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種類
~mm
出力方式
~mm
流量範囲（最大値）(L/min)
～10未満
0.05
0.1
0.5
1
5
10～50未満
10
配管口の種類
~mm
配管ねじの呼び
~mm
- 5
配管ねじの種類
~mm
- M
出力点数
~mm
- 1
- 2
- 3
アナログ出力仕様
~mm
- 電圧
アナログ電圧出力(V)
~mm
- DC1-5V
電源電圧(V)
~mm
- 12～24
接続チューブ径
~mm
- 4
流れ方向
~mm
- 左→右方向
- 両方向
継手種類
~mm
ケーブル
~mm
リード線引出し方向
~mm
- L字タイプ
- ストレートタイプ
タイプ
~mm
CAD
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ＣＫＤ

小形流量センサラピフロー FSMシリーズ

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本体材質
樹脂
センサ・モニタ構造
分離形・コネクタ接続
入力点数
1
流体の種類
空気 / 窒素ガス
耐圧力 (MPa)
0.3
流量の種類
小流量
使用温度範囲 (℃)
0::50
電源電圧の種類
DC

ご注意

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商品情報

外形図

FSM-X Series

●センサヘッド単品

●流路ブロック付

・φ4ワンタッチ継手付

・M5付

●オプションケーブル

FSM-V Series（アナログ出力タイプ、スイッチ出力タイプ共通）

● FSM-V-□V3-R□-H2
（リード線L字タイプ、ストレート形φ1.8エアファイバ）

● FSM-V-□H3-R□-H2
（リード線ストレートタイプ、ストレート形φ1.8エアファイバ）

● FSM-V-□V3-R□-H4
（リード線L字タイプ、ストレート形φ4ワンタッチ）

● FSM-V-□H3-R□-H4
（リード線ストレートタイプ、ストレート形φ4ワンタッチ）

● FSM-V-□V3-R□-HL4
（リード線L字タイプ、L字形φ4ワンタッチ）

● FSM-V-□H3-R□-HL4
（リード線ストレートタイプ、L字形φ4ワンタッチ）

● FSM-V-□V3-R□-M5
（リード線L字タイプ、ポート径M5）

● FSM-V-□H3-R□-M5
（リード線ストレートタイプ、ポート径M5）

※アナログ出力タイプとスイッチ出力タイプではフロントシート部の外観が異なります。

製品仕様

FSM-X Series 仕様

型番		アナログ出力タイプ
項目		FSM-X-AR005	FSM-X-AR010	FSM-X-AR050	FSM-X-AR100	FSM-X-AF005	FSM-X-AF010	FSM-X-AF050	FSM-X-AF100
流量レンジ（L/min）（注1）		-0.5～+0.5	-1～+1	-5～+5	-10～+10	0～+0.5	0～+1	0～+5	0～+10
使用条件	適用流体（注2）	清浄空気（JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-1：2010）1.1.1～1.6.2）、窒素
	最高使用圧力（MPa）	0.2
	最低使用圧力（MPa）	-0.09
	耐圧力（MPa）	0.3
	周囲温度・湿度（℃）	0～+50、80%RH以下
	使用流体温度（℃）	0～+50（結露なきこと）
保存周囲温度（℃）		-20～+60（結露なきこと）
出力		アナログ出力1点（1-5V電圧出力、接続負荷インピーダンス50kΩ以上）注3
精度（注4）	直線性	ノンリニア特性
	圧力特性	双方向タイプ：±5%F.S.以下（-0.09～+0.2MPa、0.1MPa基準）片方向タイプ：±10%F.S.以下（-0.09～+0.2MPa、0.1MPa基準）
	温度特性	双方向タイプ：±0.3%F.S.／℃以下（0～+50℃、25℃基準）片方向タイプ：±0.6%F.S.／℃以下（0～+50℃、25℃基準）
	再現性（くり返し性）（注5）	±2%F.S.以下
応答時間（注6）		5ms以下（10L/minは8ms以下）
外部漏れ（注7）		1mL/min以下（センサヘッド単品）、2mL/min（流路ブロック付）
消費電流（注8）		30mA以下
電源電圧		DC24V（DC21.6～26.4V）リップル1%以下
電源電圧変動		±2%F.S.以下（21.6～26.4V）
リード線		φ2.9mm3芯（φ0.38mm絶縁体外径φ0.8mm）
コネクタ	製品側	SM03B-SRSS-TB（JST製）、ロック機構無し
適合コネクタ	ハウジング	SHR-03V-S（JST製）
適合コネクタ	コネクタピン	SSH-003T-P0.2-H（JST製）
取付	取付姿勢	縦・横自在
取付	導入直管部	不要
耐振動		10～150Hz、複振幅1.5mm、最大10G、XYZ各方向2時間
EMC指令		EN61000-6-4、EN61000-6-2
質量（g）	無記号	約4（ケーブルは含みません）
	H04	約17（ケーブルは含みません）
	M05	約17（ケーブルは含みません）

注1：20℃ 1気圧（101kPa）での体積流量に換算した流量。
注2：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない空気をご使用ください。圧縮空気をご使用の場合は、JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-1：2010）等級 1.1.1～1.6.2の清浄空気を
ご使用ください。コンプレッサからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれています。本製品の機能を維持するために本製品の一次側（上流）にフィルタ、
エアードライヤ及びオイルミストフィルタを取付けて使用ください。本製品を吸着確認でご使用の場合は、異物の吸入を防止するために、吸着ノズルと本製品との間に必ずエア
フィルタを取り付けてください。

注3：本製品の流量出力は流量の絶対値を示すものではありません。
※接続負荷について
アナログ出力部の出力インピーダンスは1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値の誤差が大きくなります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上ご使用ください。
■ 計算例
○FSM-Xの出力インピーダンス Ro=1kΩ
○負荷内部インピーダンス Rx=1MΩ
○出力値＝（1-Ro/（Ro+Rx））×100%＝（1-（1kΩ/（1kΩ+1MΩ））×100%
⇒出力値の誤差＝約0.1%
※配線抵抗について
本製品は、コネクタ部における電圧となります。オプションケーブル（FSM-X-C33）をご使用の場合、ケーブルの配線抵抗（0.23Ω/m以下）により電圧が変化しますので、ご注意ください。
■ 計算例
○オプションケーブル（FSM-X-C33）（3m）の配線抵抗：0.23Ω/m×3m＝0.69Ω
○電源-線に発生する電圧＝製品消費電流（＝30mA）×配線抵抗0.69Ω＝約0.02V
○出力値の誤差＝0.02V/4V（フルスケール）＝0.5%F.S.
注4：本センサの校正は、片方向タイプアナログ出力1～5V、双方向タイプアナログ出力3～5Vで行います。
精度条件：温度25±3℃、電源電圧DC24±0.01V
F.S.とはアナログ出力1～5Vとして定義します。
注5：流量ON時、0.5msのサンプリング周期で20秒間取り込んだデータの平均値を1回の測定値とし、流量ON-OFF連続10回の繰り返し性とします。経時変化は含みません。
注6：流量検出後、出力がフルスケール流量の80%に到達するまでの時間です。配管条件により応答時間は変化します。
注7：25℃±3℃の環境下で、0.2MPaの内部加圧した時の値です。初期の値であり、経時変化は含みません。
注8：DC24V接続、負荷未接続の電流です。負荷の接続状態などによって消費電流が変わりますのでご注意ください。

ピンNo.	線色	信号の種類
1	茶	電源+DC24V
2	青	電源-GND
3	黒	アナログ出力（1～5V）

FSM-V Series センサ本体仕様

型番		アナログ出力タイプ						スイッチ出力タイプ
項目		FSM-V-A-R0005	FSM-V-A-R0010	FSM-V-A-R0050	FSM-V-A-R0100	FSM-V-A-R0500	FSM-V-A-R1000	FSM-V-N／P-R0005	FSM-V-N／P-R0010	FSM-V-N／P-R0050	FSM-V-N／P-R0100	FSM-V-N／P-R0500	FSM-V-N／P-R1000
流量レンジ（L/min）（注7）		-0.05～+0.05	-0.1～+0.1	-0.5～+0.5	-1～+1	-5～+5	-10～+10	-0.05～+0.05	-0.1～+0.1	-0.5～+0.5	-1～+1	-5～+5	-10～+10
（参考）吸脱着用途の適用ノズル		φ0.1ノズル		φ0.2 ノズル	φ0.3 ノズル	コレットノズル		φ0.1ノズル		φ0.2 ノズル	φ0.3 ノズル	コレットノズル
使用条件	適用流体	清浄空気（JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-1：2010）1.1.1～5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-1：2010）1.1.1～1.6.2）（注1）、窒素ガス
	最高使用圧力（MPa）	0.2
	最低使用圧力（MPa）	-0.09
	耐圧力（MPa）	0.3
	周囲温度・湿度（℃）	0～+50、90%RH以下（ただし、結露なきこと）
	使用流体温度（℃）	0～+50
表示		電源表示（緑色）						電源表示（緑色）、スイッチ出力表示（黄色）
出力		アナログ出力1点（注2）（1-5V電圧出力、接続負荷インピーダンス50KΩ以上）						スイッチ出力2点（注3）（NPNまたはPNPオープンコレクタ出力、DC30V・50mA以下、PLC・リレー対応）
精度（注4）	直線性	±5%F.S.以下（0.1MPa、流量範囲±100%F.S.）						-
	圧力特性	±5%F.S.以下（-0.09～+0.2MPa、0.1MPa基準）						-
	温度特性	±0.2%F.S./℃以下（15～35℃、25℃基準）						-
	再現性（くり返し精度）	±1%F.S.以下				±2%F.S.以下		±2%F.S.以下
応答時間		5ms以下（センサ単体・最終到達出力電圧の90%到達時）（注5）
電源電圧		DC 12/24V（10.8～26.4V）
消費電流		30mA以下
リード線		φ2.6 3芯（0.15mm²絶縁体外径φ0.81）3m						φ2.6 4芯（0.15mm²絶縁体外径φ0.81）3m
取付	取付姿勢	縦・横自在
取付	導入直管部	不要
保護構造		IEC規格IP40
耐振動		10～150Hz、複振幅1.5mm、最大10G、XYZ各方向2時間
EMC指令		EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8
質量（g）		約8（リード線、継手のぞく）

注1：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない空気をご使用ください。
圧縮空気をご使用の場合は、JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-1：2010）等級 1.1.1～1.6.2の清浄空気をご使用ください。
コンプレッサからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれています。本製品の機能を維持するために本製品の一次側（上流）にフィ
ルタ、エアードライヤ及びオイルミストフィルタを取付けて使用ください。
本製品を吸着確認でご使用の場合は、異物の吸入を防止するために、吸着ノズルと本製品との間に必ずエアフィルタを取り付けてください。

注2：アナログ出力は、流量0の時3Vを示し、リード線を右側にし本体を見て流体を右へ流した場合、5V側に変化します。また、逆の流れの場合1V側に変化します。
注3：スイッチ出力は応差固定の1境界値判別方式でトリマを回すことにより全流量範囲で設定できます。また、OUT1とOUT2の動作モードは反対となっています。
注4：本センサの校正は1～5Vで行います。
精度条件：温度25±3℃、電源電圧DC24±0.01V
本仕様のF.S.（フルスケール）は流量範囲を示します。例えば流量範囲：-10～+10L/minのF.S.は20L/minとなります。
注5：配管条件により、応答時間は変化します。
注6：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルを含まない清浄気体をご使用ください。
圧縮空気をご使用の場合はJIS B 8392-1：2003等級1.1.1～1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサからの圧縮空気にはドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。
本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ（最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m³）を取付けて
ご使用ください。本製品を吸着確認で使用の場合は、異物の吸入を防止するために、吸着ノズルと本製品との間に必ずエアフィルタを入れてください。
注7：20℃ 1気圧（101kPa）での体積流量に換算。

FSM-V Series 分離表示器仕様（アナログ出力タイプ専用）（注8）

型番		分離表示器
項目		FSM-V-DN／P-R0005	FSM-V-DN／P-R0010	FSM-V-DN／P-R0050	FSM-V-DN／P-R0100	FSM-V-DN／P-R0500	FSM-V-DN／P-R1000
接続可能アナログ出力タイプ型番		FSM-V-A-R0005	FSM-V-A-R0010	FSM-V-A-R0050	FSM-V-A-R0100	FSM-V-A-R0500	FSM-V-A-R1000
表示	表示の種類	流量表示（7セグメント3桁橙色）、運転およびスイッチ出力表示（橙色）
表示	表示最小単位（注9）	0.1mL/min（注7）	1mL/min（注7）		0.01L/min（注7）		0.1L/min（注7）
出力		スイッチ出力2点（NPNまたはPNPオープンコレクタ出力、DC30V・50mA以下、電圧降下2.4V、PLC・リレー対応）アナログ出力1点（1-5V電圧出力、接続負荷インピーダンス50KΩ以上）
電源電圧		DC12／24V（10.8～26.4V）
消費電流		50mA以下（表示器のみ）
リード線		φ3.7 5芯（0.2mm²絶縁体外径φ1.0）1m
保有機能		流量表示、流量表示ピークホールド、スイッチ出力、アナログ出力
使用周囲温度・湿度		0～+50℃、85%RH以下（ただし、結露なきこと）
保護構造		IEC規格 IP40
EMC指令		EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2／3／4／6／8
質量（g）		約70（リード線1m含む）

注7：20℃ 1気圧（101kPa）での体積流量に換算。
注8：分離表示器はアナログ出力タイプ専用です。スイッチ出力タイプは接続できませんので、ご注意ください。
注9：流量の最小表示単位を示すものであり、表示精度を保証するものではありません。

型番リスト

表示件数

型番

種類

出力方式

流量範囲（最大値）

(L/min)

配管口の種類

配管ねじの呼び

配管ねじの種類

出力点数

アナログ出力仕様

アナログ電圧出力

(V)

電源電圧

(V)

接続チューブ径

直付接続径

流れ方向

継手種類

ケーブル

リード線引出し方向

最小発注数量

流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.05	直付	-	-	1	-	-	12～24	-	1.8	両方向	ストレート形Φ1.8 エアファイバ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.05	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	ストレート形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.05	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	L字形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.05	めねじ	5	M	1	-	-	12～24	-	-	両方向	ポート径M5	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.1	直付	-	-	1	-	-	12～24	-	1.8	両方向	ストレート形Φ1.8 エアファイバ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.1	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	ストレート形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.1	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	L字形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.1	めねじ	5	M	1	-	-	12～24	-	-	両方向	ポート径M5	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.5	直付	-	-	1	-	-	12～24	-	1.8	両方向	ストレート形Φ1.8 エアファイバ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.5	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	ストレート形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.5	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	L字形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.5	めねじ	5	M	1	-	-	12～24	-	-	両方向	ポート径M5	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 1	直付	-	-	1	-	-	12～24	-	1.8	両方向	ストレート形Φ1.8 エアファイバ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 1	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	ストレート形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 1	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	L字形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 1	めねじ	5	M	1	-	-	12～24	-	-	両方向	ポート径M5	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 5	直付	-	-	1	-	-	12～24	-	1.8	両方向	ストレート形Φ1.8 エアファイバ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 5	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	ストレート形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 5	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	L字形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 5	めねじ	5	M	1	-	-	12～24	-	-	両方向	ポート径M5	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[10～50未満] 10	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	ストレート形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[10～50未満] 10	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	L字形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[10～50未満] 10	めねじ	5	M	1	-	-	12～24	-	-	両方向	ポート径M5	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.05	直付	-	-	1	-	-	12～24	-	1.8	両方向	ストレート形Φ1.8 エアファイバ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.05	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	ストレート形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.05	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	L字形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.05	めねじ	5	M	1	-	-	12～24	-	-	両方向	ポート径M5	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.1	直付	-	-	1	-	-	12～24	-	1.8	両方向	ストレート形Φ1.8 エアファイバ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.1	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	ストレート形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.1	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	L字形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.1	めねじ	5	M	1	-	-	12～24	-	-	両方向	ポート径M5	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.5	直付	-	-	1	-	-	12～24	-	1.8	両方向	ストレート形Φ1.8 エアファイバ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.5	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	ストレート形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.5	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	L字形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 0.5	めねじ	5	M	1	-	-	12～24	-	-	両方向	ポート径M5	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 1	直付	-	-	1	-	-	12～24	-	1.8	両方向	ストレート形Φ1.8 エアファイバ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 1	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	ストレート形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 1	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	L字形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 1	めねじ	5	M	1	-	-	12～24	-	-	両方向	ポート径M5	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 5	直付	-	-	1	-	-	12～24	-	1.8	両方向	ストレート形Φ1.8 エアファイバ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 5	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	ストレート形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 5	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	L字形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[～10未満] 5	めねじ	5	M	1	-	-	12～24	-	-	両方向	ポート径M5	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[10～50未満] 10	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	ストレート形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[10～50未満] 10	ワンタッチ継手	-	-	1	-	-	12～24	4	-	両方向	L字形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
流量センサ	アナログ	[10～50未満] 10	めねじ	5	M	1	-	-	12～24	-	-	両方向	ポート径M5	リード線付（3m）	L字タイプ	1個
フローモニタ	NPNオープンコレクタ	[～10未満] 0.05	-	-	-	3	電圧	DC1-5V	12～24	-	-	-	-	-	-	1個
フローモニタ	NPNオープンコレクタ	[～10未満] 0.1	-	-	-	3	電圧	DC1-5V	12～24	-	-	-	-	-	-	1個
フローモニタ	NPNオープンコレクタ	[～10未満] 0.5	-	-	-	3	電圧	DC1-5V	12～24	-	-	-	-	-	-	1個
フローモニタ	NPNオープンコレクタ	[～10未満] 1	-	-	-	3	電圧	DC1-5V	12～24	-	-	-	-	-	-	1個
フローモニタ	NPNオープンコレクタ	[～10未満] 5	-	-	-	3	電圧	DC1-5V	12～24	-	-	-	-	-	-	1個
フローモニタ	NPNオープンコレクタ	[10～50未満] 10	-	-	-	3	電圧	DC1-5V	12～24	-	-	-	-	-	-	1個
フローモニタ	PNPオープンコレクタ	[～10未満] 0.05	-	-	-	3	電圧	DC1-5V	12～24	-	-	-	-	-	-	1個
フローモニタ	PNPオープンコレクタ	[～10未満] 0.1	-	-	-	3	電圧	DC1-5V	12～24	-	-	-	-	-	-	1個
フローモニタ	PNPオープンコレクタ	[～10未満] 0.5	-	-	-	3	電圧	DC1-5V	12～24	-	-	-	-	-	-	1個
フローモニタ	PNPオープンコレクタ	[～10未満] 1	-	-	-	3	電圧	DC1-5V	12～24	-	-	-	-	-	-	1個
フローモニタ	PNPオープンコレクタ	[～10未満] 5	-	-	-	3	電圧	DC1-5V	12～24	-	-	-	-	-	-	1個
フローモニタ	PNPオープンコレクタ	[10～50未満] 10	-	-	-	3	電圧	DC1-5V	12～24	-	-	-	-	-	-	1個
流量センサ	NPNオープンコレクタ	[～10未満] 0.05	直付	-	-	2	-	-	12～24	-	1.8	両方向	ストレート形Φ1.8 エアファイバ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個
流量センサ	NPNオープンコレクタ	[～10未満] 0.05	ワンタッチ継手	-	-	2	-	-	12～24	4	-	両方向	ストレート形Φ4ワンタッチ	リード線付（3m）	ストレートタイプ	1個

通常単価(税別) (税込単価)	通常出荷日

23,766円 ( 26,143円 )	14日目
31,543円 ( 34,697円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
27,037円 ( 29,741円 )	6日目
23,766円 ( 26,143円 )	14日目
27,037円 ( 29,741円 )	3日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
23,766円 ( 26,143円 )	14日目
27,299円 ( 30,029円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
23,766円 ( 26,143円 )	14日目
30,029円 ( 33,032円 )	6日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
25,109円 ( 27,620円 )	3日目
23,766円 ( 26,143円 )	14日目
25,814円 ( 28,395円 )	3日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
27,299円 ( 30,029円 )	3日目
30,029円 ( 33,032円 )	14日目
29,944円 ( 32,938円 )	14日目
30,029円 ( 33,032円 )	3日目
23,766円 ( 26,143円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
29,944円 ( 32,938円 )	14日目
27,621円 ( 30,383円 )	14日目
23,766円 ( 26,143円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
25,814円 ( 28,395円 )	14日目
23,766円 ( 26,143円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
23,766円 ( 26,143円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
23,766円 ( 26,143円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	6日目
29,944円 ( 32,938円 )	14日目
27,037円 ( 29,741円 )	3日目
23,233円 ( 25,556円 )	6日目
23,233円 ( 25,556円 )	14日目
23,233円 ( 25,556円 )	3日目
15,094円 ( 16,603円 )	14日目
12,938円 ( 14,232円 )	14日目
12,718円 ( 13,990円 )	14日目
13,990円 ( 15,389円 )	6日目
13,064円 ( 14,370円 )	6日目
13,064円 ( 14,370円 )	14日目
13,608円 ( 14,969円 )	14日目
12,718円 ( 13,990円 )	14日目
12,718円 ( 13,990円 )	14日目
12,718円 ( 13,990円 )	14日目
12,718円 ( 13,990円 )	14日目
13,608円 ( 14,969円 )	14日目
25,426円 ( 27,969円 )	14日目
29,595円 ( 32,555円 )	14日目

基本情報

基本情報

【特長】
・シリコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップ
・新提案の整流機構により、従来にないコンパクト・高速応答を実現
・測定部直近の可動部先端への取付が可能となり、システムとしての電子部品の吸着確認や漏れ検査などに活用できる熱式流量センサ・ラピフロー（R）

ご注意

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小形流量センサラピフロー FSMシリーズのレビュー

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メーカー	ＣＫＤ	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC
通常価格	10,203円-	52,343円 -	11,453円 -	16,174円 -	18,299円 -	18,564円 -
通常出荷日	3日目〜	在庫品1日目〜	3日目〜	19日目	19日目	19日目
本体材質	樹脂	樹脂+金属	樹脂+金属	樹脂+金属	樹脂+金属	SUS316L
センサ・モニタ構造	分離形・コネクタ接続	表示一体型	分離型・センサ部	分離型・センサ部	分離形・端子台接続	分離型・センサ部
入力点数	1	1	2	2	1	1
流体の種類	空気 / 窒素ガス	空気 / 窒素ガス	空気 / 窒素ガス / 炭酸ガス / アルゴン	空気 / 窒素ガス / 炭酸ガス / アルゴン	水	空気 / 水 / 潤滑油 / 窒素ガス / 炭酸ガス / アルゴン
耐圧力(MPa)	0.3	2.25	1	1	1.5	-