300mmウエハ対応 平行シール型スリットバルブ XGTPシリーズ

外形図

製品仕様

型式表示方法

仕様

注1）絶対圧力
注2）常温時値：ガス透過を除きます。
注3）ゲート部が90℃を超える場合は、アクチュエータ部の使用温度範囲を超えてしまうことがありますので、その際はアクチュエータ部を冷却してください。
注4）切換弁を切換後に、ゲート開状態からゲート閉状態まで、およびゲート閉状態からゲート開状態までの時間を示します。（ただし、作動条件により異なる）
注5）Kalrez® は米国デュポン社、デュポン（株）または関連会社の登録商標です。

オートスイッチ仕様

注） 60℃を超える場合は、耐熱仕様（オーダーメイド）をご使用ください。

Dサブコネクタ仕様

平行シール型スリットバルブ本体はピンコンタクト（オス形）ですので、ソケットコンタクト（メス形）をご用意ください。

コネクタ配線図

■C：マルチコネクタ（6P）

端子番号	リード線色	オートスイッチ
1	青	OPEN（-）
2	茶	OPEN（+）
3	-	-
4	-	-
5	茶	CLOSE（+）
6	青	CLOSE（-）

■F：Dサブコネクタ（9P）

端子番号	リード線色	オートスイッチ
1	茶	OPEN（+）
2	茶	CLOSE（+）
3	-	-
4	-	-
5	-	-
6	-	-
7	青	OPEN（-）
8	青	CLOSE（-）
9	-	-

注意・禁止事項

• ご使用の前には「取扱説明書」を必ずお読みください。