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オールメタルバリアブルリークバルブ

  • フランジ種類
    CF-R (回転フランジ)
  • 本体形状
    ストレート
  • 使用圧力範囲Min (MPa)
    1X10-14
  • 使用圧力範囲Max (MPa)
    1
  • 呼び圧力
    100K
  • 本体材質
    ステンレススチール
  • 操作方式
    手動式
  • ハンドル形状
    ハンドホイール
  • 供給側 接続種類
    管フランジ
  • 供給側 管フランジの呼び
    5/8inch(16mm)
  • 制御側 接続種類
    管フランジ
  • 制御側 管フランジの呼び
    5/8inch(16mm)
  • 最大使用温度 (℃)
    300

型番:

59024-GE01
解除
数量:
-閉じる

59024-GE01の仕様・寸法情報

フランジ種類
[その他] CF-R (回転フランジ)
本体形状
ストレート
使用圧力範囲Min(MPa)
1X10-14
使用圧力範囲Max(MPa)
1
呼び圧力
100K
本体材質
ステンレススチール
操作方式
手動式
ハンドル形状
ハンドホイール
供給側 接続種類
管フランジ
供給側 管フランジの呼び
5/8inch(16mm)
制御側 接続種類
管フランジ
制御側 管フランジの呼び
5/8inch(16mm)
最大使用温度(℃)
300
-
-

商品情報

外形図

オールメタルバリアブルリークバルブ 外形図

製品仕様

主な特徴

コントローラ

サイズDN 16mm(5/8”)
アクチュエータ手動式:ハンドホイール
コントローラ搭載型ステッピングモーター
バルブボティの材質ステンレススチール
標準フランジCF-R
シール技術ダイアフラム
ポジション分解能100,000ステップ
閉時間3.5s

バルブ

リーク量バルブボティ、バルブシート<1・10-10mbar ls-1
使用圧力範囲-UHV to 10 bar(abs)
バルブを開けるときの許容最大差圧-≦10 bar
デッドボリュームアングルバルブ:シートサイド/サイドポート
インラインバルブ:シートサイド/サイドポート
2.7cm3/1.1cm3
0.98cm3/1.01cm3
第1回サービスまでのサイクル数-20,000
ベークアウト温度1)バルブボティ
手動アクチュエータ
ステッピングモーター
≦300℃
≦300℃
≦50℃
加熱および冷却速度-≦60℃ h-1
材質バルブボティ
ダイアフラム
AISI 660(1.4943)、AISI 316L(1.4404)
AISI 301(1.4310)、gold-plated
取付け方向-自由
バルブの開閉位置表示-目視位置表示付き(scale)
コンダクタンス(分子流)-0.05 ls-1
調整可能なガス流量-1・10-10 mbar ls-1 to 500 mbar ls-1
重量手動アクチュエータ付き
制御ステッピングモーター付き
0.94kg/2.07 lbs
2.5kg/5.5 lbs

1)最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。

 
DNmm16
inch5/8
Amm38
inch1.50 
Bmm34
inch1.34
Cmm27
inch1.06
Dmm10
inch0.39
Kmm111.50 
inch4.39
Lmm7.35
inch0.29
Mmm28.50 
inch1.12
Nmm15
inch0.59
Omm63
inch2.48
Tmm13.50 
inch0.53
Umm34
inch1.34
 

型番リスト

表示件数
型番
59024-GE01
最小発注数量
1個
通常単価(税別) (税込単価)
通常出荷日
298,386268,547
( 295,402 )
7日目

詳細情報

基本情報

プロセス圧力を微小流量で制御するガス導入バルブ。
【特長】
・激しい腐食性ガスへの耐性。
・精密で再現性の高いガス流量調整。

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  • 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。

オールメタルバリアブルリークバルブの型番59024-GE01のページです。 型番59024-GE01に関する仕様情報を記載しております。
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メーカーVATVATVATVATVATVAT
通常価格298,386197,73536,610 -32,715 -329,200497,859 -
通常出荷日7日目81日目在庫品1日目〜在庫品1日目〜7日目7日目〜
フランジ種類CF-R (回転フランジ)CF-R (回転フランジ)ISO-KFISO-KF--
本体形状ストレートアングルストレート-ストレートストレート
使用圧力範囲Min(MPa)1X10-141X10-141X10-111X10-12-1X10-14
使用圧力範囲Max(MPa)10.20.50.50.2-
呼び圧力100K200K500K500K--
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