メカニカル部品技術窓口








| 型式 | − | センサ選択 | − | モータ | − | ケーブル | 構成部品 | |
| XMSG413 | − | LA5 | − | C | − | N | (センサ3個(全N.C./5V)、標準ステッピングモータ、ケーブルなし、モータドライバなし) | |
| XMSG413 | − | LB24 | − | MA | − | M | (センサ3個(全N.O./24V)、ブレーキ付ステッピングモータ、モータケーブル、モータドライバ) | |
| XMSG413 | − | LB24 | − | UA | − | U | (センサ2個(全N.O./24V)、ACサーボモータ、モータケーブル、エンコーダケーブル、サーボアンプ) |
| 型式 | センサ選択 | モータ | ケーブル | 機械規格 | 精度規格 | ||||||||||
| Type | No. | カバー 位置 | 論理 | 電圧 (V) | ステージ面 (mm) | 移動量 (mm) | 自重*2 (kg) | 一方向位置決め 精度(単軸水平設置時) | モーメント剛性[''/N・cm] | ピッチング | ヨーイング | ||||
| ピッチング | ヨーイング | ローリング | |||||||||||||
| XMSG | 413 | L (正勝手) R (勝手違い) | A (すべてN.C.) B (すべてN.O.) C (リミット スイッチはN.C. 原点センサはN.O.) | 5 24 | C(標準) D(高トルク) E(高分解能) MA*1 (ブレーキ付) PA*1 (αステップ) UA*1 (サーボモータ) | N(ケーブルなし、別売) M*1 (ブレーキ付用) P*1 (αステップ用) U*1 (サーボモータ用) [ ! ]モータ・ケーブルの組合せは概要・仕様をご参照ください。 | 40×40 | 13 | 0.50 | 6μm以内 | 0.22 | 0.17 | 0.12 | 15''以内 | 10''以内 |
| 513 | 50×50 | 0.61 | 0.14 | 0.1 | 0.06 | ||||||||||
| 615 | 60×60 | 15 | 0.73 | 0.08 | 0.07 | 0.03 | |||||||||
| 715 | 70×70 | 0.86 | 0.03 | 0.03 | 0.01 | ||||||||||
| 430 | 40×60 | 30 | 0.64 | 12μm以内 | 0.24 | 0.18 | 0.26 | 20''以内 | 15''以内 | ||||||
| 530 | 50×70 | 0.77 | 0.12 | 0.13 | 0.1 | ||||||||||
| 650 | 60×100 | 50 | 1.09 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | |||||||||
| 750 | 70×110 | 1.26 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | ||||||||||
*1:モータ選択MA、PAはドライバ、UAはアンプがセットになっております。ケーブルはそれぞれM、P、Uのみ選択可能で、N(ケーブルなし)は選択できません。
*2:モータ選択C使用時の値です。
[ ! ]モータ(C,D,E)選択時はケーブルが付属しません。>>こちらのMSCB□を別途ご用意ください。
[ ! ]その他構成部品は下記表をご参照ください。
[ ! ]ドライバ・ケーブル等の構成イメージは>>こちらをご参照ください。
[ ! ]ドライバ接続例は>>こちらをご参照ください。
| モータ | モータ型番 | ケーブル | モータドライバ ACサーボアンプ | モータケーブル | エンコーダケーブル | センサ | |||
| リミット | ORG1 | ORG2 | |||||||
| C (標準) | 5相ステッピング モータ | PK523HPB-C15 | N | 別売*3 | 別売*4 | ― | 付属*5 | ||
| D (高トルク) | PK525HPB | N | 別売*3 | 別売*4 | ― | ||||
| E (高分解能) | PK523HPMB | N | 別売*3 | 別売*4 | ― | ||||
| MA (ブレーキ付) | PKE545MC-A1 | M | RKSD503M-A (オリエンタルモータ(株)) | CC030VPFB (オリエンタルモータ(株)) | ― | PM-L25 | |||
| PA (脱調レス) | αステップ モータ | ARM24SAK | P | ARD-K (オリエンタルモータ(株)) | CC030VA2R2 (オリエンタルモータ(株)) | ― | ― | ||
| UA (高速) | ACサーボ モータ | HG-KR53 | U | MR-J4-10A (三菱電機(株)) | SVPM-J3HF1-B-3-02S | SVEM-J3HF1-B-3 | ― | ||
*3:別売モータードライバは>>こちらをご参照ください。別売自動ステージ用コントローラは>>こちらをご参照ください。
*4:別売モータケーブルは>>こちらをご参照ください。
*5:センサの組み合わせは下記「論理ごとの使用センサ」表をご参照ください。
モータ「MA」の場合、ORG2センサはPM-L25になります。
| センサ論理 | リミット | ORG1 | ORG2 |
| A (すべてN.C.) | EE-SX484 | EE-SX384 | |
| B (すべてN.O.) | EE-SX384 | EE-SX484 | |
| C (リミットN.C. / ORG1 ORG2 N.O.) | EE-SX484 | EE-SX384 | EE-SX484 |
| モータ | ケーブル |
| C,D,E | N(なし) |
| MA | M |
| PA | P |
| UA | U |
| モータ選択 | (mm/sec) | モータ選択 | (mm/sec) |
| C | 10 | MA | 20 |
| D | 30 | PA | 35 |
| E | 25 | UA | 50 |
[ ! ]お客様の使用条件により、速度、位置決め時間は
異なりますのでご注意ください。
弊社既定の参考値ですので、動作を保証するものではありません。
[ ! ]C,D,E用のケーブルは(こちら)のMSCB□参照
| 送りねじ | ボールねじφ6、リード1 |
| ガイド | リニアボールガイド |
| 分解能*1 | 2μm/パルス(Full) 1μm/パルス(Half) |
| 真直度 | 1μm以内(No.413〜715) 2μm以内(No.430〜750) |
| 繰返位置決め精度 | ±0.5μm以内 |
| 耐荷重*2 | 98N |
| ロストモーション | 1μm以内 |
| バックラッシ | 0.5μm以内 |
| 平行度 | 15μm以内 |
| モータ | タイプ | 5相ステッピングモータ 0.75A/相(オリエンタルモーター(株)) |
| ステップ角 | 0.72°(Eのみ0.36°) | |
| 受側適合コネクタ | HR10A−10P−12S(73)(ヒロセ電機㈱) | |
| センサ | 消費電流 | 100mA以下(1センサあたり25mA) |
| 制御出力 | NPNオープンコレクタ出力 DC5〜24V ±5% | |
残留電圧0.4V以下(負荷電流16mA時) | ||
| 出力論理 | N.C.…入光時ON <内部回路> K : 発光側カソード | |
[ ! ]モータ選択C,D,E使用時の仕様です。モータ選択MA、PA、UA使用時の仕様は
自動リニアボールステージ概要②(こちら)をご参照ください。

CW方向
CCW方向
| 移動量 | 座標基準 | メカリミット | CWリミット | 反端面 | 原点 | CCWリミット | メカリミット |
| 13 | 原点復帰 | 8 | 7.5 | 2 | 0 | 6.5 | 7 |
| 15 | 原点復帰 | 9 | 8.5 | 2 | 0 | 7.5 | 8 |
| 30 | 原点復帰 | 16.5 | 16 | 2 | 0 | 15 | 15.5 |
| 50 | 原点復帰 | 26.5 | 26 | 2 | 0 | 25 | 25.5 |
[ ! ]原点復帰はMSCTL102/112(コントローラ)を用いて原点復帰タイプ3を行った場合。
[ ! ]座標は設計上の値です。実際には±0.5mm程度の寸法誤差が生じることがあります。
(単位:mm)
| Type3 | CCW方向へ検出し、ORG信号のCCWサイドの検出工程を行います。 |
| Type4 | CW方向へ検出し、ORG信号のCWサイドの検出工程を行います。 |
| Type9 | Type3の実行後、TIMING信号のCCWサイドの検出工程を行います。 |
| Type10 | Type4の実行後、TIMING信号のCWサイドの検出工程を行います。 |
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
76,300円 ( 83,930円 ) | 5日目 |
79,300円 ( 87,230円 ) | 5日目 |
77,300円 ( 85,030円 ) | 5日目 |
169,300円 ( 186,230円 ) | 5日目 |
147,800円 ( 162,580円 ) | 5日目 |
216,300円 ( 237,930円 ) | 5日目 |
76,300円 ( 83,930円 ) | 5日目 |
79,300円 ( 87,230円 ) | 5日目 |
77,300円 ( 85,030円 ) | 5日目 |
169,300円 ( 186,230円 ) | 5日目 |
147,800円 ( 162,580円 ) | 5日目 |
216,300円 ( 237,930円 ) | 5日目 |
76,300円 ( 83,930円 ) | 5日目 |
79,300円 ( 87,230円 ) | 5日目 |
77,300円 ( 85,030円 ) | 5日目 |
169,300円 ( 186,230円 ) | 5日目 |
147,800円 ( 162,580円 ) | 5日目 |
216,300円 ( 237,930円 ) | 5日目 |
76,300円 ( 83,930円 ) | 5日目 |
79,300円 ( 87,230円 ) | 5日目 |
77,300円 ( 85,030円 ) | 5日目 |
169,300円 ( 186,230円 ) | 5日目 |
147,800円 ( 162,580円 ) | 5日目 |
216,300円 ( 237,930円 ) | 5日目 |
76,300円 ( 83,930円 ) | 5日目 |
79,300円 ( 87,230円 ) | 5日目 |
77,300円 ( 85,030円 ) | 5日目 |
169,300円 ( 186,230円 ) | 5日目 |
147,800円 ( 162,580円 ) | 5日目 |
216,300円 ( 237,930円 ) | 5日目 |
76,300円 ( 83,930円 ) | 5日目 |
79,300円 ( 87,230円 ) | 5日目 |
77,300円 ( 85,030円 ) | 5日目 |
169,300円 ( 186,230円 ) | 5日目 |
147,800円 ( 162,580円 ) | 5日目 |
216,300円 ( 237,930円 ) | 5日目 |
76,300円 ( 83,930円 ) | 5日目 |
79,300円 ( 87,230円 ) | 5日目 |
77,300円 ( 85,030円 ) | 5日目 |
169,300円 ( 186,230円 ) | 5日目 |
147,800円 ( 162,580円 ) | 5日目 |
216,300円 ( 237,930円 ) | 5日目 |
76,300円 ( 83,930円 ) | 5日目 |
79,300円 ( 87,230円 ) | 5日目 |
77,300円 ( 85,030円 ) | 5日目 |
169,300円 ( 186,230円 ) | 5日目 |
147,800円 ( 162,580円 ) | 5日目 |
216,300円 ( 237,930円 ) | 5日目 |
76,300円 ( 83,930円 ) | 5日目 |
79,300円 ( 87,230円 ) | 5日目 |
77,300円 ( 85,030円 ) | 5日目 |
169,300円 ( 186,230円 ) | 5日目 |
147,800円 ( 162,580円 ) | 5日目 |
216,300円 ( 237,930円 ) | 5日目 |
76,300円 ( 83,930円 ) | 5日目 |
79,300円 ( 87,230円 ) | 5日目 |
77,300円 ( 85,030円 ) | 5日目 |
169,300円 ( 186,230円 ) | 5日目 |
147,800円 ( 162,580円 ) | 5日目 |
216,300円 ( 237,930円 ) | 5日目 |
【特長】高精度・高剛性で薄さ20mmの自動X軸ステージです。
| 型式 | ¥基準単価 | ||||||
| Type | No. | モータ | |||||
| C | D | E | MA | PA | UA | ||
| XMSG | 413 | 74,100 | 76,950 | 75,050 | 164,350 | 143,450 | 209,950 |
| 513 | 76,900 | 79,800 | 77,900 | 167,200 | 146,300 | 212,800 | |
| 615 | 77,900 | 80,750 | 78,850 | 168,150 | 147,250 | 213,750 | |
| 715 | 82,600 | 85,500 | 83,600 | 172,900 | 152,000 | 218,500 | |
| 430 | 88,300 | 91,200 | 89,300 | 178,600 | 157,700 | 224,200 | |
| 530 | 92,100 | 95,000 | 93,100 | 182,400 | 161,500 | 228,000 | |
| 650 | 97,800 | 100,700 | 98,800 | 188,100 | 167,200 | 233,700 | |
| 750 | 101,600 | 104,500 | 102,600 | 191,900 | 171,000 | 237,500 | |



通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
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ミスミ
【エコノミーシリーズ】 自動ステージX軸 リニアボール
0通常価格(税別):48,270円~

駿河精機
リニアボールガイドステージ(KXG)
0通常価格(税別):82,560円~

駿河精機
クロスローラガイドステージ(KXC)
0通常価格(税別):94,273円~

中央精機
回転ステージ(自動ステージ)
0通常価格(税別):101,609円~

ミスミ
【自動】自動ステージ用ハンディーターミナル
0通常価格(税別):32,800円

駿河精機
DS102/112制御ソフトウェア(DSCONTROL-WIN)
0通常価格(税別):5,000円

駿河精機
ステッピングモータドライバ
0通常価格(税別):12,000円~

駿河精機
ハンディーターミナル DT100
0通常価格(税別):30,000円

駿河精機
ダイレクトドライブ回転ステージ (KS451)
0通常価格(税別):102,340円~