真空ピンセット 導電性 Cシリーズ ウエハー用吸着チップ

吸着チップは耐薬品性、耐熱性、強靭性に優れた炭素繊維入り導電性PEEK樹脂を使用しています
【特長】
・真空ピンセット本体は物性及び導電性に優れた炭素繊維入りナイロン樹脂（トレカ）を用いています。
・また、内部バルブ部分はふっ素樹脂を使用しており、気密性を損なわない特殊成形方法により周囲を炭素繊維入りナイロンで覆う構造になっています。
・従って、従来のFシリーズと同様に軽快な弁の開閉動作が可能です（特許取得済み）。
・本体後部に接続されたナイロン製コネクターは固有抵抗値10の6乗±1乗で制御されています。
・吸着チップは耐薬品性、耐熱性、強靭性に優れた炭素繊維入り導電性PEEK樹脂を使用しており、機械加工後、熱処理、鏡面加工を施し長期間にわたる使用にも安定した性能を維持します。
・吸着チップはサイズが豊富で、各ウェハーサイズへの対応も多岐にわたって選択可能です。