小形流量センサ ラピフロー FSM3シリーズ（ステンレスボディタイプ）

外形図

（LCD表示タイプ）（流量レンジ： 500mL/min～50L/min）

●接続口径：ストレートタイプ Rc1/8、G1/8、NPT1/8

• FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／AA1／AB1／AC1（フルスケール流量 ：500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）

●接続口径：ストレートタイプ G1/8

• FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／AF1（フルスケール流量：500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）

●接続口径：ストレートタイプ1/4インチ2重くい込み継手

• FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／AD1（フルスケール流量 ：500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）

●接続口径：ストレートタイプ1/4インチJXRオス継手

• FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／AE1（フルスケール流量：500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）

ニードル弁付

●接続口径： Rc1/8、G1/8、NPTl/8、1/4インチ2重くい込み継手、1/4インチJXRオス継手

• FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／AA1／AF1／AB1／AC1／AD／AE［ト］［チ］T（フルスケール流量： 500L/min、1,2,5,10,20,50L/min）

（LCD表示タイプ）（流量レンジ： 50L/min～200L/min）

●接続口径：ストレートタイプRc1/4、G1/4、NPT1/4

• FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／BA1／BB1／BC1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）

●接続口径：ストレートタイプ G1/4（BF1）

• FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／BF1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）

●接続口径：ストレートタイプ1/4インチ2重くい込み継手

• FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／BD1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）

●接続口径：ストレートタイプ1/4インチJXRオス継手

• FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／BE1（フルスケール流量 ：50,100,200L/min）

ニードル弁付

●接続口径： Rc1/4、G1/4、NPT1/4、1/4インチ2重くい込み継手、1/4インチJXRオス継手

• FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／BA1／BF1／BB1／BC1／BD／BE［ト］［チ］T（フルスケール流量： 50,100,200L/min）

※本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じです。

（LCD表示タイプ）（流量レンジ：500L/min、1,000L/min）

●接続口径： ストレートタイプRc1/2、G1/2、NPT1/2

• FSM3-L［ロ］［ハ］2／CA1／CF1／CB1／CC1（フルスケール流量： 500、 1,000L/min）

（バー表示タイプ）（流量レンジ： 500mL/min～50L/min）

●接続口径：ストレートタイプRc1/8、G1/8、NPT1/8

• FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／AA1／AB1／AC1（フルスケール流量： 500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）

●接続口径：ストレートタイプG1/8

• FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／AF1（フルスケール流量： 500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）

●接統口径：ストレートタイプ1/4インチ2重くい込み継手

• FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／AD1（フルスケール流量： 500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）

●接続口径：ストレートタイプ1/4インチJXRオス継手

• FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／AE1（フルスケール流量： 500ml/min、1,2,5,10 ,20,50L/min）

（バー表示タイプ）（流量レンジ： 50L/min～1,000L/min）

●接続口径：ストレートタイプ Rc1/4、G1/4、NPT1/4

• FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／BA1／BB1／BC1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）

●接続口径：ストレートタイプ G1/4

• FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／BF1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）

●接続口径：ストレートタイプ 1/4インチ2重くい込み継手

• FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／BD1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）

●接続口径：ストレートタイプ 1/4インチJXRオス継手

• FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／BE1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）

●接続口径：ストレートタイプ Rc1/2、G1/2、NPT1/2

• FSM3-B［ロ］［ハ］2／CA1／CF1／CB1／CC1（フルスケール流量： 500、1,000L/min）

（IO-Link）（流量レンジ： 500mL/min～50L/min）

●接続口径：ストレートタイプRc1/8、G1/8、NPT1/8

• FSM3-C［ロ］［ハ］2,3／AA1／AB1／AC1（フルスケール流量： 500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）

●接続口径：ストレートタイプG1/8

• FSM3-C［ロ］［ハ］2,3／AF1（フルスケール流量： 500mL/min、 1,2,5,10,20,50L/min）

●接続口径：ストレートタイプ1/4インチ2重くい込み継手

• FSM3-C［ロ］［ハ］2,3／AD1（フルスケール流量： 500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）

●接続口径：ストレートタイプ1/4インチJXRオス継手

• FSM3-C［ロ］［ハ］2,3／AE1（フルスケール流量： 500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）

（IO-Link）（流量レンジ： 50L/min～1,000L/min）

●接続口径：ストレートタイプRc1/4、G1/4、NPT1/4

• FSM3-C［ロ］［ハ］2,3／BA1／BB1／BC1／（フルスケール流量： 50,100,200L/min）

●接続口径：ストレートタイプG1/4

• FSM3-C［ロ］［ハ］2,3／BF1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）

●接続口径：ストレートタイプ1/4インチ2重くい込み継手

• FSM3 - C［ロ］［ハ］2,3／BD1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）

●接続口径：ストレートタイプ1/4インチJXRオス継手

• FSM3-C［ロ］［ハ］2,3／BE1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）

●接続口径：ストレートタイプRc1/2、G1/2、NPT1/2

• FSM3-C［ロ］［ハ］2／CA1／CF1／CB1／CC1（フルスケール流量 ：500、 1,000L/min）

製品仕様

製品仕様

注1：標準状態 （20℃ 1気圧 （101kPa） 65%Rh）での体積流量に換算。（空気以外のガス種では、20℃ 1気圧（101kPa）、相対湿度0%Rh）
注2：各流量における表示は以下の様になります。

注3：積算流量は計算（参考）値です。積算保存機能を使用する場合は、保存回数が記憶素子のアクセス回数（限界は100万回）を超えない様にご注意ください。（各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。）
保存回数＝使用時間/5分＜100万回
瞬時流量が1%以下の時は、積算流量としてカウントされません。
注4：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご使用の場合は、 JIS B 8392-1：2012 等級1.1.1～ 1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ（最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m³）を取り付けてご使用ください。
酸素ガス用は専用モデルとなります。発火事故を防ぐため、一度でも酸素以外の流体を流した場合は再び酸素を流さないでください。
注5：本製品の調整・検査には圧縮空気を使用しております。空気以外のガス種では精度は目安となります。
注6：精度はCKDの基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。
なお、精度±3%F.S.には、繰り返し精度、温度特性、圧力特性は含まれておりません。
使用環境・使用条件により別途考慮ください。
注7：短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。（詳細は製品仕様書をこ確認ください。）
注8：実際の応答時間は配管条件によって変わります。応答時問の設定は目安として50msecから1.5secまで選択できます。
注9：アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくなります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。
注10：電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。
注11：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。
注12：ガス種切替機能により、アルゴン、炭酸ガス、アルゴン80%+炭酸ガス20%に切替える事ができます。切替後のフルスケール流量、アナログ出力は以下の様になります。（酸素タイブ、500L/minモデル、1,000L/minモデルはガス種切替機能が設定できませんのでご注意ください。）

「設定コピー機能」の有無は「（ト）出力仕様」で選択します。
「設定コピー機能」有の機種は、「外部入力」機能がありませんのでご注意ください。

注13：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
注14：本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。
縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。
注15：配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。
500L/min、1,000L/minモデルでは内径9mm以上の配管をご使用ください。9mm以下の場合、精度が悪くなることがあります。
注16：質量については、別途参照ください。

製品仕様

注1：標準状態 （20℃ 1気圧 （101kPa） 65%Rh）での体積流量に換算
（空気以外のガス種では、20℃、1気圧（101kPa）、相対湿度0%RH）
注2：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご使用の場合は、 JIS B 8392-1： 2012 等級1.1. 1～1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ（最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m³）を取り付けてご使用ください。（推奨回路を参照してください。）
酸素ガス用は専用モデルとなります。発火事故を防ぐため、一度でも酸素以外の流体を流した場合は再び酸素を流さないでください。
注3：精度はCKDの基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。なお、精度±3%F.S.には、繰り返し精度、温度特性、圧力特性は含まれておりません。
使用環境・使用条件により別途考慮ください。
注4：短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。（詳細は製品仕様書をご確認ください。）
注5：実際の応答時間は配管条件によって変わります。
注6：アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくなります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。
注7：電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。
注8：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。
注9：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
注10：本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。
縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。
注11：配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。
500L/min、1,000L/minモデルでは、内径9mm以上の配管をご使用ください。9mm以下の場合、精度が悪くなることがあります。
注12：質量については、別途ご参照ください。

製品仕様

注1：標準状態（20℃ 1気圧（101kPa）65%）での体積流量に換算。（空気以外のガス種では、20℃ 1気圧（101kPa）、0%RH）
注2：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご使用の場合は、 JIS B 8392-1：2012 等級1.1.1～ 1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ（最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/rn³）を取り付けてご使用ください。（推奨回路を参照してください。）
酸素ガス用は専用モデルとなります。発火事故を防ぐため、一度でも酸素以外の流体を流した場合は再び酸素を流さないでください。
注3：本製品の調整・検査には圧縮空気を使用しております。空気以外のガスでは精度は目安となります。
注4：精度はCKDの基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。なお、精度±3%F.S.には、繰り返し精度、温度特性、圧力特性は含まれておりません。
使用環境・使用条件により別途考慮ください。
注5：短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。（詳細は製品仕様書をご確認ください。）
注6：実際の応答時間は配管条件によって変わります。
注7：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。
注8：オス側がストレートで、メス側がアングルとなっています。M12コネクタは0.5N・m以下のトルクで締付けてください。
過大な力で締めると破損するおそれがありますのでご注意ください。
注9：ガス種切替機能により、アルゴン、炭酸ガス、アルゴン80%+炭酸ガス20%に切替える事ができます。切替後の測定流量範囲は以下の様になります。（酸素タイプ、500L/minモデル、1,000L/minモデルはガス種を切替えることができません。）

注10：積算流量は計算（参考）値です。積算保存機能を使用する場合は、保存回数が記憶素子のアクセス回数（限界は100万回）を超えない様にご注意ください。（各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。）
保存回数=使用時間/5分＜100万回
瞬時流量が1%以下の時は、積算流量としてカウントされません。
注11：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
注12：振動条件によっては通信エラーが発生するおそれがあります．できるだけ振動のない場所に設置してください。
注13：本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。
縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。
注14：配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。
500L/min、1,000L/minモデルでは、内径9mm以上の配管をご使用ください。9mm以下の場合、精度が悪くなることがあります。
注15：質量については、別途ご参照ください。

規格表