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駿河精機

クロスローラガイドステージ（KS101）

カタログ |

通常単価(税別): 159,430円～302,720円

税込単価: 175,373円～332,992円

通常出荷日：56日目

「軽量×高精度位置決め」を実現したクロスローラガイドステージ（X軸）です。【特長】・軽　量：主材...

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外形図

KS101-30LC

KS101-30RC

KS101-30LG

KS101-30LPA

KS101-30LQA

製品仕様

型番	-		KS101-30LC-5	KS101-30LG-5	KS101-30LPA	KS101-30LQA
型番	勝手違い		KS101-30RC-5	KS101-30RG-5	KS101-30RPA	KS101-30RQA
メカ仕様	移動量		30mm
	ステージ面サイズ		60×70mm
	送りねじ		ボールねじφ8リード1
	ガイド		クロスローラガイド
	主材質/表面処理		アルミ/黒アルマイト処理
	自重		0.56kg	0.76kg	0.61kg	0.96kg
精度仕様	分解能（パルス）	Full/Half	2μm/1μm	1μm/0.5μm	1μm（1,000P/R設定時）
	分解能（パルス）	マイクロステップ	-	0.05μm（1/20分割時）	-
	MAXスピード		20mm/sec	10mm/sec	20mm/sec
	一方向位置決め精度		5μm以内
	繰返位置決め精度		±0.2μm以内
	耐荷重		5.0kgf【49N】
	モーメント剛性		ピッチ0.15/ヨー0.08/ロール0.07［"/N・cm］
	ロストモーション		1μm以内
	バックラッシ		0.5μm以内
	真直度		3μm以内
	平行度		30μm以内
	運動の平行度		10μm以内
	ピッチング/ヨーイング		25"以内/20"以内
付属ねじ（六角穴付ボルト）			M4-16 4本

※センサケーブルは受側適合コネクタのみ付属となります。
※αステップ駆動用コントローラはお客様でご用意ください。

製品仕様

型番		KS101-30LC	KS101-30LG	KS101-30LPA	KS101-30LQA
型番		KS101-30RC	KS101-30RG	KS101-30RPA	KS101-30RQA
モータ	タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（オリエンタルモーター）		αステップモータ（オリエンタルモーター）
	ステップ角	0.72°	0.36°	0.36°（1,000P/R設定時）
	ドライバ型番	※下記参照		ARD-K	ARD-A
コネクタ	型番	HR10A-10R-12P（73c（ヒロセ電機（株））		172211-6（タイコエレクトロニクスジャパン（同））
	受側適合コネクタ	HR10A-10P-12S（73）（ヒロセ電機（株））		171822-6（タイコエレクトロニクスジャパン（同））
	コンタクト型番	-		170430-1（タイコエレクトロニクスジャパン（同））
	受側適合コンタクト型	-		170205-1（タイコエレクトロニクスジャパン（同））
センサ	リミットセンサ	有
	原点センサ	有
	スリット原点センサ	-
	型番	フォトマイクロセンサ PM-□25（パナソニックデバイスSUNX（株））
	電源電圧	DC5～24V以下 ±10%
	消費電流	45mA以下（1センサ当たり 15mA以下）
	制御出力	NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下残留電圧2V以下（負荷電流50mA時）残留電圧1V以下（負荷電流16mA時）
	出力理論	検出（遮光）時：出力トランジスタOFF（非導通）

※推奨ドライバ：SD5107P3-A22/CRD5107P/DFC5107P/RKD507-A

ステージの使用環境について

使用環境：10～50℃、20～70%RH（非結露）
推奨使用環境：22±5℃、20～70%RH（非結露）

ステージの種類、設置条件・動作条件・性能など、多岐にわたる条件により、ご使用頂ける温度が変わります。
※次のような場所での使用は避けてください。

ほこりや粉塵（特に金属粉）の多いところ
火気に近いところ
水や油がかかるところ
塩分、有機溶剤が多いところ
直射日光、輻射熱があたるところ
腐食性ガス、可燃性ガスが発生するところ
振動や衝撃が伝わるところ

付属ねじについて

駿河精機で標準としている取付け用の六角穴付キャップボルト（一部十字ナベ小ねじ）が付属しています。

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グリース仕様

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分解能

自重

(kg)

付属品

RoHS?

最小発注数量

5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	無記号:標準グリース	無記号:標準ケーブル2m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル2m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	無記号:標準グリース	1:標準ケーブル2m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル2m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	1:標準ケーブル2m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル2m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	1:標準ケーブル2m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル2m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	L:真空向けグリース(フォンブリンYVAC2)	1:標準ケーブル2m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル2m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	無記号:標準グリース	2:標準ケーブル4m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	2:標準ケーブル4m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	2:標準ケーブル4m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	L:真空向けグリース(フォンブリンYVAC2)	2:標準ケーブル4m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	無記号:標準グリース	3:標準ケーブル4m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	3:標準ケーブル4m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	3:標準ケーブル4m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	L:真空向けグリース(フォンブリンYVAC2)	3:標準ケーブル4m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	無記号:標準グリース	4:コネクタのみ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／コネクタのみ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	4:コネクタのみ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／コネクタのみ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	4:コネクタのみ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／コネクタのみ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	L:真空向けグリース(フォンブリンYVAC2)	4:コネクタのみ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／コネクタのみ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	無記号:標準グリース	5:ケーブルなし	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	5:ケーブルなし	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	5:ケーブルなし	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	L:真空向けグリース(フォンブリンYVAC2)	5:ケーブルなし	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	無記号:標準グリース	6:ロボットケーブル2m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル2m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	6:ロボットケーブル2m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル2m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	6:ロボットケーブル2m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル2m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	L:真空向けグリース(フォンブリンYVAC2)	6:ロボットケーブル2m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル2m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	無記号:標準グリース	7:ロボットケーブル4m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル4m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	7:ロボットケーブル4m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル4m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	7:ロボットケーブル4m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル4m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	L:真空向けグリース(フォンブリンYVAC2)	7:ロボットケーブル4m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル4m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	無記号:標準グリース	8:ロボットケーブル4m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル4m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	8:ロボットケーブル4m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル4m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	8:ロボットケーブル4m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル4m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	L:真空向けグリース(フォンブリンYVAC2)	8:ロボットケーブル4m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル4m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	無記号:標準グリース	9:ロボットケーブル2m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル2m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	9:ロボットケーブル2m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル2m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	9:ロボットケーブル2m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル2m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	L:真空向けグリース(フォンブリンYVAC2)	9:ロボットケーブル2m片端バラ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／ロボットケーブル2m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	無記号:標準ケーブル2m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル2m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	無記号:標準ケーブル2m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル2m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ標準	20	L:L位置	L:真空向けグリース(フォンブリンYVAC2)	無記号:標準ケーブル2m両端コネクタ	Full 2μm／Half 1μm	0.56	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル2m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	無記号:標準グリース	無記号:標準ケーブル2m両端コネクタ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル2m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	無記号:標準グリース	1:標準ケーブル2m片端バラ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル2m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	1:標準ケーブル2m片端バラ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル2m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	1:標準ケーブル2m片端バラ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル2m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	L:真空向けグリース(フォンブリンYVAC2)	1:標準ケーブル2m片端バラ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル2m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	無記号:標準グリース	2:標準ケーブル4m両端コネクタ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	2:標準ケーブル4m両端コネクタ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	2:標準ケーブル4m両端コネクタ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	L:真空向けグリース(フォンブリンYVAC2)	2:標準ケーブル4m両端コネクタ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m両端コネクタ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	無記号:標準グリース	3:標準ケーブル4m片端バラ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	3:標準ケーブル4m片端バラ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	3:標準ケーブル4m片端バラ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	L:真空向けグリース(フォンブリンYVAC2)	3:標準ケーブル4m片端バラ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／標準ケーブル4m片端バラ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	無記号:標準グリース	4:コネクタのみ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／コネクタのみ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	4:コネクタのみ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／コネクタのみ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	4:コネクタのみ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／コネクタのみ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	L:真空向けグリース(フォンブリンYVAC2)	4:コネクタのみ	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本／コネクタのみ	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	無記号:標準グリース	5:ケーブルなし	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	J:クリーン環境用グリース(AFF)	5:ケーブルなし	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本	10	1個
5相ステッピングモータ高分解能	10	L:L位置	K:クリーン環境用グリース(LG2)	5:ケーブルなし	Full 1μm／Half 0.5μm／MS 0.05μm(1/20分割時)	0.76	六角穴付ボルトM4-16 4本	10	1個

通常単価(税別) (税込単価)	通常出荷日

164,260円 ( 180,686円 )	56日目
164,260円 ( 180,686円 )	56日目
188,340円 ( 207,174円 )	56日目
190,060円 ( 209,066円 )	56日目
196,940円 ( 216,634円 )	56日目
165,120円 ( 181,632円 )	56日目
189,200円 ( 208,120円 )	56日目
190,920円 ( 210,012円 )	56日目
197,800円 ( 217,580円 )	56日目
165,120円 ( 181,632円 )	56日目
189,200円 ( 208,120円 )	56日目
190,920円 ( 210,012円 )	56日目
197,800円 ( 217,580円 )	56日目
161,508円 ( 177,659円 )	56日目
185,588円 ( 204,147円 )	56日目
187,308円 ( 206,039円 )	56日目
194,188円 ( 213,607円 )	56日目
159,960円 ( 175,956円 )	56日目
184,040円 ( 202,444円 )	56日目
185,760円 ( 204,336円 )	56日目
192,640円 ( 211,904円 )	56日目
166,840円 ( 183,524円 )	56日目
190,920円 ( 210,012円 )	56日目
192,640円 ( 211,904円 )	56日目
199,520円 ( 219,472円 )	56日目
169,420円 ( 186,362円 )	56日目
193,500円 ( 212,850円 )	56日目
195,220円 ( 214,742円 )	56日目
202,100円 ( 222,310円 )	56日目
169,420円 ( 186,362円 )	56日目
193,500円 ( 212,850円 )	56日目
195,220円 ( 214,742円 )	56日目
202,100円 ( 222,310円 )	56日目
166,840円 ( 183,524円 )	56日目
190,920円 ( 210,012円 )	56日目
192,640円 ( 211,904円 )	56日目
199,520円 ( 219,472円 )	56日目
188,340円 ( 207,174円 )	56日目
190,060円 ( 209,066円 )	56日目
196,940円 ( 216,634円 )	56日目
163,710円 ( 180,081円 )	56日目
163,710円 ( 180,081円 )	56日目
187,710円 ( 206,481円 )	56日目
189,430円 ( 208,373円 )	56日目
196,290円 ( 215,919円 )	56日目
164,570円 ( 181,027円 )	56日目
188,570円 ( 207,427円 )	56日目
190,290円 ( 209,319円 )	56日目
197,140円 ( 216,854円 )	56日目
164,570円 ( 181,027円 )	56日目
188,570円 ( 207,427円 )	56日目
190,290円 ( 209,319円 )	56日目
197,140円 ( 216,854円 )	56日目
160,970円 ( 177,067円 )	56日目
184,970円 ( 203,467円 )	56日目
186,690円 ( 205,359円 )	56日目
193,540円 ( 212,894円 )	56日目
159,430円 ( 175,373円 )	56日目
183,430円 ( 201,773円 )	56日目
185,140円 ( 203,654円 )	56日目

基本情報

基本情報

「軽量×高精度位置決め」を実現したクロスローラガイドステージ（X軸）です。【特長】・軽　量：主材質にアルミ（表面黒アルマイト処理）を用いており軽量
・高精度：高い剛性と低摩擦で微小送りに優れた高精度なステージ
【豊富なオプション】・センサカバー位置選択： L,R（勝手違い）から選択可能
・モータ選択：用途に合わせ、以下モータより選択可能
　　ステッピングモータ：標準│マイクロステップ（高分解能）│αステップ（脱調レス）
【用途】・カメラ、顕微鏡、センサ、光学部品の精密調整
・半導体や計測器関連の生産、組立、検査工程の位置決め

カタログ

カタログ (見開き版)

一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細はメーカーカタログをご覧ください。

クロスローラガイドステージ（KS101）のレビュー

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メーカー	駿河精機	中央精機	駿河精機	ミスミ	駿河精機	駿河精機
通常価格	159,430円-	135,085円	204,680円 -	159,400円 -	101,920円 -	99,650円 -
通常出荷日	56日目	3日目	56日目	98日目	31日目	31日目
種類	X軸ステージ	Xステージ	X軸ステージ	自動X軸ステージ	X軸ステージ	X軸ステージ
テーブル材質	アルミニウム	ステンレス	アルミニウム	アルミ	ステンレス	ステンレス
移動ガイド	クロスローラガイド	ボールウェイ	スライドガイド	クロスローラ	リニアボールガイド	リニアボールガイド
送り方式	ボールねじ	送りねじ	ボールねじ	ボールねじ	ボールねじ	ボールねじ
テーブルサイズ長さ(mm)	70	30	180	70	60	60