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オプション仕様
~mm- DI制御キット
- DI制御キット、循環液自動回収機能
- NPT継手
- NPT継手、DI制御キット
- NPT継手、循環液自動回収機能
- なし
- アナログ通信
- アナログ通信、DI制御キット
- アナログ通信、DI制御キット、循環液自動回収機能
- アナログ通信、NPT継手、DI制御キット
- アナログ通信、デバイスネット通信、NPT継手、SI単位固定、DI制御キット、循環液自動回収機能
- アナログ通信、循環液自動回収機能
- デバイスネット通信
- デバイスネット通信、DI制御キット
- デバイスネット通信、DI制御キット、循環液自動回収機能
- デバイスネット通信、NPT継手、DI制御キット、循環液自動回収機能
- デバイスネット通信、NPT継手、SI単位固定
- デバイスネット通信、NPT継手、SI単位固定、DI制御キット、循環液自動回収機能
- デバイスネット通信、NPT継手、循環液自動回収機能
- デバイスネット通信、循環液自動回収機能
- 循環液自動回収機能
ポンプインバータ制御
~mmタイプ
~mm出荷日
- すべて
- 18日以内
- 19日以内
循環液温調装置 水冷却式サーモチラー エチレングリコールタイプ HRWシリーズ
- 一部SALE 2026/01/31まで
- 通常単価(税別)
- 2,167,875円～3,468,601円特別価格
- 税込単価
- 2,384,663円～3,815,461円特別価格
工場内循環水との直接熱交換器。【特長】・冷凍機が要らない温度範囲での温調用・高...
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商品情報
外形図
注）DI制御キット（オプション記号Y）をご指定の場合に使用します。
製品仕様
| 型番 | HRW002-H1 HRW002-H1S | HRW008-H1 HRW008-H1S | HRW015-H1 HRW015-H1S | HRW030-H1 HRW030-H1S | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 冷却方式 | 水冷却式 | |||||
| 使用周囲温度、湿度注1） ℃ | 温度：10～35、湿度：30～70%RH | |||||
| 循環液系 | 循環液注2） | エチレングリコール60%水溶液 | ||||
| 設定温度範囲注1） ℃ | 20～90 | |||||
| 冷却能力（50Hz／60Hz共通） kW | 2 | 8 | 15 | 27 | ||
| 条件 | 循環液温度 ℃ | 放熱水温度+15 | ||||
| 放熱水温度 ℃ | 10～35 | |||||
| 循環液定格流量 L/min | 4 | 15 | 30 | 40 | ||
| 放熱水必要流量 L/min | 10 | 15 | 25 | 40 | ||
| 温度安定性注3） ℃ | ±0.3 | |||||
| ポンプ能力注4）（50／60Hz） MPa | 0.35／0.55 （4L/min時） | 0.45／0.65（15L/min時） | 0.40／0.60（30L/min時） | 0.35／0.55（40L/min時） | ||
| 循環液流量設定範囲注5） L/min | 3～16 | 9～50 | ||||
| タンク容量注6） L | 約13 | |||||
| 循環液回収タンク容量注7） L | 12 | |||||
| 接続口径 | Rc3/4 | |||||
| 接液部材質 | ニッケルブレージング（熱交換器）、ステンレス銅、EPDM、シリコーン、PPS、ふっ素樹脂 | |||||
| 放熱水系 | 温度範囲 ℃ | 10～35 | ||||
| 必要流量注8） Lmin | 10 | 15 | 25 | 40 | ||
| 入口圧力範囲 MPa | 0.3～0.7 | |||||
| 接続口径 | Rc3/4 | |||||
| 接液部材質 | ニッケルブレージング（熱交換器）、ステンレス鋼、EPDM、シリコーン、青銅、黄銅、NBR | |||||
| 電気系 | 電源 | 3相 AC200/200～208V±10% | ||||
| 最大運転電流 A | 26 | |||||
| ブレーカ容量 A | 30 | |||||
| 通信 | シリアルRS-485（Dsub-9Pin）および接点入出力（Dsub-25Pin） | |||||
| 寸法注9） mm | W380×D665×H860 | |||||
| 質量注10） kg | 約90 | |||||
- 注1）結露しない条件でご使用ください。
- 注2）純粋なエチレングリコールを清水で希釈してご使用ください。接液部材質を侵す防腐剤などの添加剤入りは使用できません。
- 注3）循環液、放熱水ともに定格流量で循環液吐出口と戻り口を直結した場合の本装置出口温度。設置環境、電源、放熱水が仕様範固内かつ安定している場合。外部負荷安定後（HRW030-H1のみ無負荷安定後）、10分経過時の数値です。DI制御キット（オプション記号：Y）をご使用の場合や、その他の使用条件によっては外れる場合があります。
- 注4）循環液温度20℃時の循環液吐出口での能力です。60Hz時の能力が、HRW□□□-H1S（ポンプインバータタイプ）での最大ポンプ能力となります。
- 注5）HRW□□□-H1S（ポンプインパータタイプ）のみ有効です。
- 注6）サーモチラー単体で運転するための最低必要量です（循環液温度：20℃、サーモチラー内部の配管や熱交換器分を含む）。
- 注7）循環液自動回収機能（オプション記号：Z）を選択することで設置されます。外部配管内部の循環液の回収に使用します。
- 注8）冷却能力、温度安定性に記載の性能を得るために必要な流量です。
- 注9）パネル間の寸法です。ブレーカハンドル等の突起物は含みません。
- 注10）循環液を含まない乾燥状態での質量です。
型式表示方法
規格表
単位：mm
| 型番 | A | B | C | D |
|---|---|---|---|---|
| HRW002-H1 HRW008-H1 HRW015-H1 HRW030-H1 | 380 | 665 | 860 | φ18.5～20.5 |
型番リスト
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
2,167,875円1,951,087円 ( 2,146,196円 ) | 18日目 |
2,282,438円2,054,194円 ( 2,259,613円 ) | 18日目 |
2,264,814円2,038,332円 ( 2,242,165円 ) | 18日目 |
2,525,663円2,273,096円 ( 2,500,406円 ) | 18日目 |
2,426,963円2,184,266円 ( 2,402,693円 ) | 18日目 |
2,206,662円1,985,995円 ( 2,184,595円 ) | 18日目 |
2,287,726円2,058,953円 ( 2,264,848円 ) | 18日目 |
2,402,288円2,162,059円 ( 2,378,265円 ) | 18日目 |
2,186,404円1,967,763円 ( 2,164,539円 ) | 18日目 |
2,308,875円2,077,987円 ( 2,285,786円 ) | 18日目 |
2,423,438円2,181,094円 ( 2,399,203円 ) | 18日目 |
2,682,526円2,414,273円 ( 2,655,700円 ) | 18日目 |
2,684,289円2,415,860円 ( 2,657,446円 ) | 18日目 |
2,405,813円2,165,231円 ( 2,381,754円 ) | 18日目 |
2,666,664円2,399,997円 ( 2,639,997円 ) | 18日目 |
2,328,263円2,095,436円 ( 2,304,980円 ) | 18日目 |
2,567,964円2,311,167円 ( 2,542,284円 ) | 18日目 |
2,828,814円2,545,932円 ( 2,800,525円 ) | 18日目 |
2,428,726円2,185,853円 ( 2,404,438円 ) | 18日目 |
2,198,673円1,978,805円 ( 2,176,686円 ) | 18日目 |
2,802,375円2,522,137円 ( 2,774,351円 ) | 18日目 |
3,063,226円2,756,903円 ( 3,032,593円 ) | 18日目 |
2,525,663円2,273,096円 ( 2,500,406円 ) | 18日目 |
2,784,751円2,506,275円 ( 2,756,903円 ) | 18日目 |
2,786,514円2,507,862円 ( 2,758,648円 ) | 18日目 |
2,224,026円2,001,623円 ( 2,201,785円 ) | 18日目 |
2,687,814円2,419,032円 ( 2,660,935円 ) | 18日目 |
2,948,663円2,653,796円 ( 2,919,176円 ) | 18日目 |
2,467,500円2,220,750円 ( 2,442,825円 ) | 18日目 |
2,582,064円2,323,857円 ( 2,556,243円 ) | 18日目 |
2,860,538円2,574,484円 ( 2,831,932円 ) | 18日目 |
2,841,152円2,557,036円 ( 2,812,740円 ) | 18日目 |
2,564,438円2,307,994円 ( 2,538,793円 ) | 18日目 |
3,103,764円2,793,387円 ( 3,072,726円 ) | 18日目 |
2,825,288円2,542,759円 ( 2,797,035円 ) | 18日目 |
2,745,976円2,471,378円 ( 2,718,516円 ) | 18日目 |
2,726,588円2,453,929円 ( 2,699,322円 ) | 18日目 |
2,728,351円2,455,515円 ( 2,701,067円 ) | 18日目 |
2,587,351円2,328,615円 ( 2,561,477円 ) | 18日目 |
2,701,913円2,431,721円 ( 2,674,893円 ) | 18日目 |
2,961,000円2,664,900円 ( 2,931,390円 ) | 18日目 |
2,684,289円2,415,860円 ( 2,657,446円 ) | 18日目 |
2,337,328円2,103,595円 ( 2,313,955円 ) | 18日目 |
2,387,007円2,148,306円 ( 2,363,137円 ) | 19日目 |
3,204,225円2,883,802円 ( 3,172,182円 ) | 18日目 |
3,107,289円2,796,560円 ( 3,076,216円 ) | 18日目 |
2,848,201円2,563,380円 ( 2,819,718円 ) | 18日目 |
2,714,251円2,442,825円 ( 2,687,108円 ) | 18日目 |
2,828,814円2,545,932円 ( 2,800,525円 ) | 18日目 |
2,811,189円2,530,070円 ( 2,783,077円 ) | 18日目 |
3,072,038円2,764,834円 ( 3,041,317円 ) | 18日目 |
2,733,638円2,460,274円 ( 2,706,301円 ) | 18日目 |
2,992,726円2,693,453円 ( 2,962,798円 ) | 18日目 |
2,973,338円2,676,004円 ( 2,943,604円 ) | 18日目 |
2,442,521円2,198,268円 ( 2,418,095円 ) | 18日目 |
2,834,101円 ( 3,117,511円 ) | 18日目 |
2,948,663円2,653,796円 ( 2,919,176円 ) | 18日目 |
2,943,181円2,648,862円 ( 2,913,748円 ) | 18日目 |
3,468,601円3,121,740円 ( 3,433,914円 ) | 18日目 |
3,209,513円2,888,561円 ( 3,177,417円 ) | 18日目 |
詳細情報
基本情報
工場内循環水との直接熱交換器。
【特長】
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロセス装置に実績多数
・UL、SEMI規格適合、CEマーキング
・インバータタイプの選択可能
循環液温調装置 水冷却式サーモチラー エチレングリコールタイプ HRWシリーズのレビュー
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