メカニカル部品技術窓口

注)DI制御キット(オプション記号Y)をご指定の場合に使用します。
| 型番 | HRW002-H HRW002-HS | HRW008-H HRW008-HS | HRW015-H HRW015-HS | HRW030-H HRW030-HS | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 冷却方式 | 水冷却式 | |||||
| 使用周囲温度、湿度注1) ℃ | 温度:10~35、湿度:30~70%RH | |||||
| 循環液系 | 循環液注2) | Fluorinert™ FC-40/GALDEN®HT200 | ||||
| 設定温度範囲注1) ℃ | 20~90 | |||||
| 冷却能力(50Hz/60Hz共通) kW | 2 | 8 | 15 | 29 | ||
| 条件 | 循環液温度 ℃ | 放熱水温度+15 | ||||
| 放熱水温度 ℃ | 10~35 | |||||
| 循環液定格流量 L/min | 4 | 30 | 40 | 40 | ||
| 放熱水必要流量 L/min | 10 | 20 | 25 | 40 | ||
| 温度安定性注3) ℃ | ±0.3 | |||||
| ポンプ能力注4)(50/60Hz) MPa | 0.40/0.60(4L/min時) | 0.45/0.65(30L/min時) | 0.40/0.60(40L/min時) | 0.40/0.60(40L/min時) | ||
| 循環液流量設定範囲注5) L/min | 3~16 | 9~50 | ||||
| タンク容量注6) L | 約13 | 約14 | ||||
| 循環液回収タンク容量注7) L | 12 | |||||
| 接続口径 | Rc3/4 | |||||
| 接液部材質 | 銅ブレージング(熱交換器)、ステンレス鋼、EPDM、シリコーン、PPS、ふっ素樹脂 | |||||
| 放熱水系 | 温度範囲 ℃ | 10~35 | ||||
| 必要流量注8) L/min | 10 | 20 | 25 | 40 | ||
| 入口圧力範囲 MPa | 0.3~0.7 | |||||
| 接続口径 | Rc3/4 | |||||
| 接液部材質 | 銅ブレージング(熱交換器)、ステンレス鋼、EPDM、シリコーン、青銅、黄銅、NBR | |||||
| 電気系 | 電源 | 3相 AC200/200~208V±10% | ||||
| 最大運転電流 A | 26 | |||||
| ブレーカ容量A | 30 | |||||
| 通信機能 | シリアルRS-485(Dsub-9Pin)および接点入出力(Dsub-25Pin) | |||||
| 寸法注9) mm | W380×D665×H860 | |||||
| 質量注10) kg | 約90 | 約100 | ||||

| 型番 | A | B | C | D |
|---|---|---|---|---|
| HRW002-H HRW008-H HRW015-H HRW030-H | 380 | 665 | 860 | φ18.5~20.5 |
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
2,185,501円 ( 2,404,051円 ) | 18日目 |
2,300,064円 ( 2,530,070円 ) | 18日目 |
2,560,914円 ( 2,817,005円 ) | 18日目 |
2,282,438円 ( 2,510,682円 ) | 18日目 |
2,305,351円 ( 2,535,886円 ) | 18日目 |
2,419,913円 ( 2,661,904円 ) | 18日目 |
2,680,764円 ( 2,948,840円 ) | 18日目 |
2,402,288円 ( 2,642,517円 ) | 18日目 |
2,566,200円 ( 2,822,820円 ) | 18日目 |
2,361,751円 ( 2,597,926円 ) | 18日目 |
2,476,313円 ( 2,723,944円 ) | 18日目 |
2,495,701円 ( 2,745,271円 ) | 18日目 |
2,235,496円 ( 2,459,046円 ) | 19日目 |
2,737,164円 ( 3,010,880円 ) | 18日目 |
2,458,689円 ( 2,704,558円 ) | 18日目 |
2,738,925円 ( 3,012,818円 ) | 18日目 |
2,719,538円 ( 2,991,492円 ) | 18日目 |
2,381,138円 ( 2,619,252円 ) | 18日目 |
2,481,601円 ( 2,729,761円 ) | 18日目 |
2,596,164円 ( 2,855,780円 ) | 18日目 |
2,261,144円 ( 2,487,258円 ) | 18日目 |
2,857,014円 ( 3,142,715円 ) | 18日目 |
2,520,376円 ( 2,772,414円 ) | 18日目 |
2,634,938円 ( 2,898,432円 ) | 18日目 |
2,361,707円 ( 2,597,878円 ) | 18日目 |
2,179,169円 ( 2,397,086円 ) | 18日目 |
2,895,788円 ( 3,185,367円 ) | 18日目 |
2,640,225円 ( 2,904,248円 ) | 18日目 |
2,754,789円 ( 3,030,268円 ) | 18日目 |
3,015,638円 ( 3,317,202円 ) | 18日目 |
2,998,013円 ( 3,297,814円 ) | 18日目 |
2,784,751円 ( 3,063,226円 ) | 18日目 |
2,899,313円 ( 3,189,244円 ) | 18日目 |
3,160,164円 ( 3,476,180円 ) | 18日目 |
2,579,986円 ( 2,837,985円 ) | 18日目 |
2,904,601円 ( 3,195,061円 ) | 18日目 |
3,019,163円 ( 3,321,079円 ) | 18日目 |
3,280,014円 ( 3,608,015円 ) | 18日目 |
3,001,539円 ( 3,301,693円 ) | 18日目 |
3,262,388円 ( 3,588,627円 ) | 18日目 |
2,582,827円 ( 2,841,110円 ) | 19日目 |
工場内循環水との直接熱交換器。
【特長】
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロセス装置に実績多数
・UL、SEMI規格適合、CEマーキング
・インバータタイプの選択可能
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます

ミスミ
耐熱端子台
4.4通常価格(税別):1,210円~

ミスミ
ユニバーサルリレー ソルダ端子タイプ
4.7通常価格(税別):1,970円

SMC
循環液温調装置 サーモチラー ベーシックタイプ HRSEシリーズ
0通常価格(税別):339,988円~

ミスミ
温度センサ スタンダードタイプ
4.6通常価格(税別):3,320円~

ミスミ
カートリッジヒータ 固定タイプ
3.9通常価格(税別):2,260円~

ミスミ
温度センサ取付部品
4.6通常価格(税別):920円~

ミスミ
カートリッジヒータ-L寸・W数・フランジ選択-
4.2
ミスミ
ヒートシンク
3.9
ミスミ
K熱電対用コネクタ
4.3通常価格(税別):1,610円~