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許容運動エネルギー(J)
許容運動エネルギー2(J)
~mm- 0.001
- 0.0015
- 0.002
- 0.006
- 0.007
- 0.025
- 0.039
- 0.048
- 0.081
- 0.116
- 0.240
- 0.294
- 0.320
- 0.560
- 1.100
- 1.600
- 2.9
形式
サイズ
~mm- 1
- 2
- 3
- 7
- 10
- 20
- 30
- 50
- 70
- 100
- 200
リード線(m)
~mm- 0.5
- 1
- 3
- 5
- なし
コネクタ種類
~mm- M12-4ピン
- なし
CAD
- 2D
- 3D
出荷日
- すべて
- 19日以内
ロータリテーブル ラックピニオンタイプ クリーン・低発塵 11-/20-/22-MSQシリーズ
- 一部SALE 2026/01/31まで
- 通常単価(税別)
- 24,949円～97,596円特別価格
- 税込単価
- 27,444円～107,356円特別価格
【11-シリーズ クリーンシリーズ】・クリーン環境に対応・クリーンルーム内への...
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商品情報
外形図
MSQ
■サイズ10,20,30,50 基本形／MSQB□A
■サイズ70,100,200 基本形／MSQB□A
11-／22-MSQ
■サイズ1,2,3,7 基本形／11-MSQB□A
■サイズ10,20,30,50 基本形／11-MSQB□A、22-MSQB□A
製品仕様
仕様（MSQ）
| サイズ | 10 | 20 | 30 | 50 | 70 | 100 | 200 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 使用流体 | 空気（無給油） | |||||||
| 最高使用圧力 | アジャストボルト付 | 1MPa | ||||||
| 内部アブソーバ付 | 0.6MPa注1） | |||||||
| 最低使用圧力 | 基本形 | 0.1MPa | ||||||
| 高精度形 | 0.2MPa | 0.1MPa | - | |||||
| 周囲温度および使用流体温度 | 0～60℃（ただし凍結なきこと） | |||||||
| クッション | アジャストボルト付 | ラバークッション | ||||||
| 内部アブソーバ付 | ショックアブソーバ | |||||||
| アブソーバ型番 | RBA0805-X692 | RBA1006-X692 | RBA1411-X692 | RBA2015-X821 | RBA2725-X821 | |||
| 角度調整範囲 | 0～190°注2） | |||||||
| 最大揺動角度 | 190° | |||||||
| シリンダ内径 | φ15 | φ18 | φ21 | φ25 | φ28 | φ32 | φ40 | |
| ポートサイズ | 端面ポート | M5×0.8 | Rc1/8、G1/8、NPT1/8 | |||||
| 側面ポート | M5×0.8 | |||||||
注1）アブソーバの最大許容推力によりアクチュエータの最高使用圧力が制限されます。
注2）内部アブソーバ付の揺動角度を下表の値より小さく設定しますと、アブソーバの有効ストロークよりもピストンのストロークが小さくなり、エネルギー吸収能力が低下しますのでご注意ください。
| サイズ | 10 | 20 | 30 | 50 | 70 | 100 | 200 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| エネルギー吸収能力が低下しない最小揺動角度 | 52° | 43° | 40° | 60° | 71° | 62° | 82° |
仕様（11-／22-MSQ）
| サイズ | 1 | 2 | 3 | 7 | 10 | 20 | 30 | 50 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 使用流体 | 空気（無給油） | ||||||||
| 最高使用圧力 | アジャストボルト付 | 0.7MPa | 1MPa | ||||||
| ショックアブソーバ付 | - | 0.6MPa | |||||||
| 最低使用圧力 | 基本形 | 0.1MPa | |||||||
| 高精度形 | 0.1MPa | 0.2MPa | 0.1MPa | ||||||
| 周囲温度および使用流体温度 | 0～60℃（ただし凍結なきこと） | ||||||||
| クッション | アジャストボルト付 | なし | ラバークッション | ||||||
| ショックアブソーバ付 | - | ショックアブソーバ | |||||||
| 許容運動エネルギー （mJ） | アジャストボルト付 | 1 | 1.5 | 2 | 6 | 7 | 25 | 48 | 81 |
| ショックアブソーバ付 | - | 39 | 116 | 116 | 294 | ||||
| 角度調整範囲 | 0～190℃ | ||||||||
| 最大揺動角度 | 190℃ | ||||||||
| 揺動時間調整範囲 | アジャストボルト付 | 0.2～0.7s/90° | 0.2～1.0s/90° | ||||||
| ショックアブソーバ付 | - | 0.2～0.7s/90° | |||||||
| ポートサイズ | M3×0.5 | M5×0.8 | Rc1/8・M5×0.8 | ||||||
| 使用グリース | 11-：ふっ素系グリース 22-：リチウム石けん基系グリース | ||||||||
| 清浄度クラス（ISOクラス） | 11-：クラス3 22-：クラス3 | ||||||||
11-／22-MSQ 型番表示方法
■サイズ1,2,3,7
■サイズ10,20,30,50
規格表
単位：mm
MSQ
■サイズ10,20,30,50 基本形／MSQB□A
| サイズ | AA | A | AU | AV | AW | AX | AY | BA | BB | BC | BD | BE | CA | CB | D | DD | DE | DF |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 10 | 55.4 | 50 | 6.6 | 20 | 15.5 | 12 | 4 | 9.5 | 34.5 | 27.8 | 60 | 27 | 4.5 | 28.5 | 45h9 | 46h9 | 20H9 | 6 |
| 20 | 70.8 | 65 | 7.6 | 27.5 | 16 | 14 | 5 | 12 | 46 | 30 | 76 | 34 | 6 | 30.5 | 60h9 | 61h9 | 28H9 | 9 |
| 30 | 75.4 | 70 | 7.6 | 29 | 18.5 | 14 | 5 | 12 | 50 | 32 | 84 | 37 | 6.5 | 33.5 | 65h9 | 67h9 | 32H9 | 12 |
| 50 | 85.4 | 80 | 10 | 28 | 22 | 19 | 6 | 15.5 | 63 | 37.5 | 100 | 50 | 10 | 37.5 | 75h9 | 77h9 | 35H9 | 13 |
| サイズ | DG | FA | FB | FC | FD | H | J | JA | JB | JC | JD | JJ | JU | P | Q |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 10 | 15H9 | 8 | 4 | 3 | 4.5 | 13 | 6.8 | 11 | 6.5 | M8×1.25 | 12 | M5×0.8 | M8×1 | M5×0.8 | 34 |
| 20 | 17H9 | 10 | 6 | 2.5 | 6.5 | 17 | 8.6 | 14 | 8.5 | M10×1.5 | 15 | M6×1 | M10×1 | M5×0.8 | 37 |
| 30 | 22H9 | 10 | 4.5 | 3 | 6.5 | 17 | 8.6 | 14 | 8.5 | M10×1.5 | 15 | M6×1 | M10×1 | Rc1/8※ | 40 |
| 50 | 26H9 | 12 | 5 | 3 | 7.5 | 20 | 10.5 | 18 | 10.5 | M12×1.75 | 18 | M8×1.25 | M14×1.5 | Rc1/8※ | 46 |
| サイズ | S | SD | SE | SF | SU | UU | WA | WB | WC | WD | WE | WF | XA | XB | XC | YA | YB | YC |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 10 | 92 | 9 | 13 | 45 | 17.7 | 47 | 15 | 3H9 | 3.5 | M5×0.8 | 8 | 32 | 27 | 3H9 | 3.5 | 19 | 3H9 | 3.5 |
| 20 | 117 | 10 | 12 | 60 | 25 | 54 | 20.5 | 4H9 | 4.5 | M6×1 | 10 | 43 | 36 | 4H9 | 4.5 | 24 | 4H9 | 4.5 |
| 30 | 127 | 11.5 | 14 | 65 | 25 | 57 | 23 | 4H9 | 4.5 | M6×1 | 10 | 48 | 39 | 4H9 | 4.5 | 28 | 4H9 | 4.5 |
| 50 | 152 | 14.5 | 15 | 75 | 31.4 | 66 | 26.5 | 5H9 | 5.5 | M8×1.25 | 12 | 55 | 45 | 5H9 | 5.5 | 33 | 5H9 | 5.5 |
※Rc1/8以外に、G1/8、NPT1/8も選択可能です。
■サイズ70,100,200 基本形／MSQB□A
| サイズ | AA | AB | A | AV | AW | AX | AY | BA | BB | BC | BD | BE | CB | D | DD | DE |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 70 | 90 | 92 | 84 | 42 | 25.5 | 27 | 8 | 17 | 75 | 44.5 | 110 | 57 | 36 | 88h9 | 90h9 | 46H9 |
| 100 | 101 | 102 | 95 | 50 | 29.5 | 27 | 8 | 17 | 85 | 50.5 | 130 | 66 | 42 | 98h9 | 100h9 | 56H9 |
| 200 | 119 | 120 | 113 | 60 | 36.5 | 36 | 10 | 24 | 103 | 65.5 | 150 | 80 | 57 | 116h9 | 118h9 | 64H9 |
| サイズ | DF | DG | FA | FB | FC | FD | H | J | JA | JB | JC | JD | JJ | JK | JU | Q | S |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 70 | 16 | 22H9 | 12.5 | 5 | 3.5 | 9 | 22 | 10.4 | 17.5 | 10.5 | M12×1.75 | 18 | M8×1.25 | 10 | M20×1.5 | 53 | 170 |
| 100 | 19 | 24H9 | 14.5 | 6 | 3.5 | 12 | 27 | 10.4 | 17.5 | 10.5 | M12×1.75 | 18 | M8×1.25 | 10 | M20×1.5 | 59 | 189 |
| 200 | 24 | 32H9 | 16.5 | 9 | 5.5 | 15 | 32 | 14.2 | 20 | 12.5 | M16×2 | 25 | M12×1.75 | 13 | M27×1.5 | 74 | 240 |
| サイズ | SD | SF | SU | UU | WA | WB | WC | WD | WE | WF | XA | XB | XC | YA | YB | YC |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 70 | 18 | 79 | 34.2 | 75 | 32.5 | 5H9 | 5.5 | M8×1.25 | 12.5 | 67 | 54 | 5H9 | 3.5 | 39 | 5H9 | 3.5 |
| 100 | 22 | 90 | 34.3 | 86 | 37.5 | 6H9 | 6.5 | M10×1.5 | 14.5 | 77 | 59 | 6H9 | 4.5 | 49 | 6H9 | 4.5 |
| 200 | 29 | 108 | 40.2 | 106 | 44 | 8H9 | 8.5 | M12×1.75 | 16.5 | 90 | 69 | 8H9 | 4.5 | 54 | 8H9 | 6.5 |
11-／22-MSQ
■サイズ1,2,3,7 基本形／11-MSQB□A
| サイズ | A | AU | AV | AW | AX | AY | BA | BB | BC | BD | BE | BG | BH | BI | BJ | BK | D | DD | DE |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 28 | 2.8 | 11 | 8.2 | 5.5 | 1.5 | 35 | 39.6 | 4.5 | 32 | 17 | 11 | 8.2 | 30 | 4.5 | 5.3 | 27h9 | 27.5h9 | 14H9 |
| 2 | 30 | 3.6 | 12.6 | 9.2 | 7 | 2 | 37 | 45.1 | 5.5 | 34 | 18.5 | 12.6 | 9.2 | 35 | 4.5 | 7.5 | 29h9 | 29.5h9 | 14H9 |
| 3 | 34.5 | 4.4 | 15.5 | 10.5 | 8 | 2.5 | 43 | 46.7 | 5.5 | 38 | 23 | 15.5 | 10.5 | 40 | 4.5 | 9.5 | 33h9 | 34h9 | 17H9 |
| 7 | 41 | 4.8 | 18.4 | 12.2 | 10 | 3 | 50 | 59.2 | 5.5 | 45 | 30 | 18.4 | 12.2 | 50 | 5 | 7 | 39h9 | 40h9 | 20H9 |
| サイズ | FA | FB | FD | H | J | JA | JB | JC | JD | JE | JF | JG | JJ | JK | JU | P |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 4.8 | 2 | 3.7 | 9 | 3.3 | 6 | 3.5 | M4×0.7 | 2.2 | 5.3 | M4×0.7 | 4 | M3×0.5 | 3.5 | M3×0.5 | M3×0.5 |
| 2 | 5.3 | 2.5 | 4.2 | 10 | 3.3 | 6 | 3.5 | M4×0.7 | 2.2 | 5.3 | M4×0.7 | 4 | M3×0.5 | 3.5 | M4×0.7 | M3×0.5 |
| 3 | 5.3 | 2.5 | 4.2 | 10 | 4.2 | 7.5 | 4.5 | M5×0.8 | 2.5 | 6 | M4×0.7 | 4 | M3×0.5 | 3.5 | M5×0.8 | M3×0.5 |
| 7 | 6.5 | 2.5 | 4.5 | 11.5 | 4.2 | 7.5 | 4.5 | M5×0.8 | 2.5 | 6 | M5×0.8 | 5 | M4×0.7 | 4.5 | M6×1 | M5×0.8 |
| サイズ | PA | Q | S | SD | SF | SU | UU | WA | WB | WC | WD | WE | WF | XA | XB | XC | YA | YB | YC |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | M3×0.5 | 16 | 50.5 | 10.8 | 24.4 | 9.4 | 25 | 9.5 | 2H9 | 2 | M3×0.5 | 4.8 | 20 | 22.5 | 2H9 | 2 | 11 | 2H9 | 2 |
| 2 | M3×0.5 | 18 | 56 | 13.4 | 26.2 | 11.3 | 28 | 10 | 2H9 | 2 | M3×0.5 | 5.3 | 21 | 24.5 | 2H9 | 2 | 11.5 | 2H9 | 2 |
| 3 | M3×0.5 | 20.5 | 60 | 15.2 | 31 | 11.8 | 30.5 | 12 | 2H9 | 2 | M3×0.5 | 5.3 | 25 | 27 | 2H9 | 2 | 13.5 | 2H9 | 2 |
| 7 | M5×0.8 | 23 | 73.5 | 15.4 | 37.4 | 14.9 | 34.5 | 14 | 3H9 | 3 | M4×0.7 | 6.5 | 29 | 32.5 | 3H9 | 3 | 15.5 | 3H9 | 3 |
■サイズ10,20,30,50 基本形／11-MSQB□A、22-MSQB□A
| サイズ | AA | A | AU | AV | AW | AX | AY | BA | BB | BC | BD | BE | CA | CB | D | DD | DE |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 10 | 55.4 | 50 | 6.6 | 20 | 15.5 | 12 | 4 | 9.5 | 34.5 | 27.8 | 60 | 27 | 4.5 | 28.5 | 45h9 | 46h9 | 20H9 |
| 20 | 70.8 | 65 | 7.6 | 27.5 | 16 | 14 | 5 | 12 | 46 | 29 | 76 | 34 | 6 | 30.5 | 60h9 | 61h9 | 28H9 |
| 30 | 75.4 | 70 | 7.6 | 29 | 18.5 | 14 | 5 | 12 | 50 | 32 | 84 | 37 | 6.5 | 33.5 | 65h9 | 67h9 | 32H9 |
| 50 | 85.4 | 80 | 10 | 38 | 22 | 19 | 6 | 15.5 | 63 | 37.5 | 100 | 50 | 10 | 37.5 | 75h9 | 77h9 | 35H9 |
| サイズ | DF | DG | FA | FB | H | HC | J | JA | JB | JC | JD | JJ | JU | P | Q | S |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 10 | 35h9 | 17 | 8 | 4 | 20 | 5 | 6.8 | 11 | 6.5 | M8×1.25 | 12 | M5×0.8 | M8×1 | M5×0.8 | 34 | 92 |
| 20 | 40h9 | 19 | 10 | 6 | 22 | 6 | 8.6 | 14 | 8.5 | M10×1.5 | 15 | M6×1 | M10×1 | M5×0.8 | 37 | 117 |
| 30 | 48h9 | 24 | 10 | 4.5 | 22 | 6 | 8.6 | 14 | 8.5 | M10×1.5 | 15 | M6×1 | M10×1 | Rc1/8 | 40 | 127 |
| 50 | 54h9 | 28 | 12 | 5 | 24 | 7 | 10.5 | 18 | 10.5 | M12×1.75 | 18 | M8×1.25 | M14×1.5 | Rc1/8 | 46 | 152 |
| サイズ | SD | SE | SF | SU | UU | WA | WB | WC | WD | WE | WF | XA | XB | XC | YA | YB | YC |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 10 | 9 | 13 | 45 | 17.7 | 59 | 15 | 3H9 | 3.5 | M5×0.8 | 8 | 32 | 27 | 3H9 | 3.5 | 19 | 3H9 | 3.5 |
| 20 | 10 | 12 | 60 | 25 | 65 | 20.5 | 4H9 | 4.5 | M6×1 | 10 | 43 | 36 | 4H9 | 4.5 | 24 | 4H9 | 4.5 |
| 30 | 11.5 | 14 | 65 | 25 | 68 | 23 | 4H9 | 4.5 | M6×1 | 10 | 48 | 39 | 4H9 | 4.5 | 28 | 4H9 | 4.5 |
| 50 | 14.5 | 15 | 75 | 31.4 | 77 | 26.5 | 5H9 | 5.5 | M8×1.25 | 12 | 55 | 45 | 5H9 | 5.5 | 33 | 5H9 | 5.5 |
商品特長詳細
クリーンシリーズ（11-MSQ）
- ボディ側面のバキュームポートから真空吸引することで、製品内部の発塵をクリーンルーム内に飛散させません。
- クリーンシリーズには回転中心部の中空穴はありません。
型番リスト
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
24,949円 ( 27,444円 ) | 19日目 |
30,214円 ( 33,235円 ) | 19日目 |
29,499円 ( 32,449円 ) | 19日目 |
30,035円 ( 33,039円 ) | 19日目 |
29,947円 ( 32,942円 ) | 19日目 |
29,678円 ( 32,646円 ) | 19日目 |
30,213円 ( 33,234円 ) | 19日目 |
27,582円 ( 30,340円 ) | 19日目 |
32,501円 ( 35,751円 ) | 19日目 |
34,383円 ( 37,821円 ) | 19日目 |
29,947円 ( 32,942円 ) | 19日目 |
29,679円 ( 32,647円 ) | 19日目 |
30,213円 ( 33,234円 ) | 19日目 |
24,949円 ( 27,444円 ) | 19日目 |
29,499円 ( 32,449円 ) | 19日目 |
30,213円 ( 33,234円 ) | 19日目 |
29,947円 ( 32,942円 ) | 19日目 |
27,448円 ( 30,193円 ) | 19日目 |
30,213円 ( 33,234円 ) | 19日目 |
25,350円 ( 27,885円 ) | 19日目 |
29,902円 ( 32,892円 ) | 19日目 |
30,884円 ( 33,972円 ) | 19日目 |
30,080円 ( 33,088円 ) | 19日目 |
32,945円 ( 36,240円 ) | 19日目 |
30,616円 ( 33,678円 ) | 19日目 |
25,350円 ( 27,885円 ) | 19日目 |
30,437円 ( 33,481円 ) | 19日目 |
27,890円 ( 30,679円 ) | 19日目 |
30,615円 ( 33,677円 ) | 19日目 |
31,151円 ( 34,266円 ) | 19日目 |
27,849円 ( 30,634円 ) | 19日目 |
30,080円 ( 33,088円 ) | 19日目 |
33,188円 ( 36,507円 ) | 19日目 |
27,535円 ( 30,289円 ) | 19日目 |
32,089円 ( 35,298円 ) | 19日目 |
33,875円 ( 37,263円 ) | 19日目 |
32,625円 ( 35,888円 ) | 19日目 |
32,267円 ( 35,494円 ) | 19日目 |
35,314円 ( 38,845円 ) | 19日目 |
36,039円 ( 39,643円 ) | 19日目 |
32,534円 ( 35,787円 ) | 19日目 |
27,535円 ( 30,289円 ) | 19日目 |
35,582円 ( 39,140円 ) | 19日目 |
32,534円 ( 35,787円 ) | 19日目 |
36,074円 ( 39,681円 ) | 19日目 |
32,802円 ( 36,082円 ) | 19日目 |
32,803円 ( 36,083円 ) | 19日目 |
36,954円 ( 40,649円 ) | 19日目 |
29,408円 ( 32,349円 ) | 19日目 |
33,424円 ( 36,766円 ) | 19日目 |
33,959円 ( 37,355円 ) | 19日目 |
34,495円 ( 37,945円 ) | 19日目 |
37,013円 ( 40,714円 ) | 19日目 |
34,941円 ( 38,435円 ) | 19日目 |
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詳細情報
基本情報
【11-シリーズ クリーンシリーズ】
・クリーン環境に対応
・クリーンルーム内への発塵を防止
【20-シリーズ 銅系・フッ素系不可仕様】
・銅材質、フッ素材質を嫌う環境での使用に対応
・外形寸法は標準品と同一
【22-シリーズ 銅・フッ素・シリコン系不可+低発塵】
・銅系、フッ素系、シリコン系材質の規制のある環境に対応
・構造はクリーンシリーズと同等（グリース、包装形態はクリーンシリーズと異なります）
ご注意
- 2025年3月1日工場出荷分よりスイッチの色味が変更となりました。 スイッチの色味は選定・交換不可となります。 旧品ご購入希望の方はスイッチ単品で注文をお願いいたします。（在庫限り）
- スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
- 商品画像は代表画像を掲載しています。詳細形状はカタログをご参照ください。
- CADデータは、一部の型番には対応しておりません。
ロータリテーブル ラックピニオンタイプ クリーン・低発塵 11-/20-/22-MSQシリーズのレビュー
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