小型真空ユニット ZBシリーズ

外形図

単位：mm

エジェクタ／真空ポンプシステム サイレンサ排気、供給弁／破壊弁付きセンサ／スイッチなし

ZB□10／11／20／21-K1／Q1□L（O）／M（O）□-□

エジェクタ／真空ポンプシステム サイレンサ排気、供給弁のみセンサ／スイッチなし

ZB□10／11-J1／Q2□L（O）／M（O）□-□

エジェクタ／真空ポンプシステム サイレンサ排気、供給弁／破壊弁付き 圧力センサ付き

ZB□10／11／20／21-K1／Q1□L（O）□-P1／3-□

製品仕様

外観

0：真空ポンプ システム用（サイレンサなし）排気口なし

1：サイレンサ排気（個別排気）

2：ポート排気（個別排気）

エジェクタ仕様 注1）

注1）この値は、代表値であり、大気圧（天候、標高等）によって変化する場合があります。
注2）圧力センサ・真空用圧力スイッチ付きで使用する場合、最高使用圧力は0.5MPaです。

サクションフィルタ仕様

• ろ過度：30μm
• ろ過面積：130mm²

単体仕様

■エジェクタ／真空ポンプシステム サイレンサ排気、供給弁／破壊弁付きセンサ／スイッチなし

エジェクタ（ZB□11-K1□□□-□）／真空ポンプシステム（ZB0020-K1□□□-□）の回路図

ポートタイプ	A	B
C2	4.1	78.5
C4	7.5	81.9
N1	7.4	81.8
N3	7.5	81.9
L2	8.4	82.8
L4	8.3	82.7
LN1	8.3	82.7
LN3	8.3	82.7

• ※1PV=PD仕様の場合、ポートなし。
• ※2エジェクタの場合、取り付け時に排気口を塞がないでください。排気口側を壁面に設置する場合は、スペーサなどを用意して、1mm以上隙間をあけて取り付けてください。（詳細はカタログ参照）ポンプシステムの場合、排気口なし。
• ※3ラッチングタイプおよび手動操作がロック式の場合は破線の形状。
• ※4手動操作がロック式の場合は破線の形状。
• ※5L形プラグコネクタの場合。
• ※6M形プラグコネクタの場合。
• ※7ラッチングタイプの場合はリード線は3線。
• ※8真空（V）ポートの種類別外形寸法はカタログ参照。

■エジェクタ／真空ポンプシステム サイレンサ排気、供給弁のみセンサ／スイッチなし

エジェクタ（ZB□11-J1□□□-□）／真空ポンプシステム（ZB0010-J1□□□-□）の回路図

ポートタイプ	A	B
C2	4.1	78.5
C4	7.5	81.9
N1	7.4	81.8
N3	7.5	81.9
L2	8.4	82.8
L4	8.3	82.7
LN1	8.3	82.7
LN3	8.3	82.7

• ※1エジェクタの場合、取り付け時に排気口を塞がないでください。排気口側を壁面に設置する場合は、スペーサなどを用意して、1mm以上隙間をあけて取り付けてください。（詳細はカタログ参照）ポンプシステムの場合、排気口なし。
• ※2ラッチングタイプおよび手動操作がロック式の場合は破線の形状。
• ※3L形プラグコネクタの場合。
• ※4M形プラグコネクタの場合。
• ※5ラッチングタイプの場合はリード線は3線。
• ※6真空（V）ポートの種類別外形寸法はカタログ参照。

■エジェクタ／真空ポンプシステム サイレンサ排気、供給弁／破壊弁付き 圧力センサ付き

エジェクタ（ZB□21-Q1□L（O）□-P1／3-□）／真空ポンプシステム（ZB0020-K1□L（O）□-P1／3-□）の回路図

ポートタイプ	A	B
C2	4.1	92.6
C4	7.5	96
N1	7.4	95.9
N3	7.5	96
L2	8.4	96.9
L4	8.3	96.8
LN1	8.3	96.8
LN3	8.3	96.8

• ※1PV=PD仕様の場合、ポートなし。
• ※2エジェクタの場合、取り付け時に排気口を塞がないでください。排気口側を壁面に設置する場合は、スペーサなどを用意して、1mm以上隙間をあけて取り付けてください。（詳細はカタログ参照）ポンプシステムの場合、排気口なし。
• ※3ラッチングタイプおよび手動操作がロック式の場合は破線の形状。
• ※4手動操作がロック式の場合は破線の形状。
• ※5真空（V）ポートの種類別外形寸法はカタログ参照。
• ※6真空圧力スイッチ付の場合、M形プラグコネクタは選択不可。

注意・禁止事項

※上記以外の情報につきましてはカタログをご覧ください。