メカニカル部品技術窓口
【特長】薄型・軽量で繰り返し位置決め精度±0.2μm以内の高精度Z軸ステージで...
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| 型式 | − | センサ | − | モータ | − | ケーブル |
| ZMPTG725 ZMPTG725 | − − | L R | − − | G G | − − | N N |
| 型式 | センサ | モータ | ケーブル | 機械規格 | 精度規格*1 | ¥基準単価 | |||||
| Type | No. | ステージ面 (mm) | 移動量 (mm) | 自重 (kg) | 一方向 位置決め精度 | ピッチング | ヨーイング | ||||
| ZMPTG | 725 | L(正勝手) R(勝手違い) | G (高分解能) | N(なし) ケーブルは別売です。 別売りケーブルは こちらをご参照ください。 | 70×70 | 25 | 1.3 | 15μm以内 | 20"以内 | 15"以内 | 158,000 |
| 830 | 80×80 | 30 | 1.49 | 180,000 | |||||||
| 1040 | 100×100 | 40 | 2.7 | 205,000 | |||||||
| 1250 | 120×120 | 50 | 4.0 | 215,000 | |||||||
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
158,000円 ( 173,800円 ) | 8日目 |
158,000円 ( 173,800円 ) | 8日目 |
180,000円 ( 198,000円 ) | 8日目 |
180,000円 ( 198,000円 ) | 8日目 |
205,000円 ( 225,500円 ) | 8日目 |
205,000円 ( 225,500円 ) | 8日目 |
215,000円 ( 236,500円 ) | 8日目 |
215,000円 ( 236,500円 ) | 8日目 |
【特長】薄型・軽量で繰り返し位置決め精度±0.2μm以内の高精度Z軸ステージです。
| No. | 725 | 830 | 1040 | 1250 | |
| 送りねじ | ボールネジφ6,リード1 | ボールネジφ8,リード1 | |||
| ガイド | クロスローラガイド | ||||
| 分解能 | Full | 1μm | |||
| Half | 0.5μm | ||||
| 微動(1/20分割時) | 0.05μm | ||||
| 最高速度 | 10mm/sec | ||||
| 繰り返し位置決め精度 | ±0.2μm以内 | ||||
| 耐荷重*1 | 49N | 73.5N | |||
| ロストモーション | 1μm以内 | ||||
| バックラッシ | 0.5μm以内 | ||||
| 真直度 | 1μm以内 | ||||
| 平行度 | 30μm以内 | ||||
| 運動の平行度 | 10μm以内 | 15μm以内 | |||


[ ! ]破線部は標準ケーブルを使用した場合、機能しません。
| No | 725 | 830 | 1040 | 1250 | |
| モータ | タイプ | 5相ステッピングモータ 0.75A/相(オリエンタルモーター㈱) | |||
| 型式 | PK544PMB-C18(□42mm) | ||||
| ステップ角 | 0.36° | ||||
| コネクタ | 受信側適用コネクタ | HR10A-10P-12S(73)ヒロセ電機(株) | |||
| センサ | リミットセンサ | 有 | |||
| スリット原点センサ(ORG2) | - | ||||
| 原点センサ(ORG1) | 有 | ||||
| 型式 | フォトマイクロセンサ:PM-L25パナソニックデバイスSUNX㈱ | ||||
| 電源電圧 | DC5~24V ±10% | ||||
| 消費電流 | 45mA以下 (1センサあたり15mA) | ||||
| 制御出力 | NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下 50mA以下 残留電圧2V以下(負荷電流50mAの場合) 残留電圧1V以下(負荷電流16mAの場合) | ||||
| 出力ロジック | リミット、ORG1:検出(遮光)時出力トランジスタOFF(非導通) | ||||

(単位: mm)
CW方向
CCW方向
| 座標基準 | メカリミット | CWリミット | 原点 | 反端面 | CCWリミット | メカリミット | |
| ZMPTG725 | 原点復帰 | 15 | 12.3 | 0 | 2 | 13.3 | 15 |
| ZMPTG830 | 原点復帰 | 17.5 | 15.8 | 0 | 2 | 15.8 | 17.5 |
| ZMPTG1040 | 原点復帰 | 22.5 | 20.8 | 0 | 2 | 20.8 | 22.5 |
| ZMPTG1250 | 原点復帰 | 27.5 | 25.8 | 0 | 2 | 25.8 | 27.5 |
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
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