ファクトリーサプライ用品技術窓口
【特長】・マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。・...
詳細情報を確認する【特長】
・マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。
・PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。
・真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。
・フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。
・大気圧から高真空領域(10^5~10^-8 Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)です。
【用途】
・半導体や電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御
・インライン式、枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認
・高真空、超高真空装置の圧力測定
【材質】
・測定子フィラメント:白金(Pt)
【セット内容】
・SH200-A
・SWU10-R
・SH200用測定子 M45
・SWU10-R専用測定子 SWP-25
・SWU接続用ユニットケーブル 0.5m
・ISG1
・ISG1接続用ディスプレイケーブル
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます

アドバンテック(真空配管)
クランプシリーズ NWクランプ
4.7通常価格(税別):1,256円~

アドバンテック(真空配管)
NWフランジシリーズ NWブランクフランジ
4.5通常価格(税別):1,087円~

ミスミ
ミニ吸着パッド
5通常価格(税別):330円~

ミスミ
真空配管用継手 NWフランジ
5通常価格(税別):1,080円~

ミラプロ
NWフランジ(ISO-KF フランジタイプ)
5通常価格(税別):795円~

ミスミ
ミニ吸着パッド用ホルダ
5通常価格(税別):940円~

日本ピスコ
単体タイプ 真空破壊機能付 大気開放
5通常価格(税別):3,390円~

ミラプロ
NWロングフランジ(ISO-KF フランジタイプ)
5通常価格(税別):2,034円~

ミラプロ
NWブランクフランジ
4.6通常価格(税別):928円~