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MEGA（R）-MINI HA 高圧コンパクトエアオペレーションバルブ
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FPR-NSD-721-6.35-2-316LPの仕様・寸法情報
本体形状
[ストレート] ストレート
本体材質
[ステンレス] SUS316L
使用流体
水 / 空気 / ガス / 薬品
供給側 接続種類
[突合せ溶接] 溶接（UJR継手）
供給側 配管パイプ径(φ)
6.35
制御側 接続種類
[突合せ溶接] 溶接（UJR継手）
制御側 配管パイプ径(φ)
6.35
ハンドル形状
丸形ハンドル
本体ライニング
なし
本体仕様
ノーマルクローズタイプ
最高使用圧力(MPa)
20.5
使用流体温度範囲(℃)
-10～40
UJR接続種類
両端UJRめす接続
シート材質
PCTFE
本体材質詳細
SUS316L（Wメルト材）
-
-
詳細情報
基本情報
【特長】
・MEGA（R）-MINI HAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成したバルブです
・従来のMEGA（R）-MINI HAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました
MEGA（R）-MINI HA 高圧コンパクトエアオペレーションバルブの型番FPR-NSD-721-6.35-2-316LPのページです。
型番FPR-NSD-721-6.35-2-316LPに関する仕様情報を記載しております。
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