メカニカル部品技術窓口
高純度ガス配管
高純度ガス配管とは、高純度の活性ガス、不活性ガスといった流体を移動・分岐・集積させる配管であり、配管形状は多岐に渡ります。
管にはSUS316LのBA管・EP管、継手にはメタルガスケット式面シール継手が主に使用されます。
金属同士のシールにより漏れを防ぎ、高精度なガス供給を実現します。
主に半導体製造において高純度のガス供給ラインで使用されるため、高いクリーン度とシール性が求められます。
ミスミでは溶接加工品が短納期、系統数ごとに配管形状を豊富にラインナップして販売しております。 もっと読む
管にはSUS316LのBA管・EP管、継手にはメタルガスケット式面シール継手が主に使用されます。
金属同士のシールにより漏れを防ぎ、高精度なガス供給を実現します。
主に半導体製造において高純度のガス供給ラインで使用されるため、高いクリーン度とシール性が求められます。
ミスミでは溶接加工品が短納期、系統数ごとに配管形状を豊富にラインナップして販売しております。 もっと読む
7 件
| メーカー |
|---|
| シリーズ名 |
| CAD |
|---|
| 通常価格(税別) |
| 通常出荷日 |
| 管種類 |
| 配管形状 |
| 系統数 |
| 材質 |
| 呼び径(ミリ(インチ)) |
| 2D/3D | 2D/3D | 2D/3D | 2D/3D | 2D/3D | 2D/3D | 2D/3D |
| - | - | - | - | - | - | - |
| 7日目 | 7日目 | 7日目 | 14日目 | 7日目 | 7日目 | 14日目 |
| 光輝焼鈍(BA管) / 電解研磨(EP管) | 光輝焼鈍(BA管) / 電解研磨(EP管) | 光輝焼鈍(BA管) / 電解研磨(EP管) | 光輝焼鈍(BA管) / 電解研磨(EP管) | 光輝焼鈍(BA管) / 電解研磨(EP管) | 光輝焼鈍(BA管) / 電解研磨(EP管) | 光輝焼鈍(BA管) / 電解研磨(EP管) |
| S / L / U | ML（L形状_角度90°固定） / MU（U形状_角度90°固定） / MZ（Z形状_角度90°固定） / MFL（L形状_角度指定） / MFZ（Z形状_角度指定） | T / H / F / Y | G / J / K | B / C / D / E | MT（角度90°固定） / MB（角度90°固定） / MFV（角度指定） | Q / R / W / X |
| 一系統 | 一系統曲げ | 二系統 | 四系統 | 三系統 | 一系統曲げ | 五系統 |
| SUS316L | SUS316L | SUS316L | SUS316L | SUS316L | SUS316L | SUS316L |
| 3.2（1/8） / 6.35（1/4） / 9.53（3/8） / 12.7（1/2） | 3.2（1/8） / 6.35（1/4） / 9.53（3/8） / 12.7（1/2） | 3.2（1/8） / 6.35（1/4） / 9.53（3/8） / 12.7（1/2） | 3.2（1/8） / 6.35（1/4） / 9.53（3/8） / 12.7（1/2） | 3.2（1/8） / 6.35（1/4） / 9.53（3/8） / 12.7（1/2） | 3.2（1/8） / 6.35（1/4） / 9.53（3/8） / 12.7（1/2） | 3.2（1/8） / 6.35（1/4） / 9.53（3/8） / 12.7（1/2） |
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