メカニカル部品技術窓口
【特長】・空気圧シリンダー式高圧ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性...
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図1

図2

図3
| 呼び径 | 最高使用圧力 | 使用流体温度範囲 | MAX Cv値 | 作動圧力 | 操作圧接続ポート | 接続継手 | 空気圧シリンダー作動方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 6.35 | 16.2MPa | -10~+80℃ | 0.3 | 0.39~0.59MPa | Rc1/8 | F900 UJR 自動溶接用継手 | ノーマルクローズ(N.C) ノーマルオープン(N.O) |
| 9.52 |
| 部品名 | 材質 |
|---|---|
| ボディ | SUS316L |
| ベローズ | インコネル718 |
| ディスクパッキン | PCTFE |
| ガスケット | NW2201(ニッケル) |
| アクチュエータ | A5056 |

( )はN.C.の寸法です。
【特長】
・空気圧シリンダー式高圧ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです
・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成し、また高圧ガス大臣認定品としても対応が可能です
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます

SMC
直動形2ポートソレノイドバルブ VX21・22・23シリーズ
4.5通常価格(税別):2,059円~

CKD
直動式2ポート電磁弁 単体 マルチレックスバルブAB31・AB41/42シリーズ
4通常価格(税別):2,986円~

SMC
小型直動2ポートソレノイドバルブ VDWシリーズ
4.8通常価格(税別):1,387円~

CKD
【在庫品多数】パイロットキック式2ポート電磁弁 マルチレックスバルブ ADK11・ADK12シリーズ
4.9通常価格(税別):8,237円~

CKD
小形直動式電磁弁 USB3シリーズ
5通常価格(税別):3,262円~

キッツ
青銅製10K空圧アクチュエータ付ボールバルブ
4.8通常価格(税別):15,979円~

ベン
PS-22型 電磁弁(蒸気・液体・空気用) 桃太郎II
4.7通常価格(税別):31,287円~

キッツ
ステンレス鋼製10K空圧アクチュエータ付ボールバルブ
4.5通常価格(税別):24,212円~

CKD
パイロット式2ポート電磁弁 マルチレックスバルブ AD11シリーズ
4.5通常価格(税別):7,199円~