メカニカル部品技術窓口
プロセス圧力を微小流量で制御するガス導入バルブ。【特長】・激しい腐食性ガスへの...
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| サイズ | DN 16mm(5/8”) |
|---|---|
| アクチュエータ | 手動式:ハンドホイール コントローラ搭載型ステッピングモーター |
| バルブボティの材質 | ステンレススチール |
| 標準フランジ | CF-R |
| シール技術 | ダイアフラム |
| ポジション分解能 | 100,000ステップ |
|---|---|
| 閉時間 | 3.5s |
| リーク量 | バルブボティ、バルブシート | <1・10-10mbar ls-1 |
|---|---|---|
| 使用圧力範囲 | - | UHV to 10 bar(abs) |
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | - | ≦10 bar |
| デッドボリューム | アングルバルブ:シートサイド/サイドポート インラインバルブ:シートサイド/サイドポート | 2.7cm3/1.1cm3 0.98cm3/1.01cm3 |
| 第1回サービスまでのサイクル数 | - | 20,000 |
| ベークアウト温度1) | バルブボティ 手動アクチュエータ ステッピングモーター | ≦300℃ ≦300℃ ≦50℃ |
| 加熱および冷却速度 | - | ≦60℃ h-1 |
| 材質 | バルブボティ ダイアフラム | AISI 660(1.4943)、AISI 316L(1.4404) AISI 301(1.4310)、gold-plated |
| 取付け方向 | - | 自由 |
| バルブの開閉位置表示 | - | 目視位置表示付き(scale) |
| コンダクタンス(分子流) | - | 0.05 ls-1 |
| 調整可能なガス流量 | - | 1・10-10 mbar ls-1 to 500 mbar ls-1 |
| 重量 | 手動アクチュエータ付き 制御ステッピングモーター付き | 0.94kg/2.07 lbs 2.5kg/5.5 lbs |
1)最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。
| DN | mm | 16 |
|---|---|---|
| inch | 5/8 | |
| A | mm | 38 |
| inch | 1.50 | |
| B | mm | 34 |
| inch | 1.34 | |
| C | mm | 27 |
| inch | 1.06 | |
| D | mm | 10 |
| inch | 0.39 | |
| K | mm | 111.50 |
| inch | 4.39 | |
| L | mm | 7.35 |
| inch | 0.29 | |
| M | mm | 28.50 |
| inch | 1.12 | |
| N | mm | 15 |
| inch | 0.59 | |
| O | mm | 63 |
| inch | 2.48 | |
| T | mm | 13.50 |
| inch | 0.53 | |
| U | mm | 34 |
| inch | 1.34 |
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
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