メカニカル部品技術窓口
工場内循環水との直接熱交換器。【特長】・冷凍機が要らない温度範囲での温調用・高...
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注)DI制御キット(オプション記号Y)をご指定の場合に使用します。
| 型番 | HRW002-H HRW002-HS | HRW008-H HRW008-HS | HRW015-H HRW015-HS | HRW030-H HRW030-HS | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 冷却方式 | 水冷却式 | |||||
| 使用周囲温度、湿度注1) ℃ | 温度:10~35、湿度:30~70%RH | |||||
| 循環液系 | 循環液注2) | Fluorinert™ FC-40/GALDEN®HT200 | ||||
| 設定温度範囲注1) ℃ | 20~90 | |||||
| 冷却能力(50Hz/60Hz共通) kW | 2 | 8 | 15 | 29 | ||
| 条件 | 循環液温度 ℃ | 放熱水温度+15 | ||||
| 放熱水温度 ℃ | 10~35 | |||||
| 循環液定格流量 L/min | 4 | 30 | 40 | 40 | ||
| 放熱水必要流量 L/min | 10 | 20 | 25 | 40 | ||
| 温度安定性注3) ℃ | ±0.3 | |||||
| ポンプ能力注4)(50/60Hz) MPa | 0.40/0.60(4L/min時) | 0.45/0.65(30L/min時) | 0.40/0.60(40L/min時) | 0.40/0.60(40L/min時) | ||
| 循環液流量設定範囲注5) L/min | 3~16 | 9~50 | ||||
| タンク容量注6) L | 約13 | 約14 | ||||
| 循環液回収タンク容量注7) L | 12 | |||||
| 接続口径 | Rc3/4 | |||||
| 接液部材質 | 銅ブレージング(熱交換器)、ステンレス鋼、EPDM、シリコーン、PPS、ふっ素樹脂 | |||||
| 放熱水系 | 温度範囲 ℃ | 10~35 | ||||
| 必要流量注8) L/min | 10 | 20 | 25 | 40 | ||
| 入口圧力範囲 MPa | 0.3~0.7 | |||||
| 接続口径 | Rc3/4 | |||||
| 接液部材質 | 銅ブレージング(熱交換器)、ステンレス鋼、EPDM、シリコーン、青銅、黄銅、NBR | |||||
| 電気系 | 電源 | 3相 AC200/200~208V±10% | ||||
| 最大運転電流 A | 26 | |||||
| ブレーカ容量A | 30 | |||||
| 通信機能 | シリアルRS-485(Dsub-9Pin)および接点入出力(Dsub-25Pin) | |||||
| 寸法注9) mm | W380×D665×H860 | |||||
| 質量注10) kg | 約90 | 約100 | ||||

| 型番 | A | B | C | D |
|---|---|---|---|---|
| HRW002-H HRW008-H HRW015-H HRW030-H | 380 | 665 | 860 | φ18.5~20.5 |
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
2,185,501円1,966,950円 ( 2,163,645円 ) | 18日目 |
2,300,064円2,070,057円 ( 2,277,063円 ) | 18日目 |
2,560,914円2,304,822円 ( 2,535,304円 ) | 18日目 |
2,282,438円2,054,194円 ( 2,259,613円 ) | 18日目 |
2,305,351円2,074,815円 ( 2,282,297円 ) | 18日目 |
2,419,913円2,177,921円 ( 2,395,713円 ) | 18日目 |
2,680,764円2,412,687円 ( 2,653,956円 ) | 18日目 |
2,402,288円2,162,059円 ( 2,378,265円 ) | 18日目 |
2,566,200円2,309,580円 ( 2,540,538円 ) | 18日目 |
2,361,751円2,125,575円 ( 2,338,133円 ) | 18日目 |
2,476,313円2,228,681円 ( 2,451,549円 ) | 18日目 |
2,495,701円2,246,130円 ( 2,470,743円 ) | 18日目 |
2,235,496円2,011,946円 ( 2,213,141円 ) | 19日目 |
2,737,164円2,463,447円 ( 2,709,792円 ) | 18日目 |
2,458,689円2,212,820円 ( 2,434,102円 ) | 18日目 |
2,738,925円2,465,032円 ( 2,711,535円 ) | 18日目 |
2,719,538円2,447,584円 ( 2,692,342円 ) | 18日目 |
2,381,138円2,143,024円 ( 2,357,326円 ) | 18日目 |
2,481,601円2,233,440円 ( 2,456,784円 ) | 18日目 |
2,596,164円2,336,547円 ( 2,570,202円 ) | 18日目 |
2,261,144円2,035,029円 ( 2,238,532円 ) | 18日目 |
2,857,014円2,571,312円 ( 2,828,443円 ) | 18日目 |
2,520,376円2,268,338円 ( 2,495,172円 ) | 18日目 |
2,634,938円2,371,444円 ( 2,608,588円 ) | 18日目 |
2,361,707円2,125,536円 ( 2,338,090円 ) | 18日目 |
2,179,169円1,961,252円 ( 2,157,377円 ) | 18日目 |
2,895,788円2,606,209円 ( 2,866,830円 ) | 18日目 |
2,640,225円2,376,202円 ( 2,613,822円 ) | 18日目 |
2,754,789円2,479,310円 ( 2,727,241円 ) | 18日目 |
3,015,638円2,714,074円 ( 2,985,481円 ) | 18日目 |
2,998,013円2,698,211円 ( 2,968,032円 ) | 18日目 |
2,784,751円2,506,275円 ( 2,756,903円 ) | 18日目 |
2,899,313円2,609,381円 ( 2,870,319円 ) | 18日目 |
3,160,164円2,844,147円 ( 3,128,562円 ) | 18日目 |
2,579,986円2,321,987円 ( 2,554,186円 ) | 18日目 |
2,904,601円2,614,140円 ( 2,875,554円 ) | 18日目 |
3,019,163円2,717,246円 ( 2,988,971円 ) | 18日目 |
3,280,014円2,952,012円 ( 3,247,213円 ) | 18日目 |
3,001,539円2,701,385円 ( 2,971,524円 ) | 18日目 |
3,262,388円2,936,149円 ( 3,229,764円 ) | 18日目 |
2,582,827円2,324,544円 ( 2,556,998円 ) | 19日目 |
工場内循環水との直接熱交換器。
【特長】
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロセス装置に実績多数
・UL、SEMI規格適合、CEマーキング
・インバータタイプの選択可能
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
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ミスミ
温度センサ L型タイプ
4.3
ミスミ
ホットプレート タップ付
5
ミスミ
【エコノミーシリーズ】 K型熱電対・高温タイプ
5通常価格(税別):2,260円~

ミスミ
耐熱テープ
4.8通常価格(税別):960円~

日本電測
汎用形温度センサー コンプレッションフィッティング
4.7通常価格(税別):1,694円~

ミスミ
温度センサ スタンダードタイプ
4.6通常価格(税別):3,320円~

ミスミ
温度センサ シリコン被覆タイプ(K熱電対/測温抵抗体)
4.6通常価格(税別):2,440円~

ミスミ
温度センサ取付部品
4.6通常価格(税別):920円~

ミスミ
ヒータ取付溶接ソケット
4.5通常価格(税別):3,820円