真空ロッドレスシリンダ CYVシリーズ

外形図

製品仕様

製品仕様

• 使用環境圧力：大気～1.3×10^-4Pa（ABS）
• 使用環境雰囲気（※1）：空気および不活性ガス
• 使用流体（※1）：空気および不活性ガス
• 作動形式：複動形
• 保証耐圧力：0.5MPa
• 使用圧力範囲：0.05～0.3MPa
• リーク量：1.3×10^-7Pa・m³/sec以下（常温時、ガス透過を除く）
• 最高ベーキング温度（※2、※3）：100℃
• 周囲および使用流体温度：-10～+60℃（ただし、凍結なきこと）
• 使用ピストン速度（MAX）（※4）：50～300mm/s
• ストローク調整量：各片側-2～0mm（両側で-4～0mm）
• クッション：サインクッション（エアクッション）
• 潤滑方法：リニアガイド部、シリンダチューブ内真空グリース

• ※1：使用環境雰囲気および使用流体は空気を推奨しますが、その他不活性ガスの場合は、製品寿命などが異なることがあります。
• ※2：本ベーキングは、シリンダ作動前のベーキング限定となります。シリンダ作動においては、-10～+60℃の温度範囲としてください。
• ※3：ベーキング温度100℃を超える場合は、SMCサポートセンターへお問い合わせください。
• ※4：上記使用ピストン速度は、最大速度を示します。ストローク端におけるスライドテーブル動き出しから、クッションストロークを抜け出すまで、約0.5秒（片側）および両端で約1秒かかります。

構造

CYV15

CYV32

• ※ 構成部品の材質および備考欄の左がCYV15、右がCYV32を示します。

規格表

単位：mm

注）カタログの製品個別注意事項（クッション効果〈サインクッション〉とストロークの調整）をご参照ください。

使用例

※上図イメージイラストは、本シリンダの設置方法の一例イメージです。ただし、すべての真空チャンバ使用条件を満足するものではありません。

商品特長詳細

非接触構造で、シリンダチューブ外周面とスライドテーブル内周面が接触しない構造のため摺動による発塵が皆無

特殊シリンダチューブ ロングストローク（MAX.700mm）

アルミ押出材を使用した特殊シリンダチューブを採用
軌道台へ直接固定したことにより、ロングストロークでもたわむことがなく、リニアガイドとの組合わせで非接触構造を実現

Oリングシールで真空-大気を隔壁

※ストローク微調整を行うため、真空-大気隔離部にOリングをしています。

ストローク端での微調整が可能
片側-2～0（両側-4～0）mm調整可能

注意・禁止事項

• ※ 二重包装されたクリーンシリーズの内側の包装開封は、クリーンルーム内または清浄な雰囲気中で行ってください。
• ※ シリンダを設置する際は、素手で行わないでください。放出ガス特性を損なう場合があります。
• ※ チャンバ内での部品交換、分解作業は配管内の圧縮空気をクリーンルーム外に排気し終わってから行ってください。
• ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照ください。