メカニカル部品技術窓口

VPD10-6Q

VPD30-6Q
| 記号 | K | KE |
|---|---|---|
| 樹脂材質 | PEEK | シリコーンゴム |
| 用途 | 半導体・液晶製造装置 | 半導体・液晶製造装置、電子機器部品 |
| 体積抵抗率 | - | 105~105Ω・cm |
| 外観色 | ナチュラル | ブラック |
| 型番 | パッド外径 φd | チューブ内径 φD | B | L1 | L2 | E | ストローク S | スプリング力 (N) | パッド接続記号 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VPD10-6Q[5]-6B | - | 4 | 64.1 | 41 | 20 | 18.5 | 6 | 4.0~7.1 | -M4 |
| VPD30-6Q[5]-6B | 30 | 4 | 64 | 40.9 | 20 | 18.5 | 6 | 7.0~12.6 | -M6 |
※本シリーズはCADデータ修正中です。修正完了まで今しばらくお待ちください。
【特長】
・液晶ガラス、塗装工程、半導体製造設備の搬送に最適です。
・フレキシブルを設けた樹脂材質でワークを吸着。
・そのため、吸着痕がつきにくい。
・真空破壊時のワークの離脱性も向上します。
・樹脂パッドは、スパナと六角レンチを用いて本体を外すことなく簡単に交換できます。
・構造がシンプルな上、小型です。
・「銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」を必要とする分野向けのパッドホルダを追加いたしました。
・金属部材質は銅系金属不使用、シールゴム材質にはHNBR を採用いたしました。
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます

SMC
真空パッド コンパクトタイプ ZP3シリーズ
4通常価格(税別):402円~

SMC
真空パッド ZPシリーズ パッド単体
4.4通常価格(税別):278円~

ミスミ
吸着パッド単体 スタンダードタイプ・深型タイプ・小型タイプ
4.3通常価格(税別):350円~

SMC
ベロウパッド ZP2シリーズ(J/MB/ZJタイプ)
4通常価格(税別):649円~

コンバム(旧:妙徳)
三段じゃばら形パッド PCG
3.6通常価格(税別):536円~

ミスミ
吸着パッド
4.2通常価格(税別):220円~

コンバム(旧:妙徳)
じゃばら形パッド PJシリーズ 保守部品(パッド)PJG
4.5通常価格(税別):347円~

日本ピスコ
真空 ベローズタイプ パッドゴム
4.4通常価格(税別):399円~

日本ピスコ
真空 ソフトベローズタイプ パッドゴム(バッド保持ホールダー付属)
4.6通常価格(税別):398円~