メカニカル部品技術窓口
真空パッド 吸着痕防止小型タイプ VPMA バーブ継手タイプ
- 単価(税別)
- -円
- 合計(税別)
- -円(税込価格：-円)
- 出荷日
- -(参考出荷日：-円)
商品情報
外形図
製品仕様
- 固定式 真空取出口：上、バーブ継手内蔵ミニタイプ
パッド材質・用途
| 記号 | K | KE |
|---|---|---|
| 樹脂材質 | PEEK | 導電性PEEK |
| 用途 | 半導体・液晶製造装置 | 半導体・液晶製造装置、電子機器部品 |
| 体積抵抗率 | - | 105～106Ω・cm |
| 外観色 | ナチュラル | ブラック |
※体積抵抗率は、材料メーカーの公表する代表値であり、保証値ではありません。
規格表
| 型番 | チューブ内径 φD | パッド外径 φd | B | C | パッド接続記号 |
|---|---|---|---|---|---|
| VPMA10Q［5］-3B | 2 | - | 34 | 6 | -M4 |
※規格表中、型番内の［5］にはパッド樹脂材質が入ります。
※パッドホルダ隔壁部取付けナットの締付けトルクは、下記の通りとなります。
- パッド径：φ10mm→2～3N・m
- パッド径：φ20～φ30mm→5～7N・m
詳細情報
基本情報
※本シリーズはCADデータ修正中です。修正完了まで今しばらくお待ちください。
【特長】
・液晶ガラス、塗装工程、半導体製造設備の搬送に最適です。
・フレキシブルを設けた樹脂材質でワークを吸着。
・そのため、吸着痕がつきにくい。
・真空破壊時のワークの離脱性も向上します。
・樹脂パッドは、スパナと六角レンチを用いて本体を外すことなく簡単に交換できます。
・構造がシンプルな上、小型です。
・パッドサイズ、パッド材質、ホルダ形状を幅広く取り揃えております。
・「銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」を必要とする分野向けのパッドホルダを追加いたしました。
・金属部材質は銅系金属不使用、シールゴム材質にはHNBR を採用いたしました。
ご注意
- 2019年8月1日より商品規格が変更となります。旧型式→新型式確認ページはこちら
この商品を見た人は、こんな商品も見ています
最近見た商品
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
吸着パッドカテゴリの売れ筋ランキング
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
SMC
真空パッド コンパクトタイプ ZP3シリーズ
4通常価格(税別)：402円～
通常出荷日:当日出荷可能在庫品1日目～
SMC
真空パッド ZPシリーズ パッド単体
4.4通常価格(税別)：278円～
通常出荷日:当日出荷可能在庫品1日目～
ミスミ
吸着パッド単体 スタンダードタイプ・深型タイプ・小型タイプ
4.3通常価格(税別)：350円～
通常出荷日:当日出荷可能在庫品1日目
ミスミ
吸着パッド
4.2通常価格(税別)：220円～
通常出荷日:当日出荷可能在庫品1日目
ミスミ
ミニ吸着パッド
5通常価格(税別)：360円～
通常出荷日:当日出荷可能在庫品1日目
コンバム（旧：妙徳）
三段じゃばら形パッド PCG
3.6通常価格(税別)：536円～
通常出荷日:当日出荷可能在庫品1日目～
コンバム（旧：妙徳）
じゃばら形パッド PJシリーズ 保守部品（パッド）PJG
4.5通常価格(税別)：347円～
通常出荷日:当日出荷可能在庫品1日目～
日本ピスコ
真空 ベローズタイプ パッドゴム
4.4通常価格(税別)：399円～
通常出荷日:当日出荷可能在庫品1日目～
SMC
ベロウパッド ZP2シリーズ（J/MB/ZJタイプ）
4通常価格(税別)：649円～
通常出荷日:当日出荷可能在庫品1日目～