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ウェハーキャリア・トレー
ウェハーキャリア・トレーは、ウェハー搬送や保管に使用する容器などです。ウェハーキャリアはシッピングケースやシッピングボックスとも呼ばれ、ウェハーを単体で収納するものから、複数枚をまとめて収納できるものまであります。またキャリアの溝にはめてハンドルを装着し、キャリアを運ぶウェハーキャリア用のハンドルなどもあります。いずれもウェハーのサイズに適合していることが必要です。この他、ウェハーの取り扱いに使用する工具や洗浄に使用するエアガン、その他クリーンルーム用の工具などがあります。
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