流体温度 ℃	5～60（5～150）  注1
周囲温度 ℃	0～60（凍結のないこと）
オリフィス径 mm	φ17	φ24	φ39	φ48	φ68	φ80
コンダクタンス 注2 L/s	5	13	43	74	166	242
接続方式	NW16	NW25	NW40	NW50	NW63	NW80
操作圧力 MPa	0.4～0.6
質量 kg	0.4	0.5	1.2	2.0	3.5	6.5
JIS記号	NC形

注1:（ ）内は高温仕様タイプの場合です。
注2:コンダクタンスの値は、分子流域においての理論計算値であり、実測値ではありません。
注3:外部シール部のOリングには真空用グリースを塗布しています。

スイッチ仕様

注1:リード線長さは、オプションとして3m、5mも用意しております。
注2:上記の負荷電流の最大値20mAは25℃のものです。
      スイッチ使用周囲範囲が25℃より高い場合は20mAより低くなります。（60℃にて5～10mA）
注3:その他スイッチの使用上の注意事項につきましては、デジタルカタログ174～178ページをご参照ください。

内部構造

部品リスト

規格表