ツール用品技術窓口
※写真はイメージになり、ご選定の型番によって内容や形状が異なる場合がございます。
真空用サーモピット3MC
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販売終了
型番
2-2612-01
2023年06月に販売終了となりました。
推奨代替品はございません。
【特長】
・ウェハに貼り付けて40℃から280℃までの温度履歴管理が可能です。
・表面の凹凸を極力減らしたためプラズマの影響を受けにくくなっています。
・表面をポリイミドフィルムでカバーし、裏面印刷でインクの飛散を防止しています。
・食品添加物に認定されている石油系天然ワックスの物性変化を利用しており、鉛・水銀・クロム等環境負荷物質を含まず、安全性が高いです。
指定中の仕様・寸法情報
メーカー型番
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詳細タイプ
ワックス
型番
3MC40
精度
±2℃（175℃以下）、±3℃（180℃以上）
発色色調
淡黄→黒
発色温度
40・45・50℃
特徴
不可逆性・3温表示
入数
1箱（20枚入）
材質
表面／ポリイミドフィルム、ベース部／薄型アルミシート
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