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※写真はイメージになり、ご選定の型番によって内容や形状が異なる場合がございます。
小型ハンディ質量流量 測定ユニット FLOW COMPO（TM）3100MFM
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販売終了
型番
61-9948-51
2023年08月に販売終了となりました。
推奨代替品はございません。
【特長】
・F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローメーターとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量測定ユニットです。
・タッチパネル式で簡単操作可能です。
・AIR用※別途ご用命があれば他の流体（Ar、CO2、H2、He、N2、O2等）でも製作可能
指定中の仕様・寸法情報
接続口径
1/4スウェージロック（※その他継手ご相談ください。）
電源
AC85～264V 48～440Hz
耐圧
980KPA（G）
流量精度
±1.0%F.S.（20℃）
接ガス部材質
SUS316L、FKM他
センサー方式
熱式センサー
対象流体
AIR用※別途ご用命があれば他の流体（Ar、CO2、H2、He、N2、O2等）でも製作可能
フルスケール
1sccm/min（20℃ 1atm 体積流量表示）（※0℃校正可能です。ご相談ください。）
商品詳細種別
測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ １ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
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