3ポジション・ニューマチック・コンパクトゲートバルブ EX-3Pシリーズ

当社オリジナルの駆動方式により、コンパクトでコストパフォーマンスに優れております。
【特長】
◇1台で2台分の働きをします。
・1台のバルブでメイン排気と、コンダクタンス排気が可能です。
・弁開度を任意に設定できるサブシリンダーが付いています。
◇ダブルシリンダー方式を採用し、よりコンパクト・軽量化されました。さらにエアークッション効果により開閉はスムーズです。
◇独特のゲート機構は逆圧にも耐え、面間は超薄型です。（カムスプリングは使用していません。）
◇クリーンルーム内で組立、検査しています。