メカニカル部品技術窓口
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タイプ
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オールメタルバリアブルリークバルブ
- 単価(税別)
- -円
- 合計(税別)
- -円(税込価格：-円)
- 出荷日
- -(参考出荷日：-円)
59024-GE01の仕様・寸法情報
フランジ種類
[その他] CF-R (回転フランジ)
本体形状
ストレート
使用圧力範囲Min(MPa)
1X10-14
使用圧力範囲Max(MPa)
1
呼び圧力
100K
本体材質
ステンレススチール
操作方式
手動式
ハンドル形状
ハンドホイール
供給側 接続種類
管フランジ
供給側 管フランジの呼び
5/8inch(16mm)
制御側 接続種類
管フランジ
制御側 管フランジの呼び
5/8inch(16mm)
最大使用温度(℃)
300
-
-
商品情報
外形図
製品仕様
主な特徴
コントローラ
| サイズ | DN 16mm（5/8”） |
|---|---|
| アクチュエータ | 手動式：ハンドホイール コントローラ搭載型ステッピングモーター |
| バルブボティの材質 | ステンレススチール |
| 標準フランジ | CF-R |
| シール技術 | ダイアフラム |
| ポジション分解能 | 100,000ステップ |
|---|---|
| 閉時間 | 3.5s |
バルブ
| リーク量 | バルブボティ、バルブシート | ＜1・10-10mbar ls-1 |
|---|---|---|
| 使用圧力範囲 | - | UHV to 10 bar（abs） |
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | - | ≦10 bar |
| デッドボリューム | アングルバルブ：シートサイド/サイドポート インラインバルブ：シートサイド/サイドポート | 2.7cm3／1.1cm3 0.98cm3／1.01cm3 |
| 第1回サービスまでのサイクル数 | - | 20,000 |
| ベークアウト温度1） | バルブボティ 手動アクチュエータ ステッピングモーター | ≦300℃ ≦300℃ ≦50℃ |
| 加熱および冷却速度 | - | ≦60℃ h-1 |
| 材質 | バルブボティ ダイアフラム | AISI 660（1.4943）、AISI 316L（1.4404） AISI 301（1.4310）、gold-plated |
| 取付け方向 | - | 自由 |
| バルブの開閉位置表示 | - | 目視位置表示付き（scale） |
| コンダクタンス（分子流） | - | 0.05 ls-1 |
| 調整可能なガス流量 | - | 1・10-10 mbar ls-1 to 500 mbar ls-1 |
| 重量 | 手動アクチュエータ付き 制御ステッピングモーター付き | 0.94kg／2.07 lbs 2.5kg／5.5 lbs |
1）最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。
| DN | mm | 16 |
|---|---|---|
| inch | 5/8 | |
| A | mm | 38 |
| inch | 1.50 | |
| B | mm | 34 |
| inch | 1.34 | |
| C | mm | 27 |
| inch | 1.06 | |
| D | mm | 10 |
| inch | 0.39 | |
| K | mm | 111.50 |
| inch | 4.39 | |
| L | mm | 7.35 |
| inch | 0.29 | |
| M | mm | 28.50 |
| inch | 1.12 | |
| N | mm | 15 |
| inch | 0.59 | |
| O | mm | 63 |
| inch | 2.48 | |
| T | mm | 13.50 |
| inch | 0.53 | |
| U | mm | 34 |
| inch | 1.34 |
カタログ
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