膜厚計用　水晶振動子

製品仕様

優れた薄膜の製造には優れた水晶振動子が必要です

INFICONの水晶振動子は産業界の様々なアプリケーションで数多くの材料を用いた何百万回ものランに適用され、その品質と信頼性が実証されています。

全数に対して試験と検査を実施

プロセスで長くご使用いただき、安定で精密な速度コントロールを達成するため、水晶振動子1個ごとに次の項目の検査を行います。

抵抗：測定の安定性とコーティング寿命保証のために抵抗をチェックします。抵抗値は電気接触と電極密着性の良い指標です。

周波数：起動周波数が非常に狭い仕様の範囲に収まっていることを確認します。精密な膜厚測定にはこの特性が重要です。

曲率：共振の安定性確保のために電気的な試験を実施して曲率精度を確認します。曲率精度が悪いと測定安定性の劣化が早くなります。

目視検査：水晶振動子の使用寿命と安定性確保のため、電極の均一性と表面欠陥、その他の不完全性の有無を目視検査します。このような欠陥の存在は電極の付着性や汚染の問題があることの指標となります。

使用例

方法1

1. パッケージを傾けて、水晶振動子をセンサーの振動子ホルダーへ直接落とし込みます。

方法2

2. パッケージのベース部分に専用ツールが付属しています。このツールを用いて水晶振動子をセンサーのホルダーへ移しかえます。

方法3

3. ふっ素樹脂製ピンセットを利用して水晶振動子をパッケージから取り出し、センサーの振動子ホルダーへ取付けます。